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AlCu合金的反应离子刻蚀工艺研究
1
作者
苟君
吴志明
+1 位作者
太惠玲
袁凯
《微处理机》
2010年第3期18-20,共3页
AlCu合金的反应离子刻蚀具有其工艺特殊性,如Cu的去除、侧壁的保护、后腐蚀的抑制等。采用BCl3、Cl2、N2和CH4刻蚀AlCu合金,获得了优化的工艺参数,分析了CH4的侧壁保护作用,重点研究了刻蚀残留物的去除。
关键词
alcu合金
反应离子刻蚀
侧壁保护
残留物
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职称材料
微量元素对AlCu4.5合金力学性能的影响
被引量:
12
2
作者
董晟全
周敬恩
+3 位作者
严文
梁艳峰
李建平
杨通
《特种铸造及有色合金》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第1期16-18,共3页
高强度铸造Al Cu合金具有良好的室温和高温强度 ,但它的热裂倾向性一直是制约其发展的瓶颈。通过对合金的收缩应变和热裂抗力及准固态力学行为进行测试 ,研究了微量合金元素 (Ni,Si ,Ce ,La ,Ti,Zr ,Mn)对AlCu4.5合金准固态力学性能的...
高强度铸造Al Cu合金具有良好的室温和高温强度 ,但它的热裂倾向性一直是制约其发展的瓶颈。通过对合金的收缩应变和热裂抗力及准固态力学行为进行测试 ,研究了微量合金元素 (Ni,Si ,Ce ,La ,Ti,Zr ,Mn)对AlCu4.5合金准固态力学性能的影响。结果表明 ,Si,Ce ,La ,Ti,Zr合金元素能使AlCu4.5的热裂倾向性降低 ;加入质量分数为 2 %的Si会使合金的再辉现象非常严重 ,导致合金不可能有很高的强度而很快断裂 ;与其他AlCu4.5Si合金相比 ,AlCu4.5Si3合金具有很强的补缩能力 ,断裂应力值最高 ;La的加入能缩小二次枝晶间距 ,明显提高合金的抗热裂性能。
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关键词
微量元素
力学性能
热裂
铸造
alcu
4.5
合金
准固态
抗热裂性
铝
合金
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职称材料
半连续铸造AlCu/Al梯度合金的高温退火研究
被引量:
2
3
作者
张卫文
李元元
+1 位作者
温利平
张文
《金属热处理》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第5期6-8,共3页
采用双流浇注半连续铸造方法获得了AlCu/Al梯度合金。研究了合金高温退火处理后的组织和性能变化。结果表明 ,高温退火后合金的洛氏硬度比铸态时显著降低但仍保持明显的梯度分布 ,并且在铸件横截面中心位置硬度降低幅度小 ,靠铸件表面...
采用双流浇注半连续铸造方法获得了AlCu/Al梯度合金。研究了合金高温退火处理后的组织和性能变化。结果表明 ,高温退火后合金的洛氏硬度比铸态时显著降低但仍保持明显的梯度分布 ,并且在铸件横截面中心位置硬度降低幅度小 ,靠铸件表面区域降低幅度大。高温退火处理后 ,AlCu/Al梯度合金仍能保持宏观上铜含量的梯度分布与铸态时无明显的差别。
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关键词
半连续铸造
alcu
/Al梯度
合金
高温退火
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职称材料
AlCu4SiMg合金的动态再结晶体积分数模型构建及其在有限元模型中的应用(英文)
被引量:
9
4
作者
权国政
施瑞菊
+3 位作者
赵江
刘乔
熊威
邱慧敏
《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》
SCIE
EI
CAS
CSCD
2019年第6期1138-1151,共14页
为了更好地剖析AlCu4SiMg合金的动态再结晶(DRX)行为和流变行为的耦合效应,实施了具有DRX演变模型的有限元模拟。利用Gleeble-3500热模拟试验机,在温度为648~748K,应变速率为0.01~10s^-1的变形条件下对该合金进行等温压缩实验。依据实...
为了更好地剖析AlCu4SiMg合金的动态再结晶(DRX)行为和流变行为的耦合效应,实施了具有DRX演变模型的有限元模拟。利用Gleeble-3500热模拟试验机,在温度为648~748K,应变速率为0.01~10s^-1的变形条件下对该合金进行等温压缩实验。依据实验所得的真实应力-应变数据,拟合应变硬化率曲线(表征dσ/dε与σ之间的关系),并识别产生动态再结晶时的临界应变值(εc)。通过对材料参数的求解,确定DRX的体积分数方程和DRX达到50%时的应变方程。构建DRX体积分数演变的有限元(FE)模型,对一系列等温压缩实验进行模拟仿真。DRX体积分数演变可视化结果显示:在同一应变速率条件下,达到相同DRX体积分数的应变量随温度的降低而增加;在同一温度条件下,该应变量随应变速率的增加而增加。最后,通过金相分析验证AlCu4SiMg合金的DRX动力学模型及有限元模拟结果的可靠性。
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关键词
alcu
4SiMg
合金
DRX动力学模型
DRX体积分数
流变行为
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职称材料
Al—Cu合金固液共存区的非线性流变模型
被引量:
1
5
作者
陈魁英
李庆春
曾松岩
《金属科学与工艺》
CSCD
北大核心
1991年第4期66-70,共5页
本文建立了 Al—Cu 合金固液共存区的非线性流变模型.并同线性模型进行了对比。结果表明,在断裂应力附近并随蠕变量的增加,非线性流变行为显著。
关键词
alcu合金
共存区
流变模型
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职称材料
电磁搅拌对Al-5wt%Cu初生相形貌的影响
被引量:
5
6
作者
谢辉
丁雨田
+1 位作者
郭学锋
许广济
《热加工工艺》
CSCD
北大核心
2000年第6期5-7,共3页
采用电磁搅拌法研究 Al- 5 wt% Cu合金在连续冷却条件下的凝固组织 ,分析初生相形成过程。结果表明 ,熔体中的初生相来源于型壁上枝晶游离和熔体内部形核与生长 ;受电磁搅拌影响 ,初生相由树枝晶逐步演化为块状或粒状晶 ,在连续冷却条...
采用电磁搅拌法研究 Al- 5 wt% Cu合金在连续冷却条件下的凝固组织 ,分析初生相形成过程。结果表明 ,熔体中的初生相来源于型壁上枝晶游离和熔体内部形核与生长 ;受电磁搅拌影响 ,初生相由树枝晶逐步演化为块状或粒状晶 ,在连续冷却条件下初生相并不能完全粒状化 ;电磁搅拌对非枝晶组织的聚集与分散具有双重作用。
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关键词
电磁搅拌
非枝晶组织
枝晶游离
alcu合金
初生相
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职称材料
题名
AlCu合金的反应离子刻蚀工艺研究
1
作者
苟君
吴志明
太惠玲
袁凯
机构
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
出处
《微处理机》
2010年第3期18-20,共3页
文摘
AlCu合金的反应离子刻蚀具有其工艺特殊性,如Cu的去除、侧壁的保护、后腐蚀的抑制等。采用BCl3、Cl2、N2和CH4刻蚀AlCu合金,获得了优化的工艺参数,分析了CH4的侧壁保护作用,重点研究了刻蚀残留物的去除。
关键词
alcu合金
反应离子刻蚀
侧壁保护
残留物
Keywords
alcu
alloy
RIE
Sidewall protection
Residue
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
微量元素对AlCu4.5合金力学性能的影响
被引量:
12
2
作者
董晟全
周敬恩
严文
梁艳峰
李建平
杨通
机构
西安交通大学
西安工业学院
出处
《特种铸造及有色合金》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第1期16-18,共3页
基金
国家自然科学基金项目 (40 4 0 1 0 50 1 0 2 )
文摘
高强度铸造Al Cu合金具有良好的室温和高温强度 ,但它的热裂倾向性一直是制约其发展的瓶颈。通过对合金的收缩应变和热裂抗力及准固态力学行为进行测试 ,研究了微量合金元素 (Ni,Si ,Ce ,La ,Ti,Zr ,Mn)对AlCu4.5合金准固态力学性能的影响。结果表明 ,Si,Ce ,La ,Ti,Zr合金元素能使AlCu4.5的热裂倾向性降低 ;加入质量分数为 2 %的Si会使合金的再辉现象非常严重 ,导致合金不可能有很高的强度而很快断裂 ;与其他AlCu4.5Si合金相比 ,AlCu4.5Si3合金具有很强的补缩能力 ,断裂应力值最高 ;La的加入能缩小二次枝晶间距 ,明显提高合金的抗热裂性能。
关键词
微量元素
力学性能
热裂
铸造
alcu
4.5
合金
准固态
抗热裂性
铝
合金
Keywords
Hot Crack, Cast A14.5Cu Alloy, Quasi-solid,Hot Crack Resistant Behavior
分类号
TG146.2 [金属学及工艺—金属材料]
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职称材料
题名
半连续铸造AlCu/Al梯度合金的高温退火研究
被引量:
2
3
作者
张卫文
李元元
温利平
张文
机构
华南理工大学机电工程系
出处
《金属热处理》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第5期6-8,共3页
基金
国家自然科学基金 (5990 50 0 7)
广东省自然科学基金(9942 50 )
文摘
采用双流浇注半连续铸造方法获得了AlCu/Al梯度合金。研究了合金高温退火处理后的组织和性能变化。结果表明 ,高温退火后合金的洛氏硬度比铸态时显著降低但仍保持明显的梯度分布 ,并且在铸件横截面中心位置硬度降低幅度小 ,靠铸件表面区域降低幅度大。高温退火处理后 ,AlCu/Al梯度合金仍能保持宏观上铜含量的梯度分布与铸态时无明显的差别。
关键词
半连续铸造
alcu
/Al梯度
合金
高温退火
Keywords
semi-continuous casting
alcu
/Al gradient material
high temperature annealing
分类号
TG156.25 [金属学及工艺—热处理]
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职称材料
题名
AlCu4SiMg合金的动态再结晶体积分数模型构建及其在有限元模型中的应用(英文)
被引量:
9
4
作者
权国政
施瑞菊
赵江
刘乔
熊威
邱慧敏
机构
重庆大学材料科学与工程学院机械传动国家重点实验室
清华大学核能与新能源技术研究院先进核能技术协同创新中心先进反应堆工程与安全教育部重点实验室
出处
《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》
SCIE
EI
CAS
CSCD
2019年第6期1138-1151,共14页
基金
Project(cstc2016jcyjA0335)supported by Chongqing Foundation and Frontier Research,China
Project(P2017-020)supported by Open Fund Project of State Key Laboratory of Materials Processing and Die&Mould Technology,China
文摘
为了更好地剖析AlCu4SiMg合金的动态再结晶(DRX)行为和流变行为的耦合效应,实施了具有DRX演变模型的有限元模拟。利用Gleeble-3500热模拟试验机,在温度为648~748K,应变速率为0.01~10s^-1的变形条件下对该合金进行等温压缩实验。依据实验所得的真实应力-应变数据,拟合应变硬化率曲线(表征dσ/dε与σ之间的关系),并识别产生动态再结晶时的临界应变值(εc)。通过对材料参数的求解,确定DRX的体积分数方程和DRX达到50%时的应变方程。构建DRX体积分数演变的有限元(FE)模型,对一系列等温压缩实验进行模拟仿真。DRX体积分数演变可视化结果显示:在同一应变速率条件下,达到相同DRX体积分数的应变量随温度的降低而增加;在同一温度条件下,该应变量随应变速率的增加而增加。最后,通过金相分析验证AlCu4SiMg合金的DRX动力学模型及有限元模拟结果的可靠性。
关键词
alcu
4SiMg
合金
DRX动力学模型
DRX体积分数
流变行为
Keywords
alcu
4SiMg alloy
DRX kinetics model
DRX volume fraction
flow behavior
分类号
TG146.21 [金属学及工艺—金属材料]
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职称材料
题名
Al—Cu合金固液共存区的非线性流变模型
被引量:
1
5
作者
陈魁英
李庆春
曾松岩
机构
哈尔滨工业大学
出处
《金属科学与工艺》
CSCD
北大核心
1991年第4期66-70,共5页
文摘
本文建立了 Al—Cu 合金固液共存区的非线性流变模型.并同线性模型进行了对比。结果表明,在断裂应力附近并随蠕变量的增加,非线性流变行为显著。
关键词
alcu合金
共存区
流变模型
Keywords
Al-Cu alloy
solid-Liquid coexistence zone
non-linear rheological model
分类号
TG146.21 [金属学及工艺—金属材料]
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职称材料
题名
电磁搅拌对Al-5wt%Cu初生相形貌的影响
被引量:
5
6
作者
谢辉
丁雨田
郭学锋
许广济
机构
西安理工大学
甘肃工业大学
出处
《热加工工艺》
CSCD
北大核心
2000年第6期5-7,共3页
基金
陕西省教委基金!资助 (99JK2 2 3)
文摘
采用电磁搅拌法研究 Al- 5 wt% Cu合金在连续冷却条件下的凝固组织 ,分析初生相形成过程。结果表明 ,熔体中的初生相来源于型壁上枝晶游离和熔体内部形核与生长 ;受电磁搅拌影响 ,初生相由树枝晶逐步演化为块状或粒状晶 ,在连续冷却条件下初生相并不能完全粒状化 ;电磁搅拌对非枝晶组织的聚集与分散具有双重作用。
关键词
电磁搅拌
非枝晶组织
枝晶游离
alcu合金
初生相
分类号
TG292 [金属学及工艺—铸造]
TG146.21 [金属学及工艺—金属材料]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
AlCu合金的反应离子刻蚀工艺研究
苟君
吴志明
太惠玲
袁凯
《微处理机》
2010
0
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职称材料
2
微量元素对AlCu4.5合金力学性能的影响
董晟全
周敬恩
严文
梁艳峰
李建平
杨通
《特种铸造及有色合金》
CAS
CSCD
北大核心
2003
12
下载PDF
职称材料
3
半连续铸造AlCu/Al梯度合金的高温退火研究
张卫文
李元元
温利平
张文
《金属热处理》
CAS
CSCD
北大核心
2002
2
下载PDF
职称材料
4
AlCu4SiMg合金的动态再结晶体积分数模型构建及其在有限元模型中的应用(英文)
权国政
施瑞菊
赵江
刘乔
熊威
邱慧敏
《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》
SCIE
EI
CAS
CSCD
2019
9
下载PDF
职称材料
5
Al—Cu合金固液共存区的非线性流变模型
陈魁英
李庆春
曾松岩
《金属科学与工艺》
CSCD
北大核心
1991
1
下载PDF
职称材料
6
电磁搅拌对Al-5wt%Cu初生相形貌的影响
谢辉
丁雨田
郭学锋
许广济
《热加工工艺》
CSCD
北大核心
2000
5
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
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引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
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