Si间隔层对Al(1wt.%Si)/Zr极紫外多层膜热稳定的作用研究（英文）

为了提升Al/Zr多层膜的热稳定性,采用直流磁控溅射方法制备了18个带有不同厚度Si间隔层的Al（1 wt.%Si）/Zr多层膜,并将这些样品分别进行了不同温度（100-500℃）的真空退火,退火时间为1 h。利用X射线掠入射反射（GIXR）和X射线衍射（XRD）的方法来研究Si间隔层对Al/Zr多层膜热稳定性的作用。GIXR测量结果表明：随着Si间隔层厚度的增大,Al膜层的粗糙度减小,而Zr膜层的粗糙度增大;XRD测量结果表明：Al和Zr膜层粗糙度的变化是由于退火后膜层中晶粒尺寸不同造成的。相比于没有Si间隔层的Al/Zr多层膜,引入厚度为0.6 nm的Si间隔层可以有效提升Al/Zr多层膜的热稳定性。