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AlGaN/GaN异质结构的X射线衍射研究
1
作者
谭伟石
徐金
+5 位作者
蔡宏灵
沈波
吴小山
蒋树声
郑文莉
贾全杰
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第6期413-416,共4页
在(0001)取向的蓝宝石(α-Al2O3)基片上用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)方法生长了势垒层厚度为1000?的Al0.22Ga0.78N/GaN异质结构;;利用高分辨X射线衍射(HRXRD)技术测量了样品的对称反射(0002)和非对称反射(1014)的倒易空间Mapping(R...
在(0001)取向的蓝宝石(α-Al2O3)基片上用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)方法生长了势垒层厚度为1000?的Al0.22Ga0.78N/GaN异质结构;;利用高分辨X射线衍射(HRXRD)技术测量了样品的对称反射(0002)和非对称反射(1014)的倒易空间Mapping(RSM)。结果表明;;样品势垒层的内部微结构与应变状态和下层i-GaN的微结构与应变状态互相关联。样品势垒层的微应变已经发生弛豫;;而且具有一种“非常规”应变弛豫状态;;这种弛豫状态的来源可能与n-AlGaN的内部缺陷以及i-GaN/α-Al2O3界面应变弛豫状态有关。掠入射X射线衍射研究表明样品内部的应变是不均匀的;;由表层的横向压应变状态过渡到下层的张应变状态;;与根据倒易空间Mapping分析得到的结果一致。
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关键词
AI
gan
/gan
异质结构
倒易空间
map
ping
应变弛豫
掠入射X射线衍射
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职称材料
题名
AlGaN/GaN异质结构的X射线衍射研究
1
作者
谭伟石
徐金
蔡宏灵
沈波
吴小山
蒋树声
郑文莉
贾全杰
机构
南京理工大学理学院应用物理系
南京大学固体微结构物理国家重点实验室南京大学物理系南京
南京大学固体微结构物理国家重点实验室南京大学物理系
中国科学院高能物理研究所
出处
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第6期413-416,共4页
基金
国家自然科学基金(No. 90201039
10023001
+1 种基金
10174030)
国家高科技(863)发展计划资助项目
文摘
在(0001)取向的蓝宝石(α-Al2O3)基片上用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)方法生长了势垒层厚度为1000?的Al0.22Ga0.78N/GaN异质结构;;利用高分辨X射线衍射(HRXRD)技术测量了样品的对称反射(0002)和非对称反射(1014)的倒易空间Mapping(RSM)。结果表明;;样品势垒层的内部微结构与应变状态和下层i-GaN的微结构与应变状态互相关联。样品势垒层的微应变已经发生弛豫;;而且具有一种“非常规”应变弛豫状态;;这种弛豫状态的来源可能与n-AlGaN的内部缺陷以及i-GaN/α-Al2O3界面应变弛豫状态有关。掠入射X射线衍射研究表明样品内部的应变是不均匀的;;由表层的横向压应变状态过渡到下层的张应变状态;;与根据倒易空间Mapping分析得到的结果一致。
关键词
AI
gan
/gan
异质结构
倒易空间
map
ping
应变弛豫
掠入射X射线衍射
Keywords
algan/gan heterostructure
,
reciprocal space mappings
,
strain relaxation
,
grazing incidence x-ray diffraction clc o472.3
分类号
O472.3 [理学—半导体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
AlGaN/GaN异质结构的X射线衍射研究
谭伟石
徐金
蔡宏灵
沈波
吴小山
蒋树声
郑文莉
贾全杰
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004
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