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N_2/Ar流量比对HiPIMS技术制备AlCrSiN刀具涂层膜基结合力的影响
1
作者
李柏松
王铁钢
+1 位作者
侯翔
唐宽瑜
《装备制造技术》
2017年第12期67-69,共3页
近年来多元纳米复合涂层的发展,为制备高速切削、干式切削高质量涂层刀具提供了更优异的解决方案。采用国际新型高功率脉冲磁控溅射技术,制备了不同N_2/Ar流量比的AlCrSiN高铝含量纳米复合涂层。运用电子扫描显微镜、纳米划痕仪对涂层...
近年来多元纳米复合涂层的发展,为制备高速切削、干式切削高质量涂层刀具提供了更优异的解决方案。采用国际新型高功率脉冲磁控溅射技术,制备了不同N_2/Ar流量比的AlCrSiN高铝含量纳米复合涂层。运用电子扫描显微镜、纳米划痕仪对涂层力学性能进行表征。结果表明:N_2/Ar流量比的增加使AlCrSiN涂层膜基结合强度显著下降。N_2/Ar=1/4时临界载荷最大为66N.临界载荷的变化由沉积粒子动能主导同时与涂层显微结构的演化以及HiPIMS技术的工艺特点密切相关。
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关键词
纳米复合
薄膜
alcrsin薄膜
高功率脉冲磁控溅射
膜/基结合力
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职称材料
题名
N_2/Ar流量比对HiPIMS技术制备AlCrSiN刀具涂层膜基结合力的影响
1
作者
李柏松
王铁钢
侯翔
唐宽瑜
机构
天津职业技术师范大学天津市高速切削与精密加工重点实验室
出处
《装备制造技术》
2017年第12期67-69,共3页
基金
国家自然科学基金项目(No.51301181)
天津市应用基础与前沿技术研究计划重点项目(15JCZDJC39700)
天津市高等学校创新团队培养计划项目(TD12-5043)
文摘
近年来多元纳米复合涂层的发展,为制备高速切削、干式切削高质量涂层刀具提供了更优异的解决方案。采用国际新型高功率脉冲磁控溅射技术,制备了不同N_2/Ar流量比的AlCrSiN高铝含量纳米复合涂层。运用电子扫描显微镜、纳米划痕仪对涂层力学性能进行表征。结果表明:N_2/Ar流量比的增加使AlCrSiN涂层膜基结合强度显著下降。N_2/Ar=1/4时临界载荷最大为66N.临界载荷的变化由沉积粒子动能主导同时与涂层显微结构的演化以及HiPIMS技术的工艺特点密切相关。
关键词
纳米复合
薄膜
alcrsin薄膜
高功率脉冲磁控溅射
膜/基结合力
Keywords
nanocomposite film
alcrsin
film
HiPIMS
adhesion
分类号
TG156.88 [金属学及工艺—热处理]
TB114.2 [理学—运筹学与控制论]
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职称材料
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作者
出处
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1
N_2/Ar流量比对HiPIMS技术制备AlCrSiN刀具涂层膜基结合力的影响
李柏松
王铁钢
侯翔
唐宽瑜
《装备制造技术》
2017
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