Al_2O_3陶瓷衬底碳离子预注入对金刚石薄膜应力的影响研究

通过对Al2 O3陶瓷衬底进行碳离子预注入 ,大大降低了Al2 O3陶瓷衬底上金刚石薄膜的应力 ,且金刚石薄膜中的压应力随碳离子注入剂量的增加而线性下降 .通过对Al2 O3陶瓷衬底注入前后的对比分析表明 ,高能量的碳离子注入Al2 O3陶瓷衬底以后 ,并没有产生过渡层性质的新相 ,而是大量累积在Al2 O3晶格的间隙位 ,使Al2 O3晶格发生畸变 .而且 ,随着碳离子注入剂量的增加 ,Al2 O3基体内晶格畸变加剧 ,注入层残余压应力也随之上升 .当金刚石薄膜沉积以后 ,在降温的过程中衬底这部分残余应力得到释放 。