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Al-C/Al-N/Al涂层膜基结合强度工艺试验研究
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作者 陈梅 王刚 《佳木斯大学学报（自然科学版）》 CAS 2012年第2期247-249,共3页
通过对Al-C/Al-N/Al太阳能选择性吸收涂层沉积工艺的研究,分析了该涂层膜基结合强度较差的原因,进行了不同沉积工艺条件下的涂层膜基结合强度、吸收率和热损试验,对试验结果进行了仔细的分析,优化确认在Al-C/Al-N/Al太阳能选择性吸收涂... 通过对Al-C/Al-N/Al太阳能选择性吸收涂层沉积工艺的研究,分析了该涂层膜基结合强度较差的原因,进行了不同沉积工艺条件下的涂层膜基结合强度、吸收率和热损试验,对试验结果进行了仔细的分析,优化确认在Al-C/Al-N/Al太阳能选择性吸收涂层沉积工艺基础上实施第N层充N2气体工艺,可以较好的提高涂层的膜基结合强度,同时保证涂层的吸收率和集热管的热损不发生明显的下降. 展开更多
关键词 al-c/al-n/al涂层 膜基结合强度 吸收率
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