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AlInGaN合金的发光机制研究
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作者 董逊 黄劲松 +3 位作者 黎大兵 刘祥林 徐仲英 王占国 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期574-578,共5页
用变温光致发光谱和时间分辨光谱研究了AIlnGaN合金的发光机制。实验结果表明,发光强度随时间并不是呈指数衰减关系,而可以用伸展指数哀减函数来描述,表明材料中存在明显的无序。形成这种无序的原因是In组分不均产生的微结构(如量子点)... 用变温光致发光谱和时间分辨光谱研究了AIlnGaN合金的发光机制。实验结果表明,发光强度随时间并不是呈指数衰减关系,而可以用伸展指数哀减函数来描述,表明材料中存在明显的无序。形成这种无序的原因是In组分不均产生的微结构(如量子点)。伸展指数衰减函数中弥散指数β不仅不随温度变化,在250K也不随辐射能量变化,表明载流子的弥散过程由局域态之间的跳跃所主导。进一步实验表明局域态在250K时仍然表现出零维特性。 展开更多
关键词 alingan合金 半导体材料 发光机制 变温光致发光谱 时间分辨光谱 发光强度 量子点
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AlInGaN/GaN PIN紫外光电探测器的研制 被引量:2
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作者 黄瑾 洪灵愿 +1 位作者 刘宝林 张保平 《半导体光电》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期669-672,708,共5页
用AlInGaN四元合金代替AlGaN作为PIN探测器的有源层,研制出AlInGaNPIN紫外探测器。详细介绍了该器件的结构设计和制作工艺,并对器件进行了光电性能测试。测试结果表明,器件的正向开启电压约为1.5 V,反向击穿电压大于40 V;室温-5 V偏压下... 用AlInGaN四元合金代替AlGaN作为PIN探测器的有源层,研制出AlInGaNPIN紫外探测器。详细介绍了该器件的结构设计和制作工艺,并对器件进行了光电性能测试。测试结果表明,器件的正向开启电压约为1.5 V,反向击穿电压大于40 V;室温-5 V偏压下,暗电流为33 pA,350 nm处峰值响应度为0.163 A/W,量子效率为58%。 展开更多
关键词 alingan/GaN PIN光电探测器 紫外光电探测器
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AlInGaN/GaN异质结构材料生长及特性研究
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作者 贾德宇 《河南科技学院学报》 2009年第3期45-47,共3页
AlInGaN四元合金具有独立控制禁带宽度和晶格常数的特性,利用这一特性可以实现性能更为出色的异质结构材料.利用MOCVD技术生长获得了AlInGaN/GaN异质结构,通过汞探针C-V测量和Hall效应测量,发现其电学特性明显优于常规AlGaN/GaN异质结构... AlInGaN四元合金具有独立控制禁带宽度和晶格常数的特性,利用这一特性可以实现性能更为出色的异质结构材料.利用MOCVD技术生长获得了AlInGaN/GaN异质结构,通过汞探针C-V测量和Hall效应测量,发现其电学特性明显优于常规AlGaN/GaN异质结构,通过XDR和AFM分析,发现其势垒层结晶质量十分出色,但表面形貌与常规异质结构相比还存在一定差距. 展开更多
关键词 alingan/GaN 异质结构 材料生长
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射频分子束外延生长AlInGaN四元合金 被引量:2
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作者 王保柱 王晓亮 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期559-562,共4页
利用射频等离子体辅助分子束外延(RF-MBE)技术在蓝宝石衬底上外延了铝铟镓氮(AlInGaN)四元合金,通过改变Al源的束流生长了不同组分的AlInGaN四元合金,材料生长过程中采用反射式高能电子衍射(RHEED)进行了在位检测.通过扫描电镜(SEM)、... 利用射频等离子体辅助分子束外延(RF-MBE)技术在蓝宝石衬底上外延了铝铟镓氮(AlInGaN)四元合金,通过改变Al源的束流生长了不同组分的AlInGaN四元合金,材料生长过程中采用反射式高能电子衍射(RHEED)进行了在位检测.通过扫描电镜(SEM)、卢瑟福背散射(RBS)、X射线衍射(XRD)和阴极荧光(CL)等测试手段表征了AlInGaN四元合金的结构和光学特性.研究结果表明:在GaN层上生长AlInGaN外延层时,外延膜呈二维生长;当铝炉的温度为920℃时,外延AlInGaN四元合金外延薄膜中Al/In接近4.7,X射线衍射摇摆曲线的半高宽最小为5arcmin,四元合金的阴极荧光发光峰的半高宽为25nm,AlInGaN四元合金外延层具有较好的晶体质量和光学质量. 展开更多
关键词 铝铟镓氮 分子束外延 结构特性 光学特性
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High-efficiency InGaN/AlInGaN multiple quantum wells with lattice-matched AlInGaN superlattices barrier
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作者 徐峰 陈鹏 +7 位作者 蒋府龙 刘亚云 谢自立 修向前 华雪梅 施毅 张荣 郑有炓 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第1期488-492,共5页
A new approach to fabricating high-quality AlInGaN film as a lattice-matched barrier layer in multiple quantum wells(MQWs) is presented. The high-quality AlInGaN film is realized by growing the AlGaN/InGaN short per... A new approach to fabricating high-quality AlInGaN film as a lattice-matched barrier layer in multiple quantum wells(MQWs) is presented. The high-quality AlInGaN film is realized by growing the AlGaN/InGaN short period superlattices through metalorganic chemical vapor deposition, and then being used as a barrier in the MQWs. The crystalline quality of the MQWs with the lattice-matched AlInGaN barrier and that of the conventional InGaN/GaN MQWs are characterized by x-ray diffraction and scanning electron microscopy. The photoluminescence(PL) properties of the InGaN/AlInGa N MQWs are investigated by varying the excitation power density and temperature through comparing with those of the InGaN/GaN MQWs. The integral PL intensity of InGaN/AlInGaN MQWs is over 3 times higher than that of InGaN/GaN MQWs at room temperature under the highest excitation power. Temperature-dependent PL further demonstrates that the internal quantum efficiency of InGaN/AlInGaN MQWs(76.1%) is much higher than that of InGaN/GaN MQWs(21%).The improved luminescence performance of InGaN/AlInGaN MQWs can be attributed to the distinct reduction of the barrier-well lattice mismatch and the strain-induced non-radiative recombination centers. 展开更多
关键词 alingan superlattices MQWs photoluminescence x-ray diffraction spectrum
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Effect of Hydrogen and Nitrogen Carrier Gas Ratio on the Structural and Optical Properties of AlInGaN Alloy
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作者 冯向旭 刘乃鑫 +7 位作者 张连 张宁 曾建平 魏学成 刘喆 魏同波 王军喜 李晋闽 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2013年第10期199-202,共4页
Undoped AlInGaN epilayers on GaN templates with different hydrogen(H_(2))and nitrogen(N_(2))carrier gas ratios(1:8,2:8,and 3:8 as samples 1,2 and 3,respectively)were grown.When the flow ratio of H_(2) and N_(2) rises ... Undoped AlInGaN epilayers on GaN templates with different hydrogen(H_(2))and nitrogen(N_(2))carrier gas ratios(1:8,2:8,and 3:8 as samples 1,2 and 3,respectively)were grown.When the flow ratio of H_(2) and N_(2) rises from 1:8 to 3:8,an indium composition decrease from 3%to 1.2%is observed while the aluminum content stays constant at any flow ratio.Due to the quantum-dot-like effect,photoluminescence intensity is enhanced in the sample with the low carrier gas flow ratio of H_(2)/N_(2).However,the potential well caused by indium uneven distribution is nonuniform,which is more severe in the sample with carrier gas flow ratio 1:8.The process of carrier transfer from shallow to deep potential wells would be more difficult to accomplish,resulting in the reduction of the photoluminescence intensity.This is found to be consistent with the carriers'lifetime with the help of time-resolved photoluminescence. 展开更多
关键词 alingan flow LIFETIME
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Enhanced Light Extraction in AlInGaN UV Light-Emitting Diodes by an Embedded AlN/AlGaN Distributed Bragg Reflector
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作者 刘会 赵恒 +2 位作者 侯金 刘丹 高义华 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2012年第10期244-247,共4页
A novel kind of AlInGaN ultraviolet(UV)light-emitting diode(LED)with an embedded AlN/Al_(0.3)Ga_(0.7)N distributed Bragg reflector(DBR)is proposed to enhance light extraction efficiency(LEE).The simulation technique w... A novel kind of AlInGaN ultraviolet(UV)light-emitting diode(LED)with an embedded AlN/Al_(0.3)Ga_(0.7)N distributed Bragg reflector(DBR)is proposed to enhance light extraction efficiency(LEE).The simulation technique we adopt to calculate the LEE of LEDs is based on the theory of spontaneous emission in a layered medium,the well-known mode-matching technique and the scattering matrix approach.The AlN/Al_(0.3)Ga_(0.7)N DBR was intentionally designed to have peak reflectivity at the LED emission wavelength and the optical properties of the DBR were simulated by using the transfer matrix method.A high LEE of 45.7%at 370 nm wavelength was predicted for a proposed AlInGaN UV LED consisting of 24 periods of the AlN/Al_(0.3)Ga_(0.7)N DBR,which is 1.5 times of that of the conventional AlInGaN UV LED.The investigation shows that the AlN/Al_(0.3)Ga_(0.7)N DBR grown on GaN templates with sapphire as a substrate by MOCVD can enhance the LEE effectively and would be very promising for the fabrication of high performance GaN-based UV LEDs. 展开更多
关键词 alingan SAPPHIRE SCATTERING
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用卢瑟福背散射/沟道技术及高分辨X射线衍射技术分析不同Al和In含量的AlInGaN薄膜的应变 被引量:6
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作者 王欢 姚淑德 +1 位作者 潘尧波 张国义 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期3350-3354,共5页
利用卢瑟福背散射/沟道技术对在蓝宝石衬底上用金属有机化学气相沉积方法生长的有GaN缓冲层(>2μm)的一系列不同Al和In含量的AlInGaN薄膜进行组分及结晶品质的测量;并结合高分辨X射线衍射技术,通过对AlInGaN的对称(0002)面,及非对称(... 利用卢瑟福背散射/沟道技术对在蓝宝石衬底上用金属有机化学气相沉积方法生长的有GaN缓冲层(>2μm)的一系列不同Al和In含量的AlInGaN薄膜进行组分及结晶品质的测量;并结合高分辨X射线衍射技术,通过对AlInGaN的对称(0002)面,及非对称(1015)面的θ—2θ扫描及倒空间扫描,可以精确测定AlInGaN外延层的晶格常数及水平和垂直方向的应变.实验结果表明AlInGaN薄膜中不同含量Al和In对其应变有较大的影响,结合Vegard定理,对这一现象给出了理论的解释. 展开更多
关键词 alingan 高分辨X射线衍射 卢瑟福背散射/沟道 弹性应变
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AlInGaN材料的生长及其光学性质的研究 被引量:2
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作者 黄劲松 董逊 +2 位作者 刘祥林 徐仲英 葛维琨 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第10期2632-2637,共6页
研究AlInGaN材料的生长特性及其光学性质 .通过对不同生长温度生长的三个AlInGaN样品的测量 ,发现In的掺入量随着生长温度的降低而增加 ,而Al的掺入几乎没什么变化 ;在较低温度下生长的材料具有较好的材料质量与光学特性 ,其原因直接与I... 研究AlInGaN材料的生长特性及其光学性质 .通过对不同生长温度生长的三个AlInGaN样品的测量 ,发现In的掺入量随着生长温度的降低而增加 ,而Al的掺入几乎没什么变化 ;在较低温度下生长的材料具有较好的材料质量与光学特性 ,其原因直接与In组分的掺入有关 ,In组分的掺入可以减少材料的缺陷 ,改善材料的质量 .同时 ,用时间分辨光谱研究了AlInGaN材料的发光机理 ,发现其发光强度随时间变化 (荧光衰退寿命 )不是指数衰减 ,而是一种伸展的指数衰减 .通过对这种伸展的指数衰减特性的研究 ,发现AlInGaN发光来自于局域激子的复合 ,且这种局域化中心呈现量子点的特性 ,延伸指数衰减行为是由不同局域态之间的局域激子的跳跃 (hopping)造成的 .此外 ,进一步研究了荧光衰退寿命随发光能量的变化关系和发光的辐射复合和非辐射复合特性 。 展开更多
关键词 alingan 半导体材料 生长特性 光学性质 量子点 局域激子 势垒 生长温度 时间分辨光谱
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A 2DEG charge density based drain current model for various Al and In molefraction mobility dependent nano-scale AlInGaN/AlN/GaN HEMT devices
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作者 Godwin Raj Hemant Pardeshi +2 位作者 Sudhansu Kumar Pati N Mohankumar Chandan Kumar Sarkar 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2013年第4期24-29,共6页
We present a two-dimensional electron gas (2DEG) charge-control mobility variation based drain cur- rent model for sheet carrier density in the channel. The model was developed for the AIInGaN/A1N/GaN high- electron... We present a two-dimensional electron gas (2DEG) charge-control mobility variation based drain cur- rent model for sheet carrier density in the channel. The model was developed for the AIInGaN/A1N/GaN high- electron-mobility transistor. The sheet carrier density model used here accounts for the independence between the Fermi levels Ef and ns along with mobility for various AI and In molefractions. This physics based ns model fully depends upon the variation of El, u0, the first subband E0, the second subband El, and as. We present a physics based analytical drain current model using ns with the minimum set of parameters. The analytical resuks obtained are compared with the experimental results for four samples with various molefraction and barrier thickness. A good agreement between the results is obtained, thus validating the model. 展开更多
关键词 2DEG Fermi level alingan
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Epitaxial growth of 2.5-μm quaternary AlInGaN for n-cladding layer in GaN-based green laser diodes
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作者 Lingrong Jiang Jianping Liu +5 位作者 Aiqin Tian Masao Iked Liqun Zhang Peng Wu Wei Zhou Hui Yang 《Fundamental Research》 CAS 2021年第6期672-676,共5页
The ridge morphology,which is related to random atomic step meandering,appears in thick AlInGaN films grown by metal organic chemical vapor deposition on both GaN templates and free-standing GaN substrates;this can be... The ridge morphology,which is related to random atomic step meandering,appears in thick AlInGaN films grown by metal organic chemical vapor deposition on both GaN templates and free-standing GaN substrates;this can be primarily attributed to the in-plane compressive strain in the thick layer.Therefore,a 2.5-μm Al 0.08 In 0.0123 GaN film with a slightly tensive strain was grown,with a regular and smooth step-flow morphology;the root mean square deviation of the film(with a size of 5μm×5μm)was 0.56 nm. 展开更多
关键词 alingan EPITAXY Morphology Strain
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GaN基激光器多量子阱垒材料的研究 被引量:1
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作者 陈伟华 廖辉 +6 位作者 胡晓东 李睿 贾全杰 金元浩 杜为民 杨志坚 张国义 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期1441-1444,共4页
在(0001)蓝宝石衬底上分别用金属有机化学气相沉积技术外延生长了InGaN/GaN,InGaN/In-GaN,InGaN/AlInGaN多量子阱激光器结构,并分别制作了脊形波导GaN基激光器。同步辐射X射线衍射,电注入受激发射光谱测试及光功率-电流(L-I)测试证明,... 在(0001)蓝宝石衬底上分别用金属有机化学气相沉积技术外延生长了InGaN/GaN,InGaN/In-GaN,InGaN/AlInGaN多量子阱激光器结构,并分别制作了脊形波导GaN基激光器。同步辐射X射线衍射,电注入受激发射光谱测试及光功率-电流(L-I)测试证明,相对于GaN垒材料,InGaN垒材料,AlInGaN四元合金垒材料更能改善多量子阱的晶体质量,提高量子阱的量子效率及降低激光器阈值电流。相关的机制为:组分调节合适的四元合金垒层中Al的掺入使得量子阱势垒高度增加,阱区收集载流子的能力增强;In的掺入能更多地补偿应力,减少了由于缺陷和位错所产生的非辐射复合中心密度;In的掺入还减小了量子阱中应力引致的压电场,电子空穴波函数空间交叠得以加强,使得辐射复合增加。 展开更多
关键词 GAN基激光器 多量子阱(MQWs) alingan 垒材料
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InGaN基蓝色发光二极管量子阱阻挡层的优化设计
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作者 李为军 张波 徐文兰 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2008年第6期651-657,共7页
计算比对了不同垒层构型量子阱的极化电场,对极化场下能级结构、载流子浓度分布、自发辐射复合速率和缺陷所造成的Shockley-Read-Hall(SRH)非辐射复合速率进行了研究,确定内建电场引起的量子阱区域载流子浓度分布均匀性是影响器件效能... 计算比对了不同垒层构型量子阱的极化电场,对极化场下能级结构、载流子浓度分布、自发辐射复合速率和缺陷所造成的Shockley-Read-Hall(SRH)非辐射复合速率进行了研究,确定内建电场引起的量子阱区域载流子浓度分布均匀性是影响器件效能高低的关键因素。对大电流下晶格优化的Al0.02In0.1Ga0.88N四元材料作为量子阱垒层的器件效能和发光特性下降的原因进行了深入分析,同时提出了具体的解决方法。 展开更多
关键词 发光二极管 alingan 应力补偿 量子阱障碍层 数值模拟
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三元系和四元系GaN基量子阱结构的显微结构(英文) 被引量:3
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作者 廖辉 陈伟华 +5 位作者 李丁 李睿 贾全杰 杨志坚 张国义 胡晓东 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期789-794,共6页
GaN基量子阱是光电子器件如发光二极管、激光二极管的核心结构。实验表明,采用InGaN/GaN三元和AlInGaN/GaN四元两种不同量子阱结构的激光二极管的发光性质和发光效率有明显差别,研究了这两种不同量子阱结构的显微特征。利用原子力显微... GaN基量子阱是光电子器件如发光二极管、激光二极管的核心结构。实验表明,采用InGaN/GaN三元和AlInGaN/GaN四元两种不同量子阱结构的激光二极管的发光性质和发光效率有明显差别,研究了这两种不同量子阱结构的显微特征。利用原子力显微镜表征了样品的(001)面;通过高分辨X射线衍射对两种量子阱结构的(002)面作ω/2θ扫描测得其卫星峰并分析了两种不同量子阱结构的界面质量;利用X射线衍射对InGaN/GaN和AlInGaN/GaN这两种量子阱的(002)、(101)、(102)、(103)、(104)、(105)和(201)面做ω扫描,进而得到其摇摆曲线。最后利用PL谱研究了它们的光学性能。通过这些显微结构的分析和研究,揭示了InGaN/GaN三元和AlInGaN/GaN四元两种不同量子阱结构宏观性质不同的结构因素。 展开更多
关键词 alingan INGAN 量子阱 原子力显微镜
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AlGaN基UV-LED的研究与进展 被引量:6
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作者 魏同波 王军喜 +1 位作者 闫建昌 李晋闽 《功能材料与器件学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期95-100,共6页
近年来短波长紫外LED巨大的应用价值引起了人们的高度关注,成为了全球半导体领域研究和投资的新热点。本文综合分析了AlGaN材料的生长、碎裂、掺杂和欧姆接触等问题,对UV-LED的发展历程、技术路线和研究进展进行了详细介绍,并展望了未... 近年来短波长紫外LED巨大的应用价值引起了人们的高度关注,成为了全球半导体领域研究和投资的新热点。本文综合分析了AlGaN材料的生长、碎裂、掺杂和欧姆接触等问题,对UV-LED的发展历程、技术路线和研究进展进行了详细介绍,并展望了未来发展方向。 展开更多
关键词 UV—LED A1GaN alingan 综述
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