铝钪合金靶材的制备及退火工艺研究

制备了铝钪合金(Al-20%Sc)靶材,并研究不同退火工艺对合金靶材微观组织和显微硬度的影响。结果表明:退火后,靶材样品晶粒形状发生变化,由棱角分明变得圆润,晶粒尺寸变大,晶界光滑;样品退火前硬度为70.37 HV0.1,随着退火温度的升高和时间的延长,合金硬度先明显降低后趋于稳定,最佳退火工艺为620℃×60min,此时靶材样品硬度降至55.03HV0.1,但其塑性提高,有利于后续机加工。