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Fabrication and Studying the Mechanical Properties of A356 Alloy Reinforced with Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>-10% Vol. ZrO<sub>2</sub>Nano-particles through Stir Casting 被引量:1
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作者 Mohsen Hajizamani Hamidreza Baharvandi 《Advances in Materials Physics and Chemistry》 2011年第2期26-30,共5页
Al2O3-ZrO2 with a high level of hardness and toughness is known as ceramic steel. Due to its unique properties it can be used as a reinforcement in fabrication of metal matrix composites. In this study, nanoparticles ... Al2O3-ZrO2 with a high level of hardness and toughness is known as ceramic steel. Due to its unique properties it can be used as a reinforcement in fabrication of metal matrix composites. In this study, nanoparticles of Al2O3-10% ZrO2 with an average size of 80 nm were used to fabricate Al matrix composites containing 0.5, 1, 1.5 and 2 wt.% of the reinforcement. The fabrication route was stir casting at 850?C. There is no report about usage of this reinforcement in fabrication of composites in the literature. The microstructures of the as-cast composites were studied by scanning electron microscope (SEM). Density measurement, hardness and tensile properties were carried out to identify the mechanical properties of the composites. The results revealed that with increasing the reinforcement content, density decreased while yield, ultimate tensile strength and compressive strength increased. Also, hardness increased by increasing the reinforcement content up to 1 wt.% Al2O3-10% ZrO2 but it decreased in the samples containing higher amounts of reinforcement. 展开更多
关键词 STIR casting al Matrix Composite al2O3-10% ZRO2 Nanoparticles
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Cu-Ni-Al-Si合金固溶-时效处理 被引量:7
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作者 朱治愿 周虎 王冀恒 《金属热处理》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期83-85,共3页
用扫描电镜、硬度计、涡流导电率测试仪和万能试验机测试分析了固溶-时效工艺对Cu-Ni-Al-Si合金组织和性能的影响,探讨了合金的强化机理。结果表明,该合金具有显著的时效强化特性,经960℃×1.5 h固溶+480℃×3 h时效工艺处理后... 用扫描电镜、硬度计、涡流导电率测试仪和万能试验机测试分析了固溶-时效工艺对Cu-Ni-Al-Si合金组织和性能的影响,探讨了合金的强化机理。结果表明,该合金具有显著的时效强化特性,经960℃×1.5 h固溶+480℃×3 h时效工艺处理后,抗拉强度为860.3 MPa,屈服强度为743.7 MPa,伸长率为17.6%,合金的硬度达272 HB,导电率为18.9%IACS。 展开更多
关键词 Cu—Ni—alsi合金 固溶-时效 显微组织 硬度 导电率
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Al和Al-Si加入量对Al_2O_3-C材料高温性能的影响 被引量:16
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作者 石凯 罗焰 钟香崇 《耐火材料》 EI CAS 北大核心 2007年第2期97-100,107,共5页
在板状刚玉颗粒、板状刚玉细粉、α-Al2O3微粉和石墨含量(质量分数,下同)分别为65%、27%、6%和2%的Al2O3-C材料中,分别以5%、8%和11%的Al粉或Al-Si复合粉(8%Al+1.5%Si和8%Al+3%Si)替代等量的板状刚玉细粉,外加3.5%的热固性树脂混... 在板状刚玉颗粒、板状刚玉细粉、α-Al2O3微粉和石墨含量(质量分数,下同)分别为65%、27%、6%和2%的Al2O3-C材料中,分别以5%、8%和11%的Al粉或Al-Si复合粉(8%Al+1.5%Si和8%Al+3%Si)替代等量的板状刚玉细粉,外加3.5%的热固性树脂混练均匀,成型后于800℃埋炭热处理3h。在埋炭条件下检测试样400-1400℃的热态抗折强度、200-1400℃的应力-应变、常温~1500℃的热膨胀率以及试样的抗热震性和抗氧化性,并对部分试样进行了XRD、SEM和EDS分析。结果表明(1)随着温度的升高,试样的热态抗折强度表现出先降低,后快速升高,最后慢速升高的变化趋势;温度≥1000℃时,试样的热态抗折强度随Al粉加入量的增多而提高;在加入Si粉后,试样的热态抗折强度进一步提高。(2)试样在低温时即产生塑性变形,一直到1400℃仍处于塑性变形阶段。(3)试样的抗热震性随Al粉加入量的增多而提高,在加入Si粉后继续小幅提高。(4)试样的抗氧化性随Al粉加入量的增加而提高,加入Si粉后由于形成致密的氧化层结构,抗氧化性进一步提高。 展开更多
关键词 al si al2O3-C材料 抗折强度 应力-应变 热膨胀率 抗热震性 抗氧化性
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不烧Al-Si复合低碳Al_2O_3-β-SiAlON材料的抗氧化性能 被引量:8
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作者 岳卫东 钟香崇 《耐火材料》 EI CAS 北大核心 2007年第2期93-96,共4页
采用大试样高温热重分析仪研究了不烧Al-Si复合低碳Al2O3-β-SiAlON材料(MAC-F)的抗氧化性,并与Al-Si复合不烧铝碳滑板材料(MAC-S)进行了比较。结果表明(1)两种材料在250-1100℃氧化时的质量变化规律相似,在500℃以前均处于质量... 采用大试样高温热重分析仪研究了不烧Al-Si复合低碳Al2O3-β-SiAlON材料(MAC-F)的抗氧化性,并与Al-Si复合不烧铝碳滑板材料(MAC-S)进行了比较。结果表明(1)两种材料在250-1100℃氧化时的质量变化规律相似,在500℃以前均处于质量损失状态;从500℃开始试样处于质量增加状态,500-1100℃之间两种材料质量变化率的增加量差别不大;1100℃以上材料MAC-S的质量变化率的增加量明显提高,而材料MAC-F质量变化率的增加量稍有降低。(2)1500℃氧化后,材料MAC-F质量增加率明显低于材料MAC-S的,氧化层很薄,厚度仅0.5mm。材料MAC-F的氧化层中有较多的短柱状莫来石晶体,均匀地分布在刚玉骨架结构的空隙中,形成致密的结构,对氧气进入材料的内部起到了阻碍作用。其氧化层表面覆盖着一层由莫来石和少量玻璃相组成的光滑薄膜,更有效阻碍了氧气向内部的渗透。因此,材料MAC-F与材料MAC-S相比,抗氧化性能更为优异。 展开更多
关键词 矾土基Β-sialON al si 低碳al2O3-β-sialON材料 抗氧化性 显微结构
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加入不同量Al粉和Si粉的低碳Al_2O_3-C滑板的高温力学性能 被引量:10
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作者 刘新红 钟香崇 《耐火材料》 CAS 北大核心 2013年第1期6-9,共4页
以板状刚玉、α-Al2O3微粉、石墨、Al粉、Si粉为原料,固定板状刚玉、α-Al2O3微粉、石墨的加入质量分数分别为85%、5%、2%,加入8%(w)不同比例的Al粉和Si粉(Al、Si质量比分别为0∶8、5∶3、3∶5和8∶0),以酚醛树脂为结合剂,制备了低碳Al2... 以板状刚玉、α-Al2O3微粉、石墨、Al粉、Si粉为原料,固定板状刚玉、α-Al2O3微粉、石墨的加入质量分数分别为85%、5%、2%,加入8%(w)不同比例的Al粉和Si粉(Al、Si质量比分别为0∶8、5∶3、3∶5和8∶0),以酚醛树脂为结合剂,制备了低碳Al2O3-C滑板,并研究了该滑板材料于1 500℃保温3 h埋石墨热处理后的热态抗折强度、应力-应变关系和抗热震性,同时分析了其物相组成和显微结构。结果表明,此低碳Al2O3-C滑板材料具有较高的高温强度和优良的抗热震性:当Al、Si质量比从0∶8变为8∶0时,材料在1 400℃的高温抗折强度从10.4 MPa增至32.4 MPa;在6.5 MPa载荷下1 400℃时的最大变形量从215μm降至90μm;1 100℃风冷热震3次后的抗折强度保持率从80%降至65%。这是由于Al、Si在使用的高温下与C、CO和N2反应生成了非氧化物Al4C3、AlN和SiC,这些非氧化物填充在刚玉骨架结构中起增强、增韧作用,有利于提高低碳Al2O3-C滑板材料的高温力学性能。 展开更多
关键词 低碳al2O3-C滑板 高温力学性能 al si 氧化物-非氧化物复合材料
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电磁-离心铸造Al-19Si-11Ni梯度复合材料的组织与性能研究 被引量:2
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作者 林雪冬 孙建 +3 位作者 唐立超 翟彦博 刘玉玺 李诚 《轻合金加工技术》 CAS 北大核心 2019年第9期13-19,23,共8页
采用离心铸造工艺制备Al-Si-Ni复合材料铸件,铸件中形成的初生Al3Ni和初生Si颗粒尺寸较大,不利于发挥初生颗粒对铸件的强化作用。为克服这一缺点,本研究在离心场基础上加入电磁场,采用电磁-离心铸造工艺成功制备了Al-19Si-11Ni铸件,获... 采用离心铸造工艺制备Al-Si-Ni复合材料铸件,铸件中形成的初生Al3Ni和初生Si颗粒尺寸较大,不利于发挥初生颗粒对铸件的强化作用。为克服这一缺点,本研究在离心场基础上加入电磁场,采用电磁-离心铸造工艺成功制备了Al-19Si-11Ni铸件,获得了初生Al3Ni和初生Si颗粒主要分布于铸件外侧的梯度复合材料。组织和性能对比分析发现,在离心场中加入电磁场后,可以有效降低初生颗粒的粘连与团聚,并细化晶粒。铸件的耐磨性能主要与初生颗粒的体积分数有关,铸件局部区域的初生颗粒含量越高,相应的耐磨性能也更好。 展开更多
关键词 初生al3Ni 初生si 电磁-离心铸造 梯度复合材料 组织 性能
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Si3N4对Al2O3-尖晶石-SiC-C铁沟料性能的影响 被引量:1
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作者 李友胜 李楠 《中国材料科技与设备》 2007年第2期64-66,共3页
本文采用电熔刚玉、镁铝尖晶石、SiC、球状沥青和Si3N4为主要原料,借助XRD和EDAX分析技术,研究了Si3N4加入量对Al2O3-尖晶石-SiC-C质出铁沟浇注料常温物理性能和抗渣性能的影响。结果表明:随着Si3N4加入量的增加,浇注料的显气孔率... 本文采用电熔刚玉、镁铝尖晶石、SiC、球状沥青和Si3N4为主要原料,借助XRD和EDAX分析技术,研究了Si3N4加入量对Al2O3-尖晶石-SiC-C质出铁沟浇注料常温物理性能和抗渣性能的影响。结果表明:随着Si3N4加入量的增加,浇注料的显气孔率变化不大,体积密度逐渐减小,1100℃及1500℃埋炭烧成后的抗折和耐压强度逐渐增大,当Si3N4加入量超过4%(质量分数,下同)时,浇注料的体积密度有所增大,抗折和耐压强度显著提高;浇注料在埋炭气氛下抗渣性能优良,氧化气氛下的侵蚀指数明显增大,且随着Si3N4加入量的增加,浇注料的侵蚀指数呈现出先增大后减小的趋势。本文对浇注料的性能变化进行了探讨。 展开更多
关键词 al2O3-尖晶石-siC—C 出铁沟浇注料 si3N4 物理性能 抗渣性
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Si和Al的配比对自蔓燃-铸造Ni_3(SiAl)组织的影响
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作者 赵阳培 《徐州建筑职业技术学院学报》 2001年第1期28-30,共3页
研究了Si和Al的配比对自蔓燃 铸造Ni3(SiAl)显微组织结构的影响 .结果表明 ,选择适合的Si和Al的配比可获得以Ni3(SiAl)
关键词 配比 自蔓燃-铸造 镍三硅铝金属间化合物 si al Ni3(sial) 制备
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Microstructure evolution and mechanical properties of the Sip/Zn- Al composite joints by ultrasonic-assisted soldering in air 被引量:4
9
作者 Kang Yuqing Shen Haoran +7 位作者 Fu Yang Chen Yunru Xu Chang Li Xin Gu Keyun Li Xiaohai An Ledong Wang Qian 《China Welding》 EI CAS 2018年第2期39-44,共6页
Hypereutectic Al -27Si alloys were joined without flux by ultrasonic-assisted soldering at 420 ℃ in air using Zn -5Al the filler alloys, and Si particulate-reinforced Zn - Al based composites filler joints were obtai... Hypereutectic Al -27Si alloys were joined without flux by ultrasonic-assisted soldering at 420 ℃ in air using Zn -5Al the filler alloys, and Si particulate-reinforced Zn - Al based composites filler joints were obtained. The ultrasonic vibration introduced into soldering could influence the migration of Si particles and the microstructure of solidified Zn - Al based alloys. Both the distribution of Si particles and microstructure of the solidified Zn - Al based alloys affected the shear strength of joints. The shear strength increased with the ultrasonic vibration time. The highest average shear strength of joints reached to -68.5 MPa. Transcrystalline rupture mode was observed on the fracture surface. 展开更多
关键词 Hypereutectic al - si alloys ultrasonic SOLDERING microstructure mechanical properties
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Effect of Silicon Content on Wear Resistance of Al-Si Alloys 被引量:1
10
作者 顾书英 王汝耀 鲁薇华 《Journal of China Textile University(English Edition)》 EI CAS 1998年第3期88-91,共4页
The sliding wear behavior of hypoeutectic, eutectic and hypereutectic Al - Si alloys under lubricating condition was investigated. The wear mechanism of three kinds of alloys was discussed and an effective way to impr... The sliding wear behavior of hypoeutectic, eutectic and hypereutectic Al - Si alloys under lubricating condition was investigated. The wear mechanism of three kinds of alloys was discussed and an effective way to improve the wear reslstance of Al - Si alloys was put forward, that is increasing the silicon content. 展开更多
关键词 al - si alLOY WEAR REsiSTANCE siLICON .
全文增补中
Mo(Si,Al)_2的自蔓延高温燃烧合成 被引量:6
11
作者 郜剑英 王刚 江莞 《中国钼业》 2004年第3期25-28,共4页
研究了Mo(Si,Al) 2 的自蔓延高温燃烧合成反应过程以及产物的生成机制。研究结果表明 :Al部分取代MoSi2 结构中的Si,不但对反应体系的热效应有影响 ,同时还对燃烧波前端的蔓延速度、反应体系的燃烧模式以及产物的结构有影响。这可以从Mo... 研究了Mo(Si,Al) 2 的自蔓延高温燃烧合成反应过程以及产物的生成机制。研究结果表明 :Al部分取代MoSi2 结构中的Si,不但对反应体系的热效应有影响 ,同时还对燃烧波前端的蔓延速度、反应体系的燃烧模式以及产物的结构有影响。这可以从Mo -Si-Al系自蔓延合成过程中反应体系的传质传热过程的改变得到较好的解释。Mo(Si,Al) 2 的自蔓延燃烧合成机制与MoSi2 相同 。 展开更多
关键词 Mo(si al)2 自蔓延高温燃烧合成 溶解-析出
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添加Nb对Fe_(74)Al_4Ga_2P_(12)B_4Si_4非晶合金晶化过程的影响
12
作者 贾志宏 傅明喜 +3 位作者 甘俊旗 卢永慧 赵江 周宏军 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期821-825,共5页
利用X射线衍射(XRD)、差热分析(DSC)和扫描电镜(SEM)方法试验研究了Nb元素对Fe-(Al,Ga)-(P,C,Si,B)系合金非晶晶化的影响。结果表明:Fe73Nb1Al4Ga2P12B4Si4的晶化过程为α-Fe→α-Fe+Fe5SiP+Al0.7Fe3Si0.3+Fe3B+剩余非晶化相;替代元素N... 利用X射线衍射(XRD)、差热分析(DSC)和扫描电镜(SEM)方法试验研究了Nb元素对Fe-(Al,Ga)-(P,C,Si,B)系合金非晶晶化的影响。结果表明:Fe73Nb1Al4Ga2P12B4Si4的晶化过程为α-Fe→α-Fe+Fe5SiP+Al0.7Fe3Si0.3+Fe3B+剩余非晶化相;替代元素Nb的加入提高了材料的晶化温度,改变了Fe74Al4Ga2P12B4Si4的晶化激活能,其中形核激活能(Eg)、晶化起始激活能(Ex)和第一晶化峰激活能(Ep1)都大大增加;另外,Nb的加入显著降低了合金晶化后的晶粒尺寸,并改善了晶粒的均匀度。 展开更多
关键词 Fe-(al Ga)-(P si B)非晶合金 晶化 激活能 热稳定性
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Si离子辐照下Al2O3栅介质的漏电机制
13
作者 陈曦 张静 +5 位作者 朱慧平 郑中山 李博 李多力 张金晶 何明 《半导体技术》 CAS 北大核心 2019年第7期558-563,共6页
基于Al/Al2O3/Si金属氧化物半导体(MOS)电容结构研究了30 MeV Si离子辐照前后Al2O3栅介质的泄漏电流输运机制。研究结果表明,相较于辐照前,Si离子辐照在栅介质层引起的正电荷俘获导致Al2O3与Si衬底界面处的势垒高度降低,使辐照后Al2O3... 基于Al/Al2O3/Si金属氧化物半导体(MOS)电容结构研究了30 MeV Si离子辐照前后Al2O3栅介质的泄漏电流输运机制。研究结果表明,相较于辐照前,Si离子辐照在栅介质层引起的正电荷俘获导致Al2O3与Si衬底界面处的势垒高度降低,使辐照后Al2O3栅介质层的漏电流随着Si离子注量的增加而增加。通过对弗伦克尔-普尔(FP)发射、肖特基发射(SE)和福勒-诺德海姆(FN)隧穿等泄漏电流输运机制的分析表明,未辐照时Al2O3栅介质层的泄漏电流输运以FP发射和FN隧穿为主,而经Si离子辐照后的Al2O3栅介质层泄漏电流输运主要由FP发射引起,并不受FN隧穿的影响。研究结果还表明,辐照前后Al2O3栅介质层的泄漏电流输运机制与栅介质层厚度无关。 展开更多
关键词 al2O3栅介质 si离子辐照 输运机制 弗伦克尔-普尔(FP)发射 福勒-诺德海姆(FN)隧穿
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海水拌合养护对粉煤灰-水泥胶凝浆体微结构形成演变规律的影响
14
作者 付浩兵 吴业君 +3 位作者 卢飞 刘丞尉 汪迪 丁庆军 《新型建筑材料》 2022年第7期92-97,共6页
通过XRD、SEM、^(29)Si和^(27)Al NMR等测试技术,研究了海水拌合与养护粉煤灰-水泥胶凝浆体微结构的形成演变机理。结果表明:海水拌合与养护会固化硅酸盐水泥中C_(3)A形成的Al^(3+),产生Friedel's盐与AFt,降低浆体中C-S-H的Al[4]/Si... 通过XRD、SEM、^(29)Si和^(27)Al NMR等测试技术,研究了海水拌合与养护粉煤灰-水泥胶凝浆体微结构的形成演变机理。结果表明:海水拌合与养护会固化硅酸盐水泥中C_(3)A形成的Al^(3+),产生Friedel's盐与AFt,降低浆体中C-S-H的Al[4]/Si,提高其聚合程度和分子链长(MCL),且变化幅度随水化龄期的延长而增大;随养护龄期延长,C-A-S-H中的Al向AFt、AFm和Friedel's盐中转移。粉煤灰的掺入可削弱海水拌合与养护对胶凝浆体的脱铝作用;随养护龄期延长,C-S-H凝胶硅氧链的聚合度和MCL增大,Al[4]/Si先增大后减小;粉煤灰和C-A-S-H中的Al向AFt、AFm以及Friedel's盐中迁移。 展开更多
关键词 海水拌合 粉煤灰-水泥胶凝浆体 微结构 C-(A)-S-H凝胶 29si NMR 27al NMR
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硅基HA/Al_2O_3复合生物涂层的制备与表征 被引量:2
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作者 吴振军 杨妍 +1 位作者 陈宗璋 李素芳 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第8期1355-1358,共4页
通过磁控溅射沉积、阳极氧化与溶胶-凝胶结合的多步技术在Si(100)表面制备了HA/Al_2O_3复合生物涂层材料。采用TG-DSC测定了复合涂层中HA外层的烧成温度,采用XRD、FT-IR以及EDS分析了Si(100)基HA/Al_2O_3复合生物涂层的组成,并借助SEM... 通过磁控溅射沉积、阳极氧化与溶胶-凝胶结合的多步技术在Si(100)表面制备了HA/Al_2O_3复合生物涂层材料。采用TG-DSC测定了复合涂层中HA外层的烧成温度,采用XRD、FT-IR以及EDS分析了Si(100)基HA/Al_2O_3复合生物涂层的组成,并借助SEM研究了复合涂层的表面与截面的微观形貌。研究表明,凝胶完全转变为HA外层的最低温度约为550℃,凝胶经600℃处理30min后可在Si(100)- Al_2O_3基上形成具有一定数量纳米细孔且含有少量CO_3的HA外层;HA外层嵌入Si(100)基阳极氧化Al_2O_3多孔层的孔洞中构成HA/Al_2O_3复合生物涂层。 展开更多
关键词 si(100) HA/al2O3 复合生物涂层 阳极氧化 溶胶-凝胶
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焙烧温度对不同硅铝比的硅铝复合氧化物酸性质的影响 被引量:1
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作者 盖媛媛 李海涛 柴晶 《当代化工》 CAS 2023年第6期1279-1283,共5页
用溶胶-凝胶法制备硅铝复合氧化物,利用热重-差热分析(TG-DTA)、傅立叶变换红外光谱(FTIR)、氨程序升温脱附(NH3-TPD)、吸附吡啶红外光谱(Py-IR)等表征手段探讨焙烧温度变化对硅铝复合氧化物酸强度、酸量和酸类型等性质的影响。结果表明... 用溶胶-凝胶法制备硅铝复合氧化物,利用热重-差热分析(TG-DTA)、傅立叶变换红外光谱(FTIR)、氨程序升温脱附(NH3-TPD)、吸附吡啶红外光谱(Py-IR)等表征手段探讨焙烧温度变化对硅铝复合氧化物酸强度、酸量和酸类型等性质的影响。结果表明:焙烧温度在500~900℃的考察范围内,硅铝复合氧化物样品均显示出弱酸和中强酸性;随处理温度升高,硅铝复合氧化物样品呈现硅、铝物种复合程度增加(Si—O—Al键增多),B酸中心数量逐渐减少,且总酸量递减的趋势,这可归因于高温条件下硅铝复合氧化物羟基数量的减少。与Al/Si原子数之比为0.05的硅铝复合氧化物相比,Al/Si原子数之比为0.5的硅铝复合氧化物具有更多的Si—O—Al键,且存在少量强酸位。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 硅铝复合氧化物 al/si原子比 焙烧温度 酸性
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Cu和Ni对铁基合金玻璃形成能力及热稳定性的影响 被引量:6
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作者 傅明喜 李岩 +2 位作者 查燕青 黄兴民 卢永慧 《特种铸造及有色合金》 CAS CSCD 北大核心 2006年第4期196-198,共3页
利用X射线衍射(XRD)和差热分析(DSC)方法研究了Cu和Ni元素对Fe-(Al,Ga)-(P,C,Si,B)系合金非晶形成能力及热稳定性的影响。结果表明,含有少量Cu(小于2%,摩尔分数)的合金仍保持非晶态。由于Fe-Cu、Cu-Al之间的复杂作用影响了合金玻璃形成... 利用X射线衍射(XRD)和差热分析(DSC)方法研究了Cu和Ni元素对Fe-(Al,Ga)-(P,C,Si,B)系合金非晶形成能力及热稳定性的影响。结果表明,含有少量Cu(小于2%,摩尔分数)的合金仍保持非晶态。由于Fe-Cu、Cu-Al之间的复杂作用影响了合金玻璃形成能力,使Al/Cu比值成为重要因素。而Ni含量小于4%(摩尔分数)时,则有利于合金的玻璃形成能力的提高和热稳定性的增加。 展开更多
关键词 Fe-(al Ga)-(P C si B)非晶合金 玻璃形成能力 热稳定性 XRD DSC
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阳极氧化制备硅基氧化铝薄膜MIM电容器 被引量:1
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作者 吕雁慧 郭丽芳 +1 位作者 李刚 李廷鱼 《微纳电子技术》 北大核心 2019年第6期493-498,504,共7页
提出了一种在常温下通过简单的恒电流阳极氧化制备Al_2O_3薄膜构建金属-介质-金属(MIM)结构电容器的方法,通过控制阳极氧化时间制备出不同厚度Al_2O_3薄膜,避免了高成本且复杂的制备工艺。首先探究了不同Al_2O_3薄膜厚度对MIM电容器的... 提出了一种在常温下通过简单的恒电流阳极氧化制备Al_2O_3薄膜构建金属-介质-金属(MIM)结构电容器的方法,通过控制阳极氧化时间制备出不同厚度Al_2O_3薄膜,避免了高成本且复杂的制备工艺。首先探究了不同Al_2O_3薄膜厚度对MIM电容器的电容特性的影响,发现厚度为25.1 nm的Al_2O_3薄膜层构成的电容器性能最佳。它的能量密度值最大,为3.55 J/cm^3;其电容密度较大,可达到5.05fF/μm^2;其漏电流性能好,在0.8 V时漏电流密度仅为9.36 nA/cm^2。此外,对该电容器电容变化率与施加电压时间的关系也进行了研究,当施加电压为2 V时,可预测工作十年后的电容变化率仅为1.82%。因此,通过阳极氧化制备介质层构建硅基MIM结构为制备低成本、可集成的储能电容器提供了一种新方案。 展开更多
关键词 al2O3薄膜 阳极氧化 硅(si) 金属-介质-金属(MIM)电容器 储能电容
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