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Performance improvement of AlGaN-based deep ultraviolet light-emitting diodes with double electron blocking layers 被引量:4
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作者 张诚 孙慧卿 +4 位作者 李旭娜 孙浩 范宣聪 张柱定 郭志友 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第2期538-543,共6页
The AlGaN-based deep ultraviolet light-emitting diodes(LED) with double electron blocking layers(d-EBLs) on both sides of the active region are investigated theoretically. They possess many excellent performances ... The AlGaN-based deep ultraviolet light-emitting diodes(LED) with double electron blocking layers(d-EBLs) on both sides of the active region are investigated theoretically. They possess many excellent performances compared with the conventional structure with only a single electron blocking layer, such as a higher recombination rate, improved light output power and internal quantum efficiency(IQE). The reasons can be concluded as follows. On the one hand, the weakened electrostatic field within the quantum wells(QWs) enhances the electron–hole spatial overlap in QWs, and therefore increases the probability of radioactive recombination. On the other hand, the added n-AlGaN layer can not only prevent holes from overflowing into the n-side region but also act as another electron source, providing more electrons. 展开更多
关键词 double electron blocking layers ultraviolet light-emitting diodes n-a1gan electrostatic field
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Enhancement of Breakdown Voltage in AlGaN/GaN High Electron Mobility Transistors Using Double Buried p-Type Layers 被引量:1
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作者 罗俊 赵胜雷 +3 位作者 林志宇 张进成 马晓华 郝跃 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2016年第6期121-124,共4页
A novel A1GaN/GaN high electron mobility transistor (HEMT) with double buried p-type layers (DBPLs) in the GaN buffer layer and its mechanism are studied. The DBPL A1GaN/GaN HEMT is characterized by two equi-long ... A novel A1GaN/GaN high electron mobility transistor (HEMT) with double buried p-type layers (DBPLs) in the GaN buffer layer and its mechanism are studied. The DBPL A1GaN/GaN HEMT is characterized by two equi-long p-type GaN layers which are buried in the GaN buffer layer under the source side. Under the condition of high-voltage blocking state, two reverse p-n junctions introduced by the buried p-type layers will effectively modulate the surface and bulk electric fields. Meanwhile, the buffer leakage is well suppressed in this structure and both lead to a high breakdown voltage. The simulations show that the breakdown voltage of the DBPL structure can reach above 2000 V from 467 V of the conventional structure with the same gate-drain length of 8μm. 展开更多
关键词 algan on is Enhancement of Breakdown Voltage in algan/gan High Electron Mobility Transistors Using double Buried p-Type Layers HEMT of in
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High linearity AlGaN/GaN HEMT with double-Vth coupling for millimeter-wave applications
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作者 Pengfei Wang Minhan Mi +8 位作者 Meng Zhang Jiejie Zhu Yuwei Zhou Jielong Liu Sijia Liu Ling Yang Bin Hou Xiaohua Ma Yue Hao 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第2期547-551,共5页
We demonstrated an AlGaN/GaN high electron mobility transistor(HEMT)namely double-Vthcoupling HEMT(DVC-HEMT)fabricated by connecting different threshold voltage(Vth)values including the slant recess element and planar... We demonstrated an AlGaN/GaN high electron mobility transistor(HEMT)namely double-Vthcoupling HEMT(DVC-HEMT)fabricated by connecting different threshold voltage(Vth)values including the slant recess element and planar element in parallel along the gate width with N;O plasma treatment on the gate region.The comparative studies of DVC-HEMT and Fin-like HEMT fabricated on the same wafer show significantly improved linearity of transconductance(Gm)and radio frequency(RF)output signal characteristics in DVC-HEMT.The fabricated device shows the transconductance plateau larger than 7 V,which yields a flattened fT/fmax-gate bias dependence.At the operating frequency of 30 GHz,the peak power-added efficiency(PAE)of 41%accompanied by the power density(Pout)of 5.3 W/mm.Furthermore,the proposed architecture also features an exceptional linearity performance with 1-d B compression point(P1 d B)of 28 d Bm,whereas that of the Fin-like HEMT is 25.2 d Bm.The device demonstrated in this article has great potential to be a new paradigm for millimeter-wave application where high linearity is essential. 展开更多
关键词 algan/gan LINEARITY 1-dB compression point millimeter-wave application
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Binding energies of impurity states in strained wurtzite GaN/Al_xGa_(1-x)N heterojunctions with finitely thick potential barriers
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作者 冯振宇 班士良 朱俊 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第6期440-445,共6页
Ground state binding energies of donor impurities in a strained wurtzite GaN/AlxGal_xN heterojunction with a po- tential barrier of finite thickness are investigated using a variational approach combined with a numeri... Ground state binding energies of donor impurities in a strained wurtzite GaN/AlxGal_xN heterojunction with a po- tential barrier of finite thickness are investigated using a variational approach combined with a numerical computation. The built-in electric field due to the spontaneous and piezoelectric polarization, the strain modification due to the lattice mismatch near the interfaces, and the effects of ternary mixed crystals are all taken into account. It is found that the binding energies by using numerical wave functions are obviously greater than those by using variational wave functions when impurities are located in the channel near the interface of a heterojunction. Nevertheless, the binding energies using the former functions are obviously less than using the later functions when impurities are located in the channel far from an interface. The difference between our numerical method and the previous variational method is huge, showing that the former should be adopted in further work for the relevant problems. The binding energies each as a function of hydrostatic pressure are also calculated. But the change is unobvious in comparison with that obtained by the variational method. 展开更多
关键词 WURTZITE gan/alxGa1-xN heterojunction impurity state binding energy
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多孔n-GaN/p-Zn_(x)Cu_(1-x)S异质结的制备及紫外探测性能研究
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作者 杜志伟 贾伟 +5 位作者 贾凯达 任恒磊 李天保 董海亮 贾志刚 许并社 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第8期1326-1336,共11页
本文首先采用紫外光辅助电化学刻蚀(UV-EC)方法制备出了孔隙密度为1.51×10^(10)cm^(-2)、平均孔径为38 nm的多孔n-GaN薄膜;随后在其上通过水浴法沉积了一系列Zn_(x)Cu_(1-x)S复合薄膜,x为0.0、0.2、0.4、0.6、0.8、1.0,形成的多孔n... 本文首先采用紫外光辅助电化学刻蚀(UV-EC)方法制备出了孔隙密度为1.51×10^(10)cm^(-2)、平均孔径为38 nm的多孔n-GaN薄膜;随后在其上通过水浴法沉积了一系列Zn_(x)Cu_(1-x)S复合薄膜,x为0.0、0.2、0.4、0.6、0.8、1.0,形成的多孔n-GaN/p-Zn_(x)Cu_(1-x)S异质结带隙在2.34~3.51 eV调控;最后基于这些异质结构建出p-n结型紫外探测器。I-V曲线结果表明这些探测器均具有良好的整流特性,特别是n-GaN/p-Zn_(0.4)Cu_(0.6)S探测器性能最优。在暗态下,I_(+3 V)/I_(-3 V)约为1.78×10^(5);在偏压为-3 V、光功率密度为432μW/cm^(2)(365 nm)的条件下,光暗电流比超过10^(3),上升/下降时间为0.09/39.8 ms,响应度(R)为0.352 A/W,外量子效率(EQE)为119.6%,探测率(D^(*))为3.21×10^(12)Jones。I-t曲线结果表明,多孔n-GaN/p-Zn_(x)Cu_(1-x)S异质结紫外探测器在连续开-关光循环过程中拥有稳定的光电流响应。该研究为制备异质结紫外探测器提供了一定的理论指导和实验数据。 展开更多
关键词 p-Zn_(x)Cu_(1-x)S 多孔n-gan 异质结 紫外探测器 光暗电流比 响应度
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AlGaN/GaN异质结HEMT电学特性仿真研究
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作者 李尧 张栩莹 +6 位作者 王爱玲 牛瑞霞 王奋强 蓝俊 张鹏杰 刘良朋 吴回州 《现代电子技术》 北大核心 2024年第16期23-27,共5页
GaN基高电子迁移率晶体管(HEMT)作为宽禁带功率半导体器件的代表,在电子电路的应用方面有巨大的潜力。GaN HEMT因其高击穿电压、高电子迁移率等优异性能,适用于各种高频、高功率器件,并被广泛应用于雷达和航空航天等领域。文中利用Silva... GaN基高电子迁移率晶体管(HEMT)作为宽禁带功率半导体器件的代表,在电子电路的应用方面有巨大的潜力。GaN HEMT因其高击穿电压、高电子迁移率等优异性能,适用于各种高频、高功率器件,并被广泛应用于雷达和航空航天等领域。文中利用Silvaco TCAD软件,定义了AlGaN/GaN单异质结和双异质结HEMT结构,并对其转移特性、输出特性、频率特性和热特性进行了仿真研究。结果表明,AlGaN/GaN双异质结HEMT比单异质结器件具有更好的性能。这主要得益于双异质结二维电子气具有更好的限域性,并且载流子迁移率高的优势。 展开更多
关键词 algan/gan异质结 HEMT 二维电子气 转移特性 输出特性 频率特性 热特性
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Fabrication of GaN-Based Heterostructures with an InA1GaN/AlGaN Composite Barrier
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作者 全汝岱 张进成 +6 位作者 薛军帅 赵一 宁静 林志宇 张雅超 任泽阳 郝跃 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2016年第8期127-130,共4页
CaN-based heterostructures with an InAlCaN/AlCaN composite barrier on sapphire (0001) substrates are grown by a low-pressure metal organic chemical vapor deposition system. Compositions of the InAiGaN layer are dete... CaN-based heterostructures with an InAlCaN/AlCaN composite barrier on sapphire (0001) substrates are grown by a low-pressure metal organic chemical vapor deposition system. Compositions of the InAiGaN layer are determined by x-ray photoelectron spectroscopy, structure and crystal quality of the heterostruetures are identified by high resolution x-ray diffraction, surface morphology of the samples are examined by an atomic force microscope, and Hall effect and capacitance-voltage measurements are performed at room temperature to evaluate the electrical properties of heterostructures. The Al/In ratio of the InAlGaN layer is 4.43, which indicates that the InAlCaN quaternary layer is nearly lattice-matched to the CaN channel. Capacitance-voltage results show that there is no parasitic channel formed between the InAIGaN layer and the AlCaN layer. Compared with the InAl- CaN/CaN heterostructure, the electrical properties of the InAlCaN/AlGaN/GaN heterostructure are improved obviously. Influences of the thickness of the AlGaN layer on the electrical properties of the heterostructures are studied. With the optimal thickness of the AlGaN layer to be 5 nm, the 2DEG mobility, sheet density and the sheet resistance of the sample is 1889.61 cm2/V.s, 1.44 × 10^13 cm-2 and as low as 201.1 Ω/sq, respectively. 展开更多
关键词 algan in on as is Fabrication of gan-Based Heterostructures with an Ina1gan/algan Composite Barrier of with
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Observation of a Current Plateau in the Transfer Characteristics of InGaN/AlGaN/AlN/GaN Heterojunction Field Effect Transistors
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作者 闫俊达 王权 +11 位作者 王晓亮 肖红领 姜丽娟 殷海波 冯春 王翠梅 渠慎奇 巩稼民 张博 李百泉 王占国 侯洵 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2015年第12期113-116,共4页
Direct-current transfer characteristics of (InGaN)/A1GaN/A1N/GaN heterojunction field effect transistors (HFETs) are presented. A drain current plateau (IDs = 32.0 mA/mm) for Vcs swept from +0.7 V to -0. 6 V is... Direct-current transfer characteristics of (InGaN)/A1GaN/A1N/GaN heterojunction field effect transistors (HFETs) are presented. A drain current plateau (IDs = 32.0 mA/mm) for Vcs swept from +0.7 V to -0. 6 V is present in the transfer characteristics of InGaN/AIGaN/AIN/GaN HFETs. The theoretical calculation shows the coexistence of two-dimensional electron gas (2DEG) and two-dimensional hole gas (2DHG) in InGaN/AIGaN/A1N/GaN heterostructures, and the screening effect of 2DHG to the 2DEG in the conduction channel can explain this current plateau. Moreover, the current plateau shows the time-dependent behavior when IDs Vcs scans repeated are conducted. The obtained insight provides indication for the design in the fabrication of GaN-based super HFETs. 展开更多
关键词 algan Observation of a Current Plateau in the Transfer Characteristics of Ingan/algan/AlN/gan heterojunction Field Effect Transistors INgan AlN
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界面极化效应对Al_xGa_(1-x)N/GaN异质结pin探测器光电响应的影响 被引量:1
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作者 周建军 江若琏 +4 位作者 姬小利 谢自立 韩平 张荣 郑有炓 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期947-950,共4页
设计了正面入射的探测波长范围限制在326~365nm的AlxGa1-xN/GaN异质结pin光电探测器.利用自洽求解薛定谔-泊松方程计算了AlxGa1-xN/GaN异质结在无极化、完全极化和部分极化的能带图,结合光电响应谱的模拟,分析了界面极化效应对AlxGa1-x... 设计了正面入射的探测波长范围限制在326~365nm的AlxGa1-xN/GaN异质结pin光电探测器.利用自洽求解薛定谔-泊松方程计算了AlxGa1-xN/GaN异质结在无极化、完全极化和部分极化的能带图,结合光电响应谱的模拟,分析了界面极化效应对AlxGa1-xN/GaN异质结pin紫外光电探测器响应特性的影响并提出了改善方法. 展开更多
关键词 极化效应 algan/gan异质结 PIN探测器
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基于复合势垒的AlGaN/GaN异质结材料的制备与性能研究
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作者 彭大青 李忠辉 +4 位作者 蔡利康 李传皓 杨乾坤 张东国 罗伟科 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第5期746-752,共7页
针对高线性氮化镓微波功率器件研制需求,设计并外延生长了复合势垒的Al_(0.26)Ga_(0.74)N/GaN/Al_(0.20)Ga_(0.80)N/GaN异质结构材料,通过理论计算和电容-电压(C-V)测试表明复合势垒材料存在两层二维电子气沟道。生长的复合势垒材料二... 针对高线性氮化镓微波功率器件研制需求,设计并外延生长了复合势垒的Al_(0.26)Ga_(0.74)N/GaN/Al_(0.20)Ga_(0.80)N/GaN异质结构材料,通过理论计算和电容-电压(C-V)测试表明复合势垒材料存在两层二维电子气沟道。生长的复合势垒材料二维电子气迁移率达到1510 cm^(2)·V^(-1)·s^(-1),面密度达到9.7×10^(12)cm^(-2)。得益于双沟道效应,基于复合势垒材料研制的器件跨导存在两个峰,使得跨导明显展宽,达到3.0 V,是常规材料的1.5倍。复合势垒结构器件的跨导一阶导数与二阶导数具有更加优异的特性,表明其具有更高的谐波抑制能力,显示复合势垒AlGaN/GaN异质结构在高线性应用上的优势。 展开更多
关键词 algan/gan异质结 复合势垒 金属有机物气相沉积 高线性 跨导 二维电子气
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Ka波段InAlN/GaN/AlGaN双异质结场效应晶体管
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作者 张效玮 贾科进 +2 位作者 房玉龙 冯志红 赵正平 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第8期589-592,608,共5页
InAlN/GaN/AlGaN双异质结材料可以兼顾较高的二维电子气浓度和较好的载流子限域性,适宜制备Ka波段及以上微波功率器件。使用金属有机物气相外延方法,在SiC衬底上生长高性能InAlN/GaN/AlGaN双异质结构材料并制备了栅长为0.2μm的异质结... InAlN/GaN/AlGaN双异质结材料可以兼顾较高的二维电子气浓度和较好的载流子限域性,适宜制备Ka波段及以上微波功率器件。使用金属有机物气相外延方法,在SiC衬底上生长高性能InAlN/GaN/AlGaN双异质结构材料并制备了栅长为0.2μm的异质结场效应晶体管。测试结果表明,在栅压+2 V时器件的最大电流密度为1.12 A/mm,直流偏置条件VDS为+15 V和VGS为-1.6 V时,最高输出功率密度为2.1 W/mm,29 GHz下实现功率附加效率(ηPAE)为22.3%,截止频率fT达到60 GHz,最高振荡频率fmax为105 GHz。就功率密度和功率附加效率而言,是目前报道的Ka波段InAlN/GaN/AlGaN双异质结场效应晶体管研究的较好结果。 展开更多
关键词 INALN gan algan双异质结 异质结场效应晶体管(HFET) 附加功率效率 化硅(SiC) 功率增益截止频率 最高振荡频率
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双AlN插入层法在Si图形衬底上进行AlGaN/GaN HEMT的MOCVD生长
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作者 王勇 余乃林 +1 位作者 王丛舜 刘纪美 《长春理工大学学报(自然科学版)》 2011年第4期9-12,共4页
双AlN插入层方法被用来在Si(111)图形衬底上进行AlGaN/GaN高迁移率晶体管(HEMT)的金属有机物化学气相沉积(MOCVD)外延生长。Si图形衬底采用SiO2掩膜和湿法腐蚀(无掩膜)两种方法进行制备。高温生长双AlN插入层用来释放GaN外延层和Si衬底... 双AlN插入层方法被用来在Si(111)图形衬底上进行AlGaN/GaN高迁移率晶体管(HEMT)的金属有机物化学气相沉积(MOCVD)外延生长。Si图形衬底采用SiO2掩膜和湿法腐蚀(无掩膜)两种方法进行制备。高温生长双AlN插入层用来释放GaN外延层和Si衬底之间由于晶格失配和热失配而产生的张应力。AlGaN/GaN HEMT的生长特性被讨论和分析。在使用优化的双AlN插入层之前,可以在图形[1-100]方向观察到比[11-20]方向更多的由于应力而引起的裂纹。这是由于GaN在(1-100)面比(11-20)更稳定。建议在图形设计中,长边应沿着[11-20]方向进行制备。拉曼测试显示在图形凹角处比凸角处有更大的拉曼频移,证明在图形凹角处有更大的张应力。 展开更多
关键词 金属有机物化学气相沉积 algan/gan高迁移率晶体管 Si图形衬底 双AlN插入层
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AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管器件电离辐照损伤机理及偏置相关性研究 被引量:5
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作者 董世剑 郭红霞 +8 位作者 马武英 吕玲 潘霄宇 雷志锋 岳少忠 郝蕊静 琚安安 钟向丽 欧阳晓平 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第7期288-296,共9页
本文利用 60Co γ射线,针对 AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管(high-electron mobility transistors,HEMT)器件,开展了在不同偏置下器件电离辐照总剂量效应实验研究.采用1/f噪声结合直流电学特性参数对实验结果进行测量分析,分析结果表明,... 本文利用 60Co γ射线,针对 AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管(high-electron mobility transistors,HEMT)器件,开展了在不同偏置下器件电离辐照总剂量效应实验研究.采用1/f噪声结合直流电学特性参数对实验结果进行测量分析,分析结果表明,受到辐照诱生氧化物缺陷电荷与界面态的影响,当辐照总剂量达到1 Mrad(Si)时,零偏条件下AlGaN/GaN HEMT器件的电学参数退化得最大,其中,饱和漏电流减小36.28%,最高跨导降低52.94%;基于McWhorter模型提取了AlGaN/GaN HEMT器件辐照前后的缺陷密度,零偏条件下辐照前后缺陷密度变化最大,分别为4.080 × 1017和6.621 × 1017 cm–3·eV–1.其损伤机理是在氧化物层内诱生缺陷电荷和界面态,使AlGaN/GaN HEMT器件的平带电压噪声功率谱密度增加. 展开更多
关键词 algan/gan 高电子迁移率晶体管 总剂量 1/f低频噪声
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AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管器件中子位移损伤效应及机理 被引量:4
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作者 郝蕊静 郭红霞 +6 位作者 潘霄宇 吕玲 雷志锋 李波 钟向丽 欧阳晓平 董世剑 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第20期302-309,共8页
针对AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管器件和异质结构在西安脉冲反应堆上开展了中子位移损伤效应研究,等效1 MeV中子注量为1×1014 n/cm^2.测量了器件在中子辐照前后的直流特性和1/f噪声特性,并对测试结果进行理论分析,结果表明:中子辐... 针对AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管器件和异质结构在西安脉冲反应堆上开展了中子位移损伤效应研究,等效1 MeV中子注量为1×1014 n/cm^2.测量了器件在中子辐照前后的直流特性和1/f噪声特性,并对测试结果进行理论分析,结果表明:中子辐照在器件内引入体缺陷,沟道处的体缺陷通过俘获电子和散射电子,造成器件电学性能退化,主要表现为阈值电压正漂、输出饱和漏电流减小以及栅极泄漏电流增大.经过低频噪声的测试计算得到,中子辐照前后,器件沟道处的缺陷密度由1.78×1012 cm^-3·eV^-1增大到了1.66×10^14 cm^-3·eV^-1.采用C-V测试手段对肖特基异质结进行测试分析,发现沟道载流子浓度在辐照后有明显降低,且平带电压也正向漂移.分析认为中子辐照器件后,在沟道处产生了大量缺陷,这些缺陷会影响沟道载流子的浓度和迁移率,进而影响器件的电学性能. 展开更多
关键词 algan/gan 中子辐照 位移损伤 1/f噪声
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AlGaN/GaN异质结肖特基二极管研究进展 被引量:5
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作者 康玄武 郑英奎 +6 位作者 王鑫华 黄森 魏珂 吴昊 孙跃 赵志波 刘新宇 《电源学报》 CSCD 北大核心 2019年第3期44-52,共9页
氮化镓GaN(gallium nitride)作为第三代半导体材料的代表之一,具有临界击穿电场强、耐高温和饱和电子漂移速度高等优点,在电力电子领域有广泛的应用前景。GaN基器件具有击穿电压高、开关频率高、工作结温高、导通电阻低等优点,可以应用... 氮化镓GaN(gallium nitride)作为第三代半导体材料的代表之一,具有临界击穿电场强、耐高温和饱和电子漂移速度高等优点,在电力电子领域有广泛的应用前景。GaN基器件具有击穿电压高、开关频率高、工作结温高、导通电阻低等优点,可以应用在新型高效、大功率的电力电子系统。总结了AlGaN/GaN异质结肖特基二极管SBD(Schottky barrier diode)目前面临的问题以及目前AlGaN/GaN异质结SBD结构、工作原理及结构优化的研究进展。重点从AlGaN/GaN异质结SBD的肖特基新结构和边缘终端结构等角度,介绍了各种优化SBD性能的方法。最后,对器件的未来发展进行了展望。 展开更多
关键词 氮化镓(gan) algan/gan异质结 肖特基二极管(SBD)
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干法刻蚀和氢等离子体处理制备增强型p-GaN栅AlGaN/GaN HEMT特性 被引量:1
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作者 冯玉昆 于国浩 +4 位作者 吴冬东 杜仲凯 张炳良 李新宇 张宝顺 《半导体技术》 CAS 北大核心 2021年第12期932-936,985,共6页
增强型p-GaN栅AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)的栅与源漏之间的沟道特性对器件性能具有重要的影响。在同一晶圆衬底上,采用干法刻蚀和氢等离子体处理栅与源、漏之间的p-GaN,制备增强型p-GaN栅AlGaN/GaN HEMT。对器件静态、动态特性... 增强型p-GaN栅AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)的栅与源漏之间的沟道特性对器件性能具有重要的影响。在同一晶圆衬底上,采用干法刻蚀和氢等离子体处理栅与源、漏之间的p-GaN,制备增强型p-GaN栅AlGaN/GaN HEMT。对器件静态、动态特性和栅极漏电特性进行研究,采用两种方法制备的器件均具有较高的击穿电压(>850 V@10μA/mm)。通过氢等离子体处理制备的器件的方块电阻较大,导致输出电流密度较低,在动态特性和栅极漏电方面具有明显的优势,氢等离子体处理技术提高了界面态的缺陷激活能,从而实现了较低的栅极反向漏电。 展开更多
关键词 高电子迁移率晶体管(HEMT) algan/gan异质结 p-gan 增强型 栅漏电
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GaN基异质结霍尔传感器封装测试与输出特性
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作者 马凯鸣 代建勋 +6 位作者 张卉 丁喃喃 孙楠 孙仲豪 刘艳红 Yung C Liang 黄火林 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第8期2737-2745,共9页
霍尔传感器作为磁传感领域最常用的传感器类型,在工业生产、汽车电子、航空航天以及生物医学等方面均有广泛应用.本文利用宽禁带氮化镓(GaN)半导体耐高温、高迁移率等优点,采用标准半导体芯片制造工艺研制出AlGaN/GaN异质结结构霍尔传感... 霍尔传感器作为磁传感领域最常用的传感器类型,在工业生产、汽车电子、航空航天以及生物医学等方面均有广泛应用.本文利用宽禁带氮化镓(GaN)半导体耐高温、高迁移率等优点,采用标准半导体芯片制造工艺研制出AlGaN/GaN异质结结构霍尔传感器.高温应用环境下的传感器要求封装材料耐高温、产生应力低以及对传感器关键指标影响小.本文通过软件仿真树脂橡胶类3种不同封装材料封装后对传感器及键合线的性能影响规律,并通过实验验证不同材料封装前后传感器灵敏度、失调电压、温漂系数等物理参量的变化,遴选出综合性能最优的、可在550 K高温环境下使用的封装材料.最终得到封装后的霍尔传感器失调电压在1.0 mA激励电流时小于115μV,信号线性度在0~3.0 mA激励电流和0~1.0 T磁场测量范围内优于0.3%,而温漂系数在300~550 K温度范围内仅有-120.9 ppm/K,优于目前文献报道结果,因此有望应用于极端环境磁场检测中. 展开更多
关键词 algan/gan异质结 霍尔传感器 封装 金丝键合 高温稳定性
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AlGaN/GaN非凹槽混合阳极SBD射频性能及建模
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作者 刘芷诫 郑英奎 +4 位作者 康玄武 孙跃 吴昊 陈晓娟 魏珂 《半导体技术》 CAS 北大核心 2021年第5期358-364,381,共8页
基于大功率微波输能的需求,制备了新型AlGaN/GaN非凹槽混合阳极肖特基势垒二极管(SBD)。对新型结构的器件进行了小信号建模,可用于微波输能电路设计。通过开路、短路去嵌结构法从小信号S参数中提取了器件的寄生电容、电感和电阻,结合去... 基于大功率微波输能的需求,制备了新型AlGaN/GaN非凹槽混合阳极肖特基势垒二极管(SBD)。对新型结构的器件进行了小信号建模,可用于微波输能电路设计。通过开路、短路去嵌结构法从小信号S参数中提取了器件的寄生电容、电感和电阻,结合去嵌后的S参数与直流I-V、C-V特性曲线提取了器件的本征参数。综合寄生和本征参数建立了器件的小信号模型,将模型仿真结果与器件的实测结果进行了对比,同时引入误差因子评估了模型的准确度。结果表明,在0.1~10 GHz内,回波损耗相对误差小于4.1%,插入损耗相对误差小于3.7%,验证了所提出模型的可行性和准确性。 展开更多
关键词 gan algan/gan异质结 肖特基势垒二极管(SBD) 混合阳极 微波输能
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嵌入分段半超结的p-栅增强型垂直GaN基HFET
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作者 杨晨飞 韦文生 +1 位作者 汪子盛 丁靖扬 《电子与封装》 2024年第8期98-108,共11页
元胞面积相同的增强型垂直GaN/AlGaN异质结场效应管比横向HFET能承受更高的电压和更大的电流,适用于大功率领域,但在耐压时漂移区场强峰值高而容易提前击穿。提出了一种嵌入分段半超结的增强型垂直HFET,利用p型掺杂GaN栅和p+型掺杂GaN... 元胞面积相同的增强型垂直GaN/AlGaN异质结场效应管比横向HFET能承受更高的电压和更大的电流,适用于大功率领域,但在耐压时漂移区场强峰值高而容易提前击穿。提出了一种嵌入分段半超结的增强型垂直HFET,利用p型掺杂GaN栅和p+型掺杂GaN电流阻挡层抬高GaN/AlGaN异质结导带至费米能级之上,在栅压为0时夹断异质结的2DEG沟道,实现增强功能;在漂移区两侧插入2段p-GaN柱,形成p/n/p型离散半超结,改善电场均匀性。采用Silvaco TCAD软件模拟了Al组份、CBL浓度、p-GaN柱的宽度和厚度等参数对器件性能的影响。结果表明,相比于包含普通半超结的HFET,器件的击穿电压提升了8.67%,静态品质因数提升了11.25%,导通延时缩短了16.38%,关断延时缩短了3.80%,可为设计高性能HFET提供新思路。 展开更多
关键词 增强型垂直HFET 分段半超结 gan/algan异质结
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Neutron irradiation effects on AlGaN/GaN high electron mobility transistors 被引量:2
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作者 吕玲 张进成 +5 位作者 薛军帅 马晓华 张伟 毕志伟 张月 郝跃 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第3期360-364,共5页
A1GaN/GaN high electron mobility transistors (HEMTs) were exposed to 1 MeV neutron irradiation at a neutron ftuence of 1 × 10^15 cm-2. The dc characteristics of the devices, such as the drain saturation current... A1GaN/GaN high electron mobility transistors (HEMTs) were exposed to 1 MeV neutron irradiation at a neutron ftuence of 1 × 10^15 cm-2. The dc characteristics of the devices, such as the drain saturation current and the maximum transconductance, decreased after neutron irradiation. The gate leakage currents increased obviously after neutron irradiation. However, the rf characteristics, such as the cut-off frequency and the maximum frequency, were hardly affected by neutron irradiation. The A1GaN/GaN heterojunctions have been employed for the better understanding of the degradation mechanism. It is shown in the Hall measurements and capacitance voltage tests that the mobility and concentration of two-dimensional electron gas (2DEG) decreased after neutron irradiation. Tbere was no evidence of the full-width at half-maximum of X-ray diffraction (XRD) rocking curve changing after irradiation, so the dislocation was not influenced by neutron irradiation. It is concluded that the point defects induced in A1GaN and GaN by neutron irradiation are the dominant mechanisms responsible for performance degradations of A1GaN/GaN HEMT devices. 展开更多
关键词 neutron irradiation a1gan/gan high electron mobility transistor heterojunctION de- fects
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