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中频磁控溅射沉积含铝类金刚石碳膜结构及其摩擦磨损性能研究 被引量：17
1
作者 张广安 王鹏 +3 位作者 陈友明 王霞 闫鹏勋 张俊彦 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期118-122,共5页
采用中频磁控溅射技术在单晶硅表面制备含铝类金刚石(Al-DLC)薄膜,利用原子力显微镜、X射线光电子能谱仪、红外光谱仪、纳米压痕仪和微摩擦磨损试验机等考察薄膜表面形貌、结构及其摩擦磨损性能.结果表明:所制备的Al-DLC薄膜均匀、致密... 采用中频磁控溅射技术在单晶硅表面制备含铝类金刚石(Al-DLC)薄膜,利用原子力显微镜、X射线光电子能谱仪、红外光谱仪、纳米压痕仪和微摩擦磨损试验机等考察薄膜表面形貌、结构及其摩擦磨损性能.结果表明:所制备的Al-DLC薄膜均匀、致密,表面粗糙度小,应力较低,硬度较高;薄膜与Si3N4陶瓷球对摩时显示出良好抗磨减摩性能;加基底偏压所制备薄膜的摩擦系数明显降低,耐磨寿命显著提高. 展开更多
关键词 中频磁控溅射 al-dlc薄膜 摩擦磨损性能
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