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Fabrication and its characteristics of hard coating Ti-Al-N system prepared by DC magnetron sputtering 被引量:3
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作者 Zhou, Xuyang Wu, Aimin +1 位作者 Qu, Wenchao Jiang, Xin 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第2期178-182,共5页
Pseudobinary Ti 1 x Al x N films were synthesized on Si (100) wafer by DC magnetron sputtering method using Ti 1 x Al x alloy targets with different Al contents. The composition of the Ti 1 x Al x N films was determin... Pseudobinary Ti 1 x Al x N films were synthesized on Si (100) wafer by DC magnetron sputtering method using Ti 1 x Al x alloy targets with different Al contents. The composition of the Ti 1 x Al x N films was determined by electron probe microanalysis (EPMA). Structural characteristic was performed by X-ray diffraction (XRD), transmission electron microscopy (TEM), and high-resolution TEM (HRTEM). First principles virtual crystal calculations for the Ti 1 x Al x N disordered alloys were used for the XRD simulations. The crystalline structure of the Ti 0.61 Al 0.39 N film was found to be a metastable single phase with NaCl (B1) structure. Its lattice constant, determined by XRD, was less than that of pure TiN. With the increase of Al content, the lattice constant of B1 phase was continually decreased, while würtzite (B4) structure was observed in the Ti 0.40 Al 0.60 N film. When x reached 0.75, the B1 phase disappeared, and only B4 phase was remained. The critical Al content for the phase transition from NaCl to würtzite structure in this paper was about 0.60, which could be explained by both the thermodynamic model and the electron theory. As-deposited Ti 1 x Al x N films exhibited excellent mechanical properties. Hardness measurements of Ti 1 x Al x N films showed a high value of 45GPa for x=0.39 and was decreased to value of 27 GPa with increasing Al at x=0.60. 展开更多
关键词 Ti-al-n DC magnetron sputtering phase transition hardnESS
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Hardness, toughness and electrochemical properties of Cr-N coating by ion beam enhanced deposition 被引量:1
2
作者 唐宾 朱晓东 何家文 《中国有色金属学会会刊:英文版》 EI CSCD 1999年第4期753-756,共4页
The hardness, toughness and electrochemical properties of the CrN coatings were studied by the method of Ion Beam Enhanced DePosition(IBED). The results show that the fraction of CrN phase and its hardness increase wi... The hardness, toughness and electrochemical properties of the CrN coatings were studied by the method of Ion Beam Enhanced DePosition(IBED). The results show that the fraction of CrN phase and its hardness increase with increasing N2 partial pressure and N ions bombarding energy in a certain range, but the toughness decreases. When the N ions: Cr atoms ratio changes from 1. 45 × 1O-2, 3. 67 × 10-2 to 5. 87 ×10 - 2, Cr2O3 is produced. In terms of corrosion resistance, the coated specimen shows a slight improvement in comparison with substrate 52100 steel. The Cr-N coated specimen is characterized with pitting corrosion by penetrating the agent throngh the defects involved very thin coating layer. 展开更多
关键词 Cr-n coating hardnESS TOUGHnESS ELECTROCHEMISTRY
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Microstructure evolution and mechanical properties of Ti-B-N coatings deposited by plasma-enhanced chemical vapor deposition 被引量:13
3
作者 Jung Ho SHIN Kwang Soo CHOI +2 位作者 Tie-gang WANG Kwang Ho KIM Roman NOWAK 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2012年第S3期722-728,共7页
Ternary Ti-B-N coatings were synthesized on AISI 304 and Si wafer by plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) technique using a gaseous mixture of TiCl4,BCl3,H2,N2,and Ar.By virtue of X-ray diffraction analys... Ternary Ti-B-N coatings were synthesized on AISI 304 and Si wafer by plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) technique using a gaseous mixture of TiCl4,BCl3,H2,N2,and Ar.By virtue of X-ray diffraction analysis,X-ray photoelectron spectroscopy,scanning electron microscope,and high-resolution transmission electron microscope,the influences of B content on the microstructure and properties of Ti B N coatings were investigated systematically.The results indicated that the microstructure and mechanical properties of Ti-B-N coatings largely depend on the transformation from FCC-TiN phase to HCP-TiB2 phase.With increasing B content and decreasing N content in the coatings,the coating microstructure evolves gradually from FCC-TiN/a-BN to HCP-TiB2 /a-BN via FCC-TiN+HCP-TiB2/a-BN.The highest microhardness of about 34 GPa is achieved,which corresponds to the nanocomposite Ti-63%B-N (mole fraction) coating consisting of the HCP-TiB2 nano-crystallites and amorphous BN phase.The lowest friction-coefficient was observed for the nanocomposite Ti-41%B-N (mole fraction) coating consisting of the FCC-TiN nanocrystallites and amorphous BN 展开更多
关键词 Ti-B-n coating plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) nanocomposite coating hardness friction coefficient
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Microstructure and physical properties of PVD TiN/(Ti, Al)N multilayer coatings 被引量:1
4
作者 吴恩熙 陈利 +1 位作者 尹飞 汪秀全 《中国有色金属学会会刊:英文版》 EI CSCD 2005年第5期1072-1076,共5页
Magnetron sputtered (Ti, Al)N monolayer and TiN/(Ti, Al)N multilayer coatings grown on cemented carbide substrates were studied by using energy dispersive X-ray spectroscopy (EDX), scanning electron microscopy(SEM), n... Magnetron sputtered (Ti, Al)N monolayer and TiN/(Ti, Al)N multilayer coatings grown on cemented carbide substrates were studied by using energy dispersive X-ray spectroscopy (EDX), scanning electron microscopy(SEM), nanoindentation, Rockwell A indentation test, strength measurements and cutting tests. The results show that the (Ti, Al)N monolayer and TiN/(Ti, Al)N multilayer coatings perform good affinity to substrate, and the TiN/(Ti, Al)N multilayer coating exhibits higher hardness, higher toughness and better cutting performance compared with the (Ti, Al)N monolayer coating. Moreover, the strength measurement indicates that the physical vapour deposition (PVD) coating has no effect on the substrate strength. 展开更多
关键词 多层结构 涂层 微观结构 物理性能 金属表面防护
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磁控溅射镀膜技术在(Cr,Ti,Al)N涂层上的应用
5
作者 赵凡 项燕雄 +2 位作者 邹长伟 于云江 梁枫 《真空》 CAS 2024年第4期22-29,共8页
过渡金属氮化物硬质涂层在切削刀具、精密模具和机械零部件等领域有着广泛的应用。随着切削技术的进步和难加工材料的增多,硬质涂层已由传统的二元涂层向着三元、四元涂层不断发展。(Cr,Ti,Al)N四元涂层因其优异的综合性能而备受研究人... 过渡金属氮化物硬质涂层在切削刀具、精密模具和机械零部件等领域有着广泛的应用。随着切削技术的进步和难加工材料的增多,硬质涂层已由传统的二元涂层向着三元、四元涂层不断发展。(Cr,Ti,Al)N四元涂层因其优异的综合性能而备受研究人员的关注。本文从磁控溅射镀膜的基本原理和技术特点出发,介绍了制备(Cr,Ti,Al)N涂层常见的磁控溅射镀膜技术,分析了采用单质靶与合金靶沉积镀膜的效果及其各自的优缺点,研究了磁控溅射工艺参数对(Cr,Ti,Al)N涂层机械性能的影响,最后讨论了(Cr,Ti,Al)N梯度涂层的作用及其制备方法。本文可为设计(Cr,Ti,Al)N涂层制备工艺、改善(Cr,Ti,Al)N涂层性能提供理论参考与指导。 展开更多
关键词 (Cr Ti al)n涂层 磁控溅射 靶材选择 工艺参数 梯度涂层
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High temperature oxidation behavior of (Ti, Al)N coating deposited by arc ion plating 被引量:1
6
作者 刘爱东 杨世伟 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2005年第S3期398-401,共4页
(Ti, Al)N gradient nano-coating was deposited on the surface of 1Cr11Ni2W2MoV stainless steel by the MTP-8-800 arc ion plating equipment. And the oxidation performance at high temperature for 500h was tested under t... (Ti, Al)N gradient nano-coating was deposited on the surface of 1Cr11Ni2W2MoV stainless steel by the MTP-8-800 arc ion plating equipment. And the oxidation performance at high temperature for 500h was tested under the condition of the surrounding air temperature 700℃. The test results show that, because of the structural features of the (Ti, Al)N coating, the coating becomes the compact and continuous Al2O3 film, which can protect the basis material effectively in the process of the high temperature oxidizing. The oxidation kinetics of the coating accord with parabolic law. 展开更多
关键词 arc ion PLATInG (Ti al)n gradient nano-coating oxidation resistant
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纳米SiO_(2)含量对无铬Zn-Al涂层性能影响
7
作者 杨慧 张潇华 +1 位作者 胡程程 许珂欣 《现代涂料与涂装》 CAS 2024年第12期7-10,共4页
为获得表面形貌良好、耐蚀性能优异的无铬Zn-Al涂层,向涂层中添加了0~1.6%纳米SiO_(2)。用涂层测厚仪、表面粗糙度仪和显微硬度仪等设备对涂层的形貌、厚度、硬度、耐蚀性等进行表征,以探究纳米SiO_(2)含量对涂层性能的影响。结果表明:... 为获得表面形貌良好、耐蚀性能优异的无铬Zn-Al涂层,向涂层中添加了0~1.6%纳米SiO_(2)。用涂层测厚仪、表面粗糙度仪和显微硬度仪等设备对涂层的形貌、厚度、硬度、耐蚀性等进行表征,以探究纳米SiO_(2)含量对涂层性能的影响。结果表明:无铬Zn-Al涂层中加入0~1.6%纳米SiO_(2)后,所制涂层呈银灰色,表面光滑、致密、平整,粗糙度维持在1.0μm左右。随着纳米SiO_(2)含量的增加,涂层厚度在45~80μm范围内波动,并呈下降趋势;涂层硬度有了显著的提高,达到123.08 HV;涂层结合力良好,均在IO S-2级以上;纳米SiO_(2)的添加可改善涂层的耐蚀性,当添加量为1.2%时,耐蚀性最优。 展开更多
关键词 无铬铝锌涂层 纳米SiO_(2)含量 硬度 耐蚀性
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Corrosion behaviors of Cr-Al-N coatings deposited by reactive magnetron sputtering
8
作者 多树旺 朱明 +3 位作者 刘庭芝 李忠峻 王鹏 李美栓 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2007年第A02期841-846,共6页
CrN and Cr-Al-N coatings were deposited by reactive magnetron sputtering on the glass substrate,and their corrosion behavior was studied. The electrochemical tests using both DC(polarization curves) and AC techniques(... CrN and Cr-Al-N coatings were deposited by reactive magnetron sputtering on the glass substrate,and their corrosion behavior was studied. The electrochemical tests using both DC(polarization curves) and AC techniques(EIS) were carried out on Potentiostat/Galvanstat(EG&G) in 3.5%(mass fraction) NaCl solution. After immersed into NaCl solution for 1 h,the mass of the CrN coating keeps constant with the time continuing. This can be explained by the passivation of the coating. The comparison between the corrosion potential(φcorr) of the Cr-Al-N coatings with different aluminum contents reveals that the corrosion potentials of the aluminum contain coatings are nobler than that of the CrN coatings. This means that the addition of aluminum shifts the corrosion potential to more positive potential value. Among these coatings,CrN in NaCl solution exhibits the worst corrosion resistance,while the corrosion resistance of Cr0.63Al0.37N in NaCl solution is the best. The polarization data and EIS data suggest that addition of aluminum can improve the corrosion resistance of CrN coating. 展开更多
关键词 铬铝氮涂层 腐蚀行为 磁电管反应溅射法 玻璃基底
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PCVD制备Ti_(1-x)Al_xN硬质薄膜的结构与硬度 被引量:9
9
作者 马胜利 徐健 +3 位作者 介万奇 徐可为 M.G.J.Veprek-Heijman S.Veprek 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期669-672,共4页
用直流等离子体增强化学气相沉积(PCVD)方法获得了Ti_(1-x)Al_xN硬质薄膜;考察了Al含量x及高温退火对薄膜微观结构转变过程及其硬度的影响.结果表明,制备的Ti_(1-x)Al_xN薄膜由3—10nm晶粒组成.随Al含量x增加,薄膜硬度升高,x超过0.83时... 用直流等离子体增强化学气相沉积(PCVD)方法获得了Ti_(1-x)Al_xN硬质薄膜;考察了Al含量x及高温退火对薄膜微观结构转变过程及其硬度的影响.结果表明,制备的Ti_(1-x)Al_xN薄膜由3—10nm晶粒组成.随Al含量x增加,薄膜硬度升高,x超过0.83时,硬度开始急剧下降;结构分析证实x小于0.83,Ti_(1-x)Al_xN薄膜是固溶强化;x=0.83,薄膜中出现六方氨化铝相(h—AlN).热稳定性实验表明,Ti_(1-x)Al_xN薄膜的纳米结构和硬度在N_2环境下可以维持到900℃. 展开更多
关键词 (Ti A1)n硬质薄膜 微观结构 硬度 热稳定性
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Al含量对(Ti,Al)N涂层结构性能的影响 被引量:20
10
作者 李佳 夏长清 +1 位作者 刘昌斌 戴晓元 《材料导报》 EI CAS CSCD 2003年第12期29-31,35,共4页
(Ti,Al)N是20世纪80年代未期在TiN基础上发展起来的一种新型多元涂层材料。由于加入Al元素,(Ti,Al)N不但硬度、耐磨性优于TiN,而且大大改善了涂层的抗高温氧化性能。综述了Al元素在(Ti,Al)N涂层中的作用机理,以及Al含量对(Ti,Al)N涂层... (Ti,Al)N是20世纪80年代未期在TiN基础上发展起来的一种新型多元涂层材料。由于加入Al元素,(Ti,Al)N不但硬度、耐磨性优于TiN,而且大大改善了涂层的抗高温氧化性能。综述了Al元素在(Ti,Al)N涂层中的作用机理,以及Al含量对(Ti,Al)N涂层的晶体结构、抗高温氧化、硬度和耐磨性的影响。指出当Ti和Al的比例近似为1:1时,(Ti,Al)N涂层将获得优越的综合使用性能。 展开更多
关键词 多元涂层材料 (TI al)n 硬度 耐磨性
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(Ti,Al)N涂层的微观组织和性能 被引量:19
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作者 陈利 吴恩熙 +2 位作者 尹飞 王社权 汪秀全 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期279-283,共5页
采用EPMA、XRD、SEM、TEM、HR-TEM、EDX、纳米压痕、氧化实验和切削实验研究了磁控溅射在硬质合金基体上沉积TiN涂层和(Ti,Al)N涂层的微观组织结构和性能。结果表明:TiN涂层晶粒为喇叭口柱状晶,(Ti,Al)N涂层为面心立方平直柱状晶,由于... 采用EPMA、XRD、SEM、TEM、HR-TEM、EDX、纳米压痕、氧化实验和切削实验研究了磁控溅射在硬质合金基体上沉积TiN涂层和(Ti,Al)N涂层的微观组织结构和性能。结果表明:TiN涂层晶粒为喇叭口柱状晶,(Ti,Al)N涂层为面心立方平直柱状晶,由于固溶了Al元素,(Ti,A l)N涂层呈(200)面择优生长;(Ti,Al)N涂层在硬质合金基体上无外延生长;(Ti,Al)N涂层在800℃氧化后形成Al2O3/TiO2/(Ti,Al)N的分层结构;(Ti,Al)N涂层具有更高的硬度和更好的切削性能。 展开更多
关键词 (TI al)n涂层 硬质合金 外延生长 氧化性能 切削性能
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真空阴极电弧沉积(Ti,Al)N薄膜的应用研究 被引量:12
12
作者 付志强 蔡育平 +1 位作者 袁镇海 林松盛 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2001年第8期25-26,42,共3页
为了提高TiN涂层刀具的耐磨性 ,采用钛铝合金靶 ,以真空阴极电弧沉积法制备了(Ti,Al)N涂层。对膜层形貌成分、组织结构及硬度进行了测试及研究 ,并试验了 (Ti,Al)N涂层高速钢钻头及YG6硬质合金刀具的使用寿命。结果表明 :(Ti ,Al)N涂层... 为了提高TiN涂层刀具的耐磨性 ,采用钛铝合金靶 ,以真空阴极电弧沉积法制备了(Ti,Al)N涂层。对膜层形貌成分、组织结构及硬度进行了测试及研究 ,并试验了 (Ti,Al)N涂层高速钢钻头及YG6硬质合金刀具的使用寿命。结果表明 :(Ti ,Al)N涂层硬度高达HV0 .1,15370 0 ,(Ti,Al)N涂层使高速钢钻头及YG6硬质合金刀具的使用寿命显著提高。 展开更多
关键词 真空阴极电弧沉积 涂层刀具 氮化铝 氮化钛
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射频磁控溅射(Ti,Al)N薄膜性能的研究 被引量:14
13
作者 何欣 杨会生 +4 位作者 王燕斌 熊小涛 乔利杰 瞿春燕 杨建军 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期142-146,共5页
采用射频磁控溅射,用Al靶和Ti靶同时溅射沉积(Ti,Al)N薄膜。研究表明:不同Al靶功率沉积的薄膜中始终存在面心立方结构(B1型),当Al靶功率大于250 W薄膜中面心立方结构(B1型)和六方结构(B4型)共存。随Al成分的增加,B1型结构晶格常数减小,... 采用射频磁控溅射,用Al靶和Ti靶同时溅射沉积(Ti,Al)N薄膜。研究表明:不同Al靶功率沉积的薄膜中始终存在面心立方结构(B1型),当Al靶功率大于250 W薄膜中面心立方结构(B1型)和六方结构(B4型)共存。随Al成分的增加,B1型结构晶格常数减小,薄膜择优取向由B1型(111)向B4型(002)转变。薄膜表面随Al靶功率增加分别呈岛状、纤维状和柱状增长。(Ti,Al)N薄膜的硬度随Al靶功率的增加呈上升趋势。等离子体发射光谱分析显示,在相同工艺条件下Al靶比Ti靶先进入非金属态溅射模式,导致在相同功率下Al溅射速率低于Ti溅射速率。 展开更多
关键词 磁控溅射 (Ti al)n薄膜 硬度 等离子体发射光谱
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SiC颗粒增强铝基复合材料基材上制备(Ti,Al)N涂层的研究 被引量:4
14
作者 郑静地 邹友生 +4 位作者 宋贵宏 宫骏 刘越 孙超 闻立时 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第7期745-748,共4页
利用电弧离子镀技术在SiCp/2024Al基体上制备(Ti,Al)N涂层.研究了偏压对涂层的相组成、晶格常数和成分的影响及不同过渡层对涂层与基体结合性能的影响.结果表明,在较小偏压下, (Ti,Al)N涂层呈(111)择优取向;偏压在-150 V时,涂层无择优取... 利用电弧离子镀技术在SiCp/2024Al基体上制备(Ti,Al)N涂层.研究了偏压对涂层的相组成、晶格常数和成分的影响及不同过渡层对涂层与基体结合性能的影响.结果表明,在较小偏压下, (Ti,Al)N涂层呈(111)择优取向;偏压在-150 V时,涂层无择优取向;但随偏压继续升高,出现(200)和(220)择优取向.在添加Ti过渡层时,涂层与基体形成致密均匀的良好结合.同时通过设计梯度涂层,获得了厚度达105μm的无裂纹(Ti,Al)N涂层. 展开更多
关键词 (TI al)n涂层 复合材料 电弧离子镀 偏压 SiC 相组成 晶格常数
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脉冲偏压对(Ti,Al)N/TiN/(Ti,Al)N多层复合涂层成分和硬度的影响 被引量:11
15
作者 毛延发 唐为国 +2 位作者 兰新哲 周廉 韩培刚 《稀有金属快报》 CSCD 2008年第6期12-16,共5页
采用脉冲偏压多弧离子镀技术在Hss-Al高速钢上涂镀(Ti,Al)N/TiN(/Ti,Al)N多层复合涂层。所用设备为复合八阵弧离子镀膜生长系统。简要介绍了多层复合膜的镀层工艺过程。鉴于复合涂层中的Al含量对涂层的性能特别是抗磨损性能有极重要的影... 采用脉冲偏压多弧离子镀技术在Hss-Al高速钢上涂镀(Ti,Al)N/TiN(/Ti,Al)N多层复合涂层。所用设备为复合八阵弧离子镀膜生长系统。简要介绍了多层复合膜的镀层工艺过程。鉴于复合涂层中的Al含量对涂层的性能特别是抗磨损性能有极重要的影响,实验中重点考察了脉冲偏压幅对Al含量的影响。同时测试了复合涂层的Vickers硬度与偏压幅值的关系。研究结果得出,随着脉冲偏压幅值的增加,涂层中Al含量先增加,然后减少,偏压幅值为-150V时,Al含量高达36.41at%;偏压幅与涂层显微硬度的关系有相似的规律,在偏压幅值为-150V时,7层复合膜的Vickers硬度达2750MPa左右,10层复合膜的硬度约2880MPa。 展开更多
关键词 多弧离子膜 (Ti al)n/Tin/(Ti al)n 多声能复合涂层 维氏硬度
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Ti_(0.5)Al_(0.5)N涂层的抗高温氧化行为 被引量:23
16
作者 王永康 雷廷权 +1 位作者 夏立芳 熊仁章 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期12-14,共3页
用 AES仪研究了多弧离子镀 Ti0 .5 Al0 .5 N涂层在空气气氛中的抗高温氧化行为 ,发现该涂层的抗高温氧化性能极其优异 ,其最高抗氧化温度可达 80 0℃。采用 SEM、EDX以及 XTEM等方法对 Ti0 .5 Al0 .5
关键词 金属 表面防护 多弧离子镀 抗高温抗氧化 氮化铝钛涂层 氧化失效
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涂层结构对Ti-Al-N涂层氧化行为的影响 被引量:7
17
作者 彭继华 肖新生 +1 位作者 苏东艺 田君 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第3期208-213,共6页
采用多弧离子镀技术及TiAl合金靶,在SKH51高速钢基体上沉积了Ti1-xAlxN单层构型涂层和TiN/Ti1-xAlxN复合多层构型涂层,分析其高温氧化行为。用扫描电镜、X射线衍射、电子探针等手段表征了涂层氧化后的组织结构和元素分布。试验发现,基... 采用多弧离子镀技术及TiAl合金靶,在SKH51高速钢基体上沉积了Ti1-xAlxN单层构型涂层和TiN/Ti1-xAlxN复合多层构型涂层,分析其高温氧化行为。用扫描电镜、X射线衍射、电子探针等手段表征了涂层氧化后的组织结构和元素分布。试验发现,基体Fe元素扩散到涂层表面意味着SKH51涂层试样剧烈氧化阶段的开始。当涂层的构型相同时,涂层的抗氧化性能随着涂层中铝含量增加而单调增加。但对于TiN/Ti0.33Al0.67N复合多层构型涂层,其抗氧化性则比Ti0.33Al0.67N单层构型涂层差,高于铝含量基本相同的Ti0.67Al0.33N单层构型涂层。空气中800℃恒温退火,TiN/Ti0.33Al0.67N涂层出现严重氧化的时间是43 h,Ti0.33Al0.67N、Ti0.67Al0.33N涂层分别为53 h和11 h。因此,Ti-Al-N涂层的抗氧化性不仅同涂层中铝含量有关,涂层构型也起着重要用。 展开更多
关键词 涂层结构 多弧离子镀 Ti-al-n涂层 微观结构 氧化行为
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Al含量对(Ti,Al)N薄膜微观结构与性能的影响 被引量:5
18
作者 乔学亮 吴一平 +1 位作者 陈建国 孙培祯 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 1995年第6期505-507,共3页
研究了Al含量对(Ti,Al)N薄膜微观结构与性能的影响.实验结果表明:同TiN薄膜相同,在(Ti,Al)N系薄膜中存在着(111)、(200)和(220)三种择优取向。随着Al含量的增加这三种取向的衍射强度呈不同的... 研究了Al含量对(Ti,Al)N薄膜微观结构与性能的影响.实验结果表明:同TiN薄膜相同,在(Ti,Al)N系薄膜中存在着(111)、(200)和(220)三种择优取向。随着Al含量的增加这三种取向的衍射强度呈不同的变化趋势,而这三种取向的面间距则都呈先降后升的趋势,利用上述微观结构的变化可合理地解释(Ti。 展开更多
关键词 薄膜 微观结构 铝含量 功能梯度
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PVD法制备(Ti,Al)N涂层中残余应力对其质量的影响 被引量:14
19
作者 吴化 陈涛 宋力 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期60-64,92,共6页
在国产离子镀和空心阴极离子镀复合镀膜机上,通过改变脉冲偏压值制备了(Ti,Al)N涂层。用X射线衍射仪对涂层的相组成进行了检测分析,并通过测得的衍射谱线计算了(Ti,Al)N涂层中的残余应力值;扫描电镜观察涂层表面微观形貌显示涂层表面存... 在国产离子镀和空心阴极离子镀复合镀膜机上,通过改变脉冲偏压值制备了(Ti,Al)N涂层。用X射线衍射仪对涂层的相组成进行了检测分析,并通过测得的衍射谱线计算了(Ti,Al)N涂层中的残余应力值;扫描电镜观察涂层表面微观形貌显示涂层表面存在"大颗粒"现象;用材料表面微纳米力学测试系统检测了涂层与基体间的结合力和涂层的硬度值。对涂层中残余应力与质量和性能之间关系的研究分析表明:(Ti,Al)N涂层中存在着残余压应力,且随脉冲偏压值的增加其值有先减小后增大的趋势;涂层中"大颗粒"现象随脉冲偏压值的提高能够显著得到减轻,涂层与基体间结合力得到提高,涂层的硬度值增大,涂层质量和力学性能均得到改善。 展开更多
关键词 (TI al)n涂层 残余应力 X射线衍射法 大颗粒
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多弧离子镀(Ti_XAl_Y)N系超硬薄膜中Al的作用 被引量:25
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作者 张德元 邓鸣 +2 位作者 彭文屹 许兰萍 杨春燕 《材料科学与工程》 CSCD 1997年第2期61-64,共4页
本文考察了Al量对多弧离子镀(TiXAlY)N膜层的硬度、孔隙率、耐磨性、摩擦系数、结合力等因素的影响。并利用扫描电镜、电子探针、X射线衍射仪及俄歇电子谱仪对膜进行了分析。
关键词 多弧离子镀 超硬薄膜
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