薄膜液晶显示屏Al刻蚀废液处理的研究进展

跟踪薄膜液晶显示屏刻蚀废液处理研究进展,重点介绍Al刻蚀废液的处理方法和应用。采用合理的方法对Al蚀刻废液进行处理,可实现资源的循环利用,具有显著的经济效益,同时对减少环境污染具有重大意义。

Al-Si合金RIE参数选择

采用正交试验法对二手RIE刻Al设备A-360进行工艺参数选择试验,并以均匀性、刻蚀速率、对PR选择比为评价指标。试验中发现RF功率是影响各评价指标的最主要因素。通过进一步优化工艺,制定出了均匀性小于3%,刻蚀速率高于300nm/min,对PR选择比好于1.8的刻Al实用工艺。