AlN陶瓷表面钛金属化反应机理及微观结构

通过X射线衍射分析和扫描电镜观察研究了利用融盐热歧化反应法在氮化铝陶瓷表面生成的钛金属化复合膜的组成、金属化膜与氮化铝陶瓷基体之间的界面反应及界面层的显微结构。研究发现,钛金属化膜非常均匀致密,膜层与氮化铝陶瓷基体结合紧密,形成了一扩散层,钛与铝组元浓度在该扩散层中呈梯度分布,沉积到AlN陶瓷表面的钛金属与AlN发生反应主要生成TiN0.3、TiAl3和Ti9Al23。

氮化铝陶瓷表面钛金属化的研究

利用熔盐热歧化反应在氮化铝陶瓷表面上成功地进行了钛金属化,成功地在氮化铝陶瓷表面上制备了钛金属化膜。还研究了温度、反应物浓度、反应时间对钛金属化膜厚度的影响。研究了金属膜的组成及界面反应机理和界面层的显微结构。研究发现,在热歧化反应沉积钛金属膜的过程中,沉积到AlN陶瓷表面的钛金属与AlN发生反应生成TiN_(0.3)、TiN和Ti_9Al_(23)。