添加Mo对AlTiN涂层组织结构和力学性能的影响

采用阴极电弧离子镀技术在硬质合金基体上分别沉积AlTiN和AlTiMoN两种涂层。采用扫描电镜、能谱仪、X射线衍射仪表征两种涂层的微观组织,并通过纳米压痕仪和摩擦磨损试验机测试分析涂层的硬度、弹性模量及摩擦磨损性能。结果表明,阴极多弧离子镀制备的两种涂层表面都有液滴的缺陷,且呈柱状生长;添加Mo元素后AlTiMoN涂层向(111)面的择优取向更加明显;AlTiMoN涂层比AlTiN涂层具有更加优异的力学性能,Mo的添加使涂层硬度从27.98GPa提高到30.27GPa,弹性模量从284.42GPa提高到368.33GPa,摩擦系数从0.85降到0.6,且涂层的耐磨性也得到提升。