薄膜Se对薄膜Al电极的防护作用探讨

本文在25℃、相对湿度50%的条件下,分别蒸镀了Al,Al/Se薄膜,研究了它们在空气中的导电性能,试验结果表明,只需50s,Al薄膜的氧化反应已基本完成,其电阻率变化率为24.9%;大约需要2min,Al/Se薄膜电阻变化率为4.5%,随后其电阻基本处于稳定状态。这主要是因为薄膜边沿和镀Se薄膜时形成的针孔的铝膜首先被氧化,使电阻增加。形成的Al2O3薄膜阻止了反应的继续进行,电阻不再变化。