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C离子对AlGaAs/InGaAs异质结的辐照影响
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作者 王海丽 杨梦婕 +3 位作者 马晓龙 许坤 段向阳 王献立 《郑州航空工业管理学院学报》 2024年第4期66-71,共6页
基于SRIM软件计算了不同能量的C离子在AlGaAs/InGaAs异质结中的平均投影射程和辐照损伤区,仿真了能量为500keV、800keV、1100keV的C离子入射到AlGaAs/InGaAs异质结中的能量损失情况,发现随着入射离子能量的增加,电离能比例增加,非电离... 基于SRIM软件计算了不同能量的C离子在AlGaAs/InGaAs异质结中的平均投影射程和辐照损伤区,仿真了能量为500keV、800keV、1100keV的C离子入射到AlGaAs/InGaAs异质结中的能量损失情况,发现随着入射离子能量的增加,电离能比例增加,非电离能比例降低,入射离子产生的电离能损远大于反冲原子产生的电离能损,反冲原子产生的声子能损远多于入射离子产生的声子能损;通过仿真还发现,当C离子的能量为800keV时,辐照损伤区在异质结处且在异质结处产生的空位缺陷最多。 展开更多
关键词 C离子辐照 algaas/ingaas异质结 电离能损 非电离能损 空位
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Atomic-scale insights of indium segregation and its suppression by GaAs insertion layer in InGaAs/AlGaAs multiple quantum wells 被引量:1
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作者 马淑芳 李磊 +8 位作者 孔庆波 徐阳 刘青明 张帅 张西数 韩斌 仇伯仓 许并社 郝晓东 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第3期544-548,共5页
The In segregation and its suppression in InGaAs/AlGaAs quantum well are investigated by using high-resolution x-ray diffraction(XRD)and photoluminescence(PL),combined with the state-of-the-art aberration corrected sc... The In segregation and its suppression in InGaAs/AlGaAs quantum well are investigated by using high-resolution x-ray diffraction(XRD)and photoluminescence(PL),combined with the state-of-the-art aberration corrected scanning transmission electron microscopy(Cs-STEM)techniques.To facility our study,we grow two multiple quantum wells(MQWs)samples,which are almost identical except that in sample B a thin GaAs layer is inserted in each of the InGaAs well and AlGaAs barrier layer comparing to pristine InGaAs/AlGaAs MQWs(sample A).Our study indeed shows the direct evidences that In segregation occurs in the InGaAs/AlGaAs interface,and the effect of the Ga As insertion layer on suppressing the segregation of In atoms is also demonstrated on the atomic-scale.Therefore,the atomic-scale insights are provided to understand the segregation behavior of In atoms and to unravel the underlying mechanism of the effect of GaAs insertion layer on the improvement of crystallinity,interface roughness,and further an enhanced optical performance of InGaAs/AlGaAs QWs. 展开更多
关键词 ingaas/algaas quantum well GaAs insertion layer In segregation scanning transmission electron microscopy
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GaAs插入层对InGaAs/AlGaAs量子阱发光性质的影响
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作者 于海鑫 王海珠 +4 位作者 郎天宇 吕明辉 徐睿良 范杰 邹永刚 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第11期1967-1973,共7页
InGaAs/AlGaAs多量子阱(MQWs)作为一种常见的Ⅲ-Ⅴ族外延材料,通常应用于半导体激光器和太阳能电池等领域。然而,由于量子阱的势阱层和势垒层生长温度不同,铟原子的偏析和多量子阱生长质量较差等问题尚未得到很好的解决。本文设计了一... InGaAs/AlGaAs多量子阱(MQWs)作为一种常见的Ⅲ-Ⅴ族外延材料,通常应用于半导体激光器和太阳能电池等领域。然而,由于量子阱的势阱层和势垒层生长温度不同,铟原子的偏析和多量子阱生长质量较差等问题尚未得到很好的解决。本文设计了一种砷化镓(GaAs)材料作为插入层(ISL),并用于InGaAs/AlGaAs MQWs的结构。PL、XRD、AFM测试表明,GaAs插入层保证了MQWs结构中更多的辐射复合,阻止了铟原子的偏析。但GaAs插入层的引入也会产生“局域态”,影响量子阱的发光性质。本研究可以加深对InGaAs/AlGaAs多量子阱辐射复合机制的理解,并且对引入GaAs插入层的InGaAs/AlGaAs多量子阱发光性质的研究具有重要意义。 展开更多
关键词 ingaas/algaas多量子阱 局域态 插入层 金属有机化合物气相外延(MOCVD)
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InGaAs/AlGaAs量子阱中量子尺寸效应对PL谱的影响 被引量:3
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作者 于永芹 黄柏标 +7 位作者 尉吉勇 潘教青 周海龙 齐云 陈文澜 秦晓燕 张晓阳 任忠祥 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期345-349,共5页
本文采用金属有机物化学气相淀积(MOCVD)方法设计并生长了两组InGaAs/AlGaAs应变多量子阱,量子阱的厚度分别为3nm和6nm,对其光致发光谱(PL)进行了研究,二者的发光波长分别为843nm和942nm,用有限深单量子阱理论近似计算了由于量子尺寸效... 本文采用金属有机物化学气相淀积(MOCVD)方法设计并生长了两组InGaAs/AlGaAs应变多量子阱,量子阱的厚度分别为3nm和6nm,对其光致发光谱(PL)进行了研究,二者的发光波长分别为843nm和942nm,用有限深单量子阱理论近似计算了由于量子尺寸效应和应变效应引起的InGaAs/AlGaAs量子阱带隙的改变,这解释了两组样品室温下PL发射波长变化的原因。 展开更多
关键词 ingaas/algaas量子阱 量子尺寸效应 MOCVD 应变效应 金属有机物化学气相淀积 铟钙砷化合物 铝钙砷
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AlGaAs/InGaAs功率PHEMT用异质材料的计算机优化与器件实验结果 被引量:4
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作者 陈效建 刘军 郑雪帆 《固体电子学研究与进展》 CSCD 北大核心 1995年第2期133-141,共9页
借助一新的工艺模拟与异质器件模型用CAD软件──POSES(Poisson-SchroedingerEquationSolver),对以AlGaAs/InGaAs异质结为基础的多种功率PHEMT异质层结构系统(传统、... 借助一新的工艺模拟与异质器件模型用CAD软件──POSES(Poisson-SchroedingerEquationSolver),对以AlGaAs/InGaAs异质结为基础的多种功率PHEMT异质层结构系统(传统、单层与双层平面掺杂)进行了模拟与比较,确定出优化的双平面掺杂AlGaAs/InGaAs功率PHEMT异质结构参数,并结合器件几何结构参数的设定进行器件直流与微波特性的计算,用于指导材料生长与器件制造。采用常规的HEMT工艺进行AlGaAs/InGaAs功率PHEMT的实验研制。对栅长0.8μm、总栅宽1.6mm单胞器件的初步测试结果为:IDss250~450mA/mm;gm0250~320mS/mm;Vp-2.0-2.5V;BVDS5~12V。7GHz下可获得最大1.62W(功率密度1.0W/mm)的功率输出;最大功率附加效率(PAE)达47%。 展开更多
关键词 功率PHEMT CAD 异质结 双平面掺杂
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InGaAs/AlGaAs/GaAs单量子阱激光器的研究 被引量:2
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作者 王玉霞 王晓华 +3 位作者 李林 赵英杰 芦鹏 张晶 《长春理工大学学报(自然科学版)》 2003年第4期76-77,共2页
利用金属有机化合物气相沉积 (MOCVD)技术 ,研制出了高质量的InGaAs/AlGaAs/GaAs单量子阱激光器 ,其有源区采用了分别限制单量子阱结构 (SCH -SQW) ,利用该材料做出的半导体激光器的连续输出功率大于 1W ,峰值波长 91 0nm± 2nm。
关键词 单量子阱激光器 金属有机化合物气相沉积 MOCVD ingaas/algaas/GaAs 分别限制异质结构
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980nm InGaAs/GaAs/AlGaAs应变量子阱激光器
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作者 徐遵图 徐俊英 +5 位作者 杨国文 张敬明 肖建伟 何晓曦 郑婉华 陈良惠 《高技术通讯》 CAS CSCD 1996年第11期4-6,共3页
报导了脊形波导InGaAs/GaAs/AlGaAs应变量子阱激光器的特性和实验结果。激光器阈值电流最低为9mA,典型值为15mA,线性输出光功率大于120mW,微分量子效率典型值为60%(镀高反膜和增透膜),50℃、... 报导了脊形波导InGaAs/GaAs/AlGaAs应变量子阱激光器的特性和实验结果。激光器阈值电流最低为9mA,典型值为15mA,线性输出光功率大于120mW,微分量子效率典型值为60%(镀高反膜和增透膜),50℃、80mW恒定功率条件下老化实验结果表明:该条件下激光器寿命超过1000小时。 展开更多
关键词 应变层 量子阱 激光器 ingaas algaas 砷化镓
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Gate Annealing of an Enhancement-Mode InGaP/AlGaAs/InGaAs PHEMT
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作者 黎明 张海英 +3 位作者 徐静波 李潇 刘亮 付晓君 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第8期1487-1490,共4页
For enhancement-mode InGaP/A1GaAs/InGaAs PHEMTs,gate annealing is conducted between gate structures of Ti/Pt/Au and Pt/Ti/Pt/Au. Comparison is made after thermal annealing and an optimum annealing process is ob- taine... For enhancement-mode InGaP/A1GaAs/InGaAs PHEMTs,gate annealing is conducted between gate structures of Ti/Pt/Au and Pt/Ti/Pt/Au. Comparison is made after thermal annealing and an optimum annealing process is ob- tained. Using the structure of Ti/Pt/Au, about a 200mV positive shift of threshold voltage is achieved by thermal annea- ling at 320℃ for 40min in N2 ambient. Finally, a stable and consistent enhancement-mode PHEMT is produced successfully with higher threshold voltage. 展开更多
关键词 ENHANCEMENT-MODE InGaP/A1GaAs/ingaas PHEMT ANNEAL threshold voltage ring oscillator
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Abstraction of Small Signal Equivalent Circuit Parameters of Enhancement-Mode InGaP/AlGaAs/InGaAs PHEMT
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作者 徐静波 尹军舰 +3 位作者 张海英 李潇 刘亮 叶甜春 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期361-364,共4页
An extraction method of the component parameter values of an enhancement-mode InGaP/AIGaAs/In-GaAs PHEMT small signal equivalent circuit is presented,and these component parameter values are extracted by using the EEH... An extraction method of the component parameter values of an enhancement-mode InGaP/AIGaAs/In-GaAs PHEMT small signal equivalent circuit is presented,and these component parameter values are extracted by using the EEHEMT1 model of IC-CAP software. The extraction results are verified by ADS software,and the DC I-V curves and S parameters simulated by ADS are basically accordant with those of the test results. These results indicate that the EEHEMT1 model can be used for extracting the component parameters of an enhancement-mode PHEMT. 展开更多
关键词 ENHANCEMENT-MODE InGaP/AIGaAs/ingaas PHEMT small signal equivalent circuit parameter extraction
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InGaAs/AlGaAs量子阱红外探测器中势垒生长温度的研究 被引量:3
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作者 霍大云 石震武 +2 位作者 张伟 唐沈立 彭长四 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第6期334-340,共7页
InGaAs/AlGaAs量子阱是中波量子阱红外探测器件最常用的材料体系,本文以结构为2.4 nm In_(0.35)Ga_(0.65)As/40 nm Al_(0.34)Ga_(0.66)As的多量子阱材料为研究对象,利用分子束外延生长,固定InGaAs势阱的生长温度(465°C),然后依次... InGaAs/AlGaAs量子阱是中波量子阱红外探测器件最常用的材料体系,本文以结构为2.4 nm In_(0.35)Ga_(0.65)As/40 nm Al_(0.34)Ga_(0.66)As的多量子阱材料为研究对象,利用分子束外延生长,固定InGaAs势阱的生长温度(465°C),然后依次升高分别选取465,500,545,580°C生长AlGaAs势垒层,从而获得四个不同的多量子阱样品.通过荧光光谱以及X射线衍射测试系统分析了势垒层生长温度对InGaAs量子阱发光和质量的影响,并较准确地给出了量子阱大致的温致弛豫轨迹:465—500°C,开始出现相分离,但缺陷水平较低,属弹性弛豫阶段;500—545°C,相分离加剧并伴随缺陷水平的上升,属弹性弛豫向塑性弛豫过渡阶段;545—580°C,相分离以及缺陷水平急剧上升,迅速进入塑性弛豫阶段,尤其是580°C时,量子阱的材料质量被严重破坏. 展开更多
关键词 中波红外探测 量子阱红外探测器件 ingaas/algaas多量子阱 温致弛豫
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MBE生长的高质量AlGaAs/InGaAs双δ掺杂PHEMT结构的材料 被引量:1
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作者 曹昕 曾一平 +4 位作者 孔梅影 王保强 潘量 张昉昉 朱战萍 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第9期934-936,共3页
用 MBE方法制备的 PHEMT微结构材料 ,其 2 DEG浓度随材料结构的不同在 2 .0— 4.0× 1 0 12 cm- 2 之间 ,室温霍耳迁移率在 50 0 0— 650 0 cm2 · V- 1· s- 1之间 .制备的 PHEMT器件 ,栅长为 0 .7μm的器件的直流特性 :I... 用 MBE方法制备的 PHEMT微结构材料 ,其 2 DEG浓度随材料结构的不同在 2 .0— 4.0× 1 0 12 cm- 2 之间 ,室温霍耳迁移率在 50 0 0— 650 0 cm2 · V- 1· s- 1之间 .制备的 PHEMT器件 ,栅长为 0 .7μm的器件的直流特性 :Idss~ 2 80 m A/mm,Imax~ 52 0— 580 m A/mm,gm~ 32 0— 40 0 m S/mm,BVDS>1 5V( IDS=1 m A/mm) ,BVGS>1 0 V,微波特性 :P0 ~ 60 0— 90 0 m W/mm,G~ 6— 1 0 d B,ηadd~ 40— 60 % ;栅长为 0 .4μm的器件的直流特性 :Imax~ 80 0 m A/mm,gm>40 0 m S/mm. 展开更多
关键词 PHEMT MBE algaas/ingaas 掺杂
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As元素分子态对InGaAs/AlGaAs量子阱红外探测器性能的影响 被引量:1
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作者 方俊 孙令 刘洁 《半导体光电》 CAS 北大核心 2018年第5期607-611,653,共6页
对As_2和As_4两种不同分子态下利用分子束外延技术(MBE)生长的单层AlGaAs薄膜和GaAs基InGaAs/AlGaAs量子阱红外探测器(QWIP)的性能进行了研究,发现As2条件下生长的单层AlGaAs材料荧光强度更大、深能级缺陷密度更低;相对于As4较为复杂的... 对As_2和As_4两种不同分子态下利用分子束外延技术(MBE)生长的单层AlGaAs薄膜和GaAs基InGaAs/AlGaAs量子阱红外探测器(QWIP)的性能进行了研究,发现As2条件下生长的单层AlGaAs材料荧光强度更大、深能级缺陷密度更低;相对于As4较为复杂的吸附、生长机制引入的缺陷,在As2条件下生长的InGaAs/AlGaAs QWIP具有更低的暗电流密度、更好的黑体响应、更高的比探测率和更优异的器件均匀性。生长制备的InGaAs/AlGaAs QWIP在60K的工作温度、-2V偏压下,暗电流密度低至7.8nA/cm^2,光谱响应峰值波长为3.59μm,4V偏压下峰值探测率达到1.7×1011 cm·Hz1/2·W-1。另外,通过As元素的不同分子态下InGaAs/AlGaAs QWIP光响应谱峰位的移动可以推断出As元素的不同分子态也会影响In的并入速率。 展开更多
关键词 分子束外延 ingaas/algaas量子阱红外探测器 As元素分子态 暗电流
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MBE自组织方法生长InGaAs/AlGaAs量子线FET材料
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作者 张文俊 闫发旺 +2 位作者 崔奇 张荣桂 李献杰 《固体电子学研究与进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期223-226,共4页
利用分子束外延 (MBE)技术在高指数面 Ga As衬底上自组织生长了应变 In Ga As/Ga As量子线材料。原子力显微镜 (AFM)观测结果表明量子线的密度高达 4× 1 0 5/cm。低温偏振光致发光谱 (PPL)研究发现其发光峰半高宽 (FWHM)最小为 9.2... 利用分子束外延 (MBE)技术在高指数面 Ga As衬底上自组织生长了应变 In Ga As/Ga As量子线材料。原子力显微镜 (AFM)观测结果表明量子线的密度高达 4× 1 0 5/cm。低温偏振光致发光谱 (PPL)研究发现其发光峰半高宽 (FWHM)最小为 9.2 me V,最大偏振度可达 0 .2 2。以 Al Ga As为垫垒 ,In Ga As/Ga As量子线为沟道 ,成功制备了量子线场效应管 (QWR-FET)结构材料 ,并试制了器件 。 展开更多
关键词 MBE 自组织方法 ingaas/algaas量子线 FET材料 分子束外延 场效应管
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AlGaAs/InGaAs/GaAs异质结构中扩散噪声和扩散系数的蒙特卡罗研究
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作者 吴渊 牛国富 阮刚 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第11期801-806,共6页
本文用蒙特卡罗法研究了AlGaAs/InGaAs/GaAs异质结构中二维电子气的扩散噪声和扩散系数.同AlGaAs/GaAs异质结构的情况一样,平行速度相关函数呈现振荡,但不同的是振幅随电子密度变化很小.另外,振幅在... 本文用蒙特卡罗法研究了AlGaAs/InGaAs/GaAs异质结构中二维电子气的扩散噪声和扩散系数.同AlGaAs/GaAs异质结构的情况一样,平行速度相关函数呈现振荡,但不同的是振幅随电子密度变化很小.另外,振幅在InGaAs层厚度增加时下降.用单个电子的相关函数和一组电子的位移方差两种不同方法计算了扩散系数. 展开更多
关键词 algaas ingaas 砷化镓 扩散噪声 扩散系数
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Common Base Four-Finger InGaAs/InP Double Heterojunction Bipolar Transistor with Maximum Oscillation Frequency 535 GHz 被引量:4
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作者 牛斌 王元 +4 位作者 程伟 谢自力 陆海燕 常龙 谢俊领 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2015年第7期175-178,共4页
A common base four-finger InOaAs/InP double heterojunction bipolar transistor with 535 OHz fmax by using the 0.5 μm emitter technology is fabricated. Multi-finger design is used to increase the input current. Common ... A common base four-finger InOaAs/InP double heterojunction bipolar transistor with 535 OHz fmax by using the 0.5 μm emitter technology is fabricated. Multi-finger design is used to increase the input current. Common base configuration is compared with common emitter configuration, and shows a smaller K factor at high frequency span, indicating a larger breakpoint frequency of maximum stable gain/maximum available gain (MSG/MAG) and thus a higher gain near the cut-off frequency, which is useful in THz amplifier design. 展开更多
关键词 INP ingaas Common Base Four-Finger ingaas/InP Double heterojunction Bipolar Transistor with Maximum Oscillation Frequency 535 GHz
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Physical modeling based on hydrodynamic simulation for the design of InGaAs/InP double heterojunction bipolar transistors 被引量:1
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作者 葛霁 刘洪刚 +2 位作者 苏永波 曹玉雄 金智 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第5期669-674,共6页
A physical model for scaling and optimizing InGaAs/InP double heterojunction bipolar transistors(DHBTs) based on hydrodynamic simulation is developed.The model is based on the hydrodynamic equation,which can accurat... A physical model for scaling and optimizing InGaAs/InP double heterojunction bipolar transistors(DHBTs) based on hydrodynamic simulation is developed.The model is based on the hydrodynamic equation,which can accurately describe non-equilibrium conditions such as quasi-ballistic transport in the thin base and the velocity overshoot effect in the depleted collector.In addition,the model accounts for several physical effects such as bandgap narrowing,variable effective mass,and doping-dependent mobility at high fields.Good agreement between the measured and simulated values of cutoff frequency,f t,and maximum oscillation frequency,f max,are achieved for lateral and vertical device scalings.It is shown that the model in this paper is appropriate for downscaling and designing InGaAs/InP DHBTs. 展开更多
关键词 ingaas/InP double heterojunction bipolar transistors hydrodynamic simulation lateraland vertical scalable model
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Effect of growth interruption and strain buffer layer on PL performance of AlGaAs/GaAs/InGaAs quantum well for 1065 nm wavelength lasers
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作者 PANJiaoqing HUANGBaibiao +3 位作者 ZHANGXiaoyang YUEJinshun YUYongqin WEIJiyong 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2004年第1期64-67,共4页
Strained InGaAs/GaAs quantum well (QW) was grown by low-pressuremetallorganic chemical vapor deposition (MOCVD). Growth interruption and strain buffer layer wereintroduced to improve the photoluminescence (PL) perform... Strained InGaAs/GaAs quantum well (QW) was grown by low-pressuremetallorganic chemical vapor deposition (MOCVD). Growth interruption and strain buffer layer wereintroduced to improve the photoluminescence (PL) performance of the InGaAs/GaAs quantum well. GoodPL results were obtained under condition of growth an interruption of 10 s combined with a moderatestrain buffer layer. Wavelength lasers of 1064 nm using the QW were grown and processed intodevices. Broad area lasers (100 μm x 500 μm) show very low threshold current densities (43 A/cm^2)and high slop efficiency (0.34 W/A, per facet). 展开更多
关键词 algaas/GaAs/ingaas strained quantum well MOCVD strain buffer layer growthinterruption laser diodes
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应变InGaAs/AlGaAs量子阱激光器的工作特性 被引量:1
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作者 杨瑞麟 《半导体情报》 1994年第5期23-31,共9页
人们对激射波长在0.9<λ<1.1μm的应变InGaAs/AlGaAs量子阱(QW)激光器很感兴趣。主要应用有泵浦晶体或玻璃主体中的稀土离子(特别是掺Er3+光纤放大器的980nm泵浦),研制透明衬底的面发射激光器和... 人们对激射波长在0.9<λ<1.1μm的应变InGaAs/AlGaAs量子阱(QW)激光器很感兴趣。主要应用有泵浦晶体或玻璃主体中的稀土离子(特别是掺Er3+光纤放大器的980nm泵浦),研制透明衬底的面发射激光器和增加倍频二极管激光器的可用波长范围。本文叙述了多种结构应变InGaAs/AlGaAs单量于阱激光器的工作特性。 展开更多
关键词 量子阱 激光器 特性 ingaas/algaas 应变层
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带有复合掺杂层集电区的InP/InGaAs/InP DHBT直流特性分析 被引量:1
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作者 孙浩 齐鸣 +5 位作者 徐安怀 艾立鹍 苏树兵 刘新宇 刘训春 钱鹤 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期1431-1435,共5页
设计了一种新结构InP/InGaAs/InP双异质结双极晶体管(DHBT),在集电区与基区之间插入n+-InP层,以降低集电结的导带势垒尖峰,克服电流阻挡效应.采用基于热场发射和连续性方程的发射透射模型,计算了n+-InP插入层掺杂浓度和厚度对InP/InGaAs... 设计了一种新结构InP/InGaAs/InP双异质结双极晶体管(DHBT),在集电区与基区之间插入n+-InP层,以降低集电结的导带势垒尖峰,克服电流阻挡效应.采用基于热场发射和连续性方程的发射透射模型,计算了n+-InP插入层掺杂浓度和厚度对InP/InGaAs/InPDHBT集电结导带有效势垒高度和I-V特性的影响.结果表明,当n+-InP插入层掺杂浓度为3×1019cm-3、厚度为3nm时,可以获得较好的器件特性.采用气态源分子束外延(GSMBE)技术成功地生长出InP/InGaAs/InPDHBT结构材料.器件研制结果表明,所设计的DHBT材料结构能有效降低集电结的导带势垒尖峰,显著改善器件的输出特性. 展开更多
关键词 INP/ingaas 异质结双极晶体管 复合集电区 掺杂 势垒尖峰
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12 GHz GaAs/InGaAs异质结双栅功率场效应晶体管 被引量:1
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作者 王玉林 吴仲华 +1 位作者 徐中仓 陈效建 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1997年第2期110-113,共4页
报道了GaAs/InGaAs异质结双杨功率场效应晶体管的设计考虑、器件结构和制作,讨论了所采用的一些关键工艺,给出了器件性能。在12GHz下,最大输出功率≥130mW,增益≥12dB,功率附加效率≥30%。
关键词 异质结 双栅功率 场效应晶体管
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