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Influence of Al Composition on Transport Properties of Two-Dimensional Electron Gas in Al_xGa_(1-x)N/GaN Heterostructures
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作者 唐宁 沈波 +7 位作者 王茂俊 杨志坚 徐科 张国义 桂永胜 朱博 郭少令 褚君浩 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期235-238,共4页
Magnetotransport properties of two-dimensional electron gases (2DEG) in AlxGa1-x N/GaN heterostructures with different Al compositions are investigated by magnetotransport measurements at low temperatures and in hig... Magnetotransport properties of two-dimensional electron gases (2DEG) in AlxGa1-x N/GaN heterostructures with different Al compositions are investigated by magnetotransport measurements at low temperatures and in high magnetic fields. It is found that heterostructures with a lower Al composition in the barrier have lower 2DEG concentration and higher 2DEG mobility. 展开更多
关键词 Alx Ga1-x n/gan heterostructure two-dimensional electron gas transport property
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肖特基C-V法研究Al_xGa_(1-x)N/GaN异质结界面二维电子气 被引量:2
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作者 周玉刚 沈波 +6 位作者 刘杰 俞慧强 周慧梅 钱悦 张荣 施毅 郑有炓 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第11期1420-1424,共5页
通过对 Pt/ Al0 .2 2 Ga0 .78N/ Ga N肖特基二极管的 C- V测量 ,研究分析了 Al0 .2 2 Ga0 .78N/ Ga N异质结界面二维电子气 (2 DEG)浓度及其空间分布 .测量结果表明 ,Al0 .2 2 Ga0 .78N/ Ga N异质结界面 2 DEG浓度峰值对应的深度在界面... 通过对 Pt/ Al0 .2 2 Ga0 .78N/ Ga N肖特基二极管的 C- V测量 ,研究分析了 Al0 .2 2 Ga0 .78N/ Ga N异质结界面二维电子气 (2 DEG)浓度及其空间分布 .测量结果表明 ,Al0 .2 2 Ga0 .78N/ Ga N异质结界面 2 DEG浓度峰值对应的深度在界面以下 1.3nm处 ,2 DEG分布峰的半高宽为 2 .3nm ,2 DEG面密度为 6 .5× 10 1 2 cm- 2 .与 Alx Ga1 - x As/ Ga As异质结相比 ,其 2 DEG面密度要高一个数量级 ,而空间分布则要窄一个数量级 .这主要归结于 Alx Ga1 - x N层中~ MV / cm量级的压电极化电场和自发极化电场对 Alx Ga1 - x N/ Ga N异质结能带的调制和 Alx Ga1 - x N/ Ga 展开更多
关键词 异质结 肖特基C-V法 二维电子气 半导体材料
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调制掺杂Al_xGa_(1-x)N/GaN异质结构的微应变 被引量:1
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作者 谭伟石 沙昊 +6 位作者 沈波 蔡宏灵 吴小山 蒋树声 郑文莉 贾全杰 姜晓明 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2002年第10期799-804,共6页
用MOCVD方法在 (0 0 0 1)取向的蓝宝石 (α -Al2 O3)衬底上生长了不同势垒层厚度的Al0 .2 2Ga0 .78N/GaN异质结构 ,利用高分辨X射线衍射 (HRXRD)测量了其对称反射 (0 0 0 2 )和非对称反射 (10 14 )的倒易空间图 (RSM )。分析结果表明 ,... 用MOCVD方法在 (0 0 0 1)取向的蓝宝石 (α -Al2 O3)衬底上生长了不同势垒层厚度的Al0 .2 2Ga0 .78N/GaN异质结构 ,利用高分辨X射线衍射 (HRXRD)测量了其对称反射 (0 0 0 2 )和非对称反射 (10 14 )的倒易空间图 (RSM )。分析结果表明 ,势垒层内部微结构与应变状态和下层i -GaN的微结构与应变状态互相关联 ,当厚度大于 75 0 时 ,势垒层开始发生应变弛豫 ,临界厚度大于5 0 0 。势垒层具有一种“非常规”应变弛豫状态 ,这种状态的来源可能与n -AlGaN的内部缺陷以及i-GaN/α -Al2 展开更多
关键词 调制掺杂 微应变 AlxGa1-x/gan 异质结构 高分辨X射线衍射 微结构 驰豫线模型 半导体材料 氮化镓
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Al_xGa_(1-x)N/GaN调制掺杂异质结能带分裂特性
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作者 郑泽伟 沈波 +3 位作者 陈敦军 郑有炓 郭少令 褚君浩 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期491-494,共4页
通过低温强磁场下的磁输运实验 ,研究了AlxGa1 -xN/GaN调制掺杂异质结构二维电子气 ( 2DEG)的能带分裂性质。1.4K温度下测量的磁阻曲线当磁场强度大于 5 .4T时观察到的明显对应于第一子带的自旋分裂现象。用Dingle作图法得到本样品τq ... 通过低温强磁场下的磁输运实验 ,研究了AlxGa1 -xN/GaN调制掺杂异质结构二维电子气 ( 2DEG)的能带分裂性质。1.4K温度下测量的磁阻曲线当磁场强度大于 5 .4T时观察到的明显对应于第一子带的自旋分裂现象。用Dingle作图法得到本样品τq 的大小为 0 17ps。结果表明 ,本实验所用的调制掺杂Al0 .2 2 Ga0 .78N/GaN异质结构具有较大的有效g因子g 。用高 2DEG浓度导致的交换相互作用加强解释了g 增强效应。在磁阻测量中改变磁场方向 ,自旋分裂现象表现出各向异性。用异质结构界面处强的极化电场解释了自旋分裂的各向异性。 展开更多
关键词 调制掺杂 AlxGa1-xn/gan异质结构 二维电子气 迁移率 有效g因子
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Al_xGa_(1-x)N/GaN异质结构中二维电子气的磁致子带间散射效应
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作者 唐宁 沈波 +3 位作者 陈敦军 桂永胜 仇志军 郑有炓 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期480-483,共4页
通过在低温和强磁场下的磁输运测量研究了非故意掺杂Al0 .2 2 Ga0 .78N/GaN异质结二维电子气 ( 2DEG)的磁电阻振荡现象。观察到了磁致子带间散射 (MIS)效应。在极低温下观察到了表征两个子带被 2DEG占据的双周期舒勃尼科夫 德哈斯 (SdH... 通过在低温和强磁场下的磁输运测量研究了非故意掺杂Al0 .2 2 Ga0 .78N/GaN异质结二维电子气 ( 2DEG)的磁电阻振荡现象。观察到了磁致子带间散射 (MIS)效应。在极低温下观察到了表征两个子带被 2DEG占据的双周期舒勃尼科夫 德哈斯 (SdH)振荡。实验观察到MIS效应引起的磁电阻振荡的幅度随温度上升略有减小 ,振荡的频率为两个子带SdH振荡频率之差。随着温度的升高 ,MIS振荡成为主要的振荡。由于SdH振荡和MIS振荡对温度的依赖关系不同 ,实验观察到SdH和MIS振荡之间的调制在温度 10和 17K之间最为强烈 ,其它温度下的调制很弱。 展开更多
关键词 AlxGa1-xn/gan异质结构 二维电子气 磁致子带间散射
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Influence of Polarization-Induced Electric Fields on Optical Properties of Intersubband Transitions in Al_xGa_(1-x)N/GaN Double Quantum Wells 被引量:1
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作者 雷双英 沈波 +3 位作者 许福军 杨志坚 徐柯 张国义 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期403-408,共6页
The influence of polarization-induced electric fields on the electron distribution and the optical properties of intersubband transitions (ISBT) in AlxGa(1-x)N/GaN coupled double quantum wells (DQWs) is investig... The influence of polarization-induced electric fields on the electron distribution and the optical properties of intersubband transitions (ISBT) in AlxGa(1-x)N/GaN coupled double quantum wells (DQWs) is investigated by self-consistent calculation. It is found that the polarization-induced potential drop leads to an asymmetric potential profile of AlxGa(1-x)N/GaN DQWs even though the two wells have the same width and depth. The polarization effects result in a very large Stark shift between the odd and even order subbands,thus shortening the wavelength of the ISBT between the first odd order and the second even order (1odd-2 ) subbands. Meanwhile, the electron distribution becomes asymmetric due to the polarization effects, and the absorption coefficient of the 1odd-2 ISBT decreases with increasing polarization field discontinuity. 展开更多
关键词 AlxGa(1-xngan DQWs intersubband transition polarization field discontinuity
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Magnetotransport properties of two-dimensional electron gas in AlGaN/AlN/GaN heterostructures
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作者 马晓华 马平 +6 位作者 焦颖 杨丽媛 马骥刚 贺强 焦莎莎 张进成 郝跃 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第9期377-380,共4页
Magnetotransport measurements are carried out on the A1GaN/A1N/GaN in an SiC heterostructure, which demon- strates the existence of the high-quality two-dimensional electron gas (2DGE) at the A1N/GaN interface. Whil... Magnetotransport measurements are carried out on the A1GaN/A1N/GaN in an SiC heterostructure, which demon- strates the existence of the high-quality two-dimensional electron gas (2DGE) at the A1N/GaN interface. While the carrier concentration reaches 1.32×10^13 cm^-2 and stays relatively unchanged with the decreasing temperature, the mobility of the 2DEG increases to 1.21 × 10^4 cm2/(V.s) at 2 K. The Shubnikov-de Haas (SdH) oscillations are observed in a magnetic field as low as 2.5 T at 2 K. By the measurements and the analyses of the temperature-dependent SdH oscillations, the effective mass of the 2DEC is determined. The ratio of the transport lifetime to the quantum scattering time is 9 in our sample, indicating that small-angle scattering is predominant. 展开更多
关键词 A1gan/A1n/gan/SiC heterostructures two-dimensional electron gas Shubnikov-deHaas oscillations magnetotransport properties
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调制掺杂AlGaN/GaN异质结上的Pt肖特基接触
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作者 刘杰 沈波 +5 位作者 周玉刚 周慧梅 郑泽伟 张荣 施毅 郑有炓 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2002年第4期381-384,共4页
研究了调制掺杂 Alx Ga1 - x N/Ga N表面 Pt肖特基接触的制备工艺 ,并对其进行了 I-V测量。通过改变对样品表面的处理工艺 ,研究了表面处理对调制掺杂 Alx Ga1 - x N/Ga N表面 Pt肖特基结接触特性的影响 ,在 n型掺杂浓度为 7.5× 1 ... 研究了调制掺杂 Alx Ga1 - x N/Ga N表面 Pt肖特基接触的制备工艺 ,并对其进行了 I-V测量。通过改变对样品表面的处理工艺 ,研究了表面处理对调制掺杂 Alx Ga1 - x N/Ga N表面 Pt肖特基结接触特性的影响 ,在 n型掺杂浓度为 7.5× 1 0 1 7cm- 3的 Al0 .2 2 Ga0 .78N样品表面 ,制备得到了势垒高度为 0 .94e V、理想因子为 1 .4的 Pt肖特基接触。这与国外报道的结果接近 (=1 .2 e V,n=1 .1 1 [1 ] ) 展开更多
关键词 调制掺杂 ALgan/gan异质结 肖特基接触 表面处理
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Al_xGa_(1-x)N/GaN异质结构中Al组分对二维电子气性质的影响 被引量:21
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作者 孔月婵 郑有炓 +1 位作者 储荣明 顾书林 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第7期1756-1760,共5页
通过用数值计算方法自洽求解薛定谔方程和泊松方程 ,研究了Al组分对AlxGa1 -xN GaN异质结构二维电子气性质的影响 ,给出了AlxGa1 -xN GaN异质结构二维电子气分布和面密度 ,导带能带偏移以及子带中电子分布随AlxGa1 -xN势垒层中Al组分的... 通过用数值计算方法自洽求解薛定谔方程和泊松方程 ,研究了Al组分对AlxGa1 -xN GaN异质结构二维电子气性质的影响 ,给出了AlxGa1 -xN GaN异质结构二维电子气分布和面密度 ,导带能带偏移以及子带中电子分布随AlxGa1 -xN势垒层中Al组分的变化关系 ,并用AlxGa1 -xN GaN异质结构自发极化与压电极化机理和能带偏移对结果进行讨论分析 . 展开更多
关键词 AlxGal-xn/gan异质结构 铝组分 二维电子气 自发极化 压电极化 能带偏移 半导体 氮镓铝化合物 氮化镓
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用肖特基电容电压特性数值模拟法确定调制掺杂Al_xGa_(1-x)N/GaN异质结中的极化电荷
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作者 周玉刚 沈波 +5 位作者 刘杰 周慧梅 俞慧强 张荣 施毅 郑有炓 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第9期1774-1778,共5页
研究发展了用肖特基电容 电压特性数值模拟确定调制掺杂AlxGa1 -xN GaN异质结中极化电荷的方法 .在调制掺杂的Al0 2 2 Ga0 78N GaN异质结上制备了Pt肖特基接触 ,并对其进行了C V测量 .采用三维费米模型对调制掺杂的Al0 2 2 Ga0 ... 研究发展了用肖特基电容 电压特性数值模拟确定调制掺杂AlxGa1 -xN GaN异质结中极化电荷的方法 .在调制掺杂的Al0 2 2 Ga0 78N GaN异质结上制备了Pt肖特基接触 ,并对其进行了C V测量 .采用三维费米模型对调制掺杂的Al0 2 2 Ga0 78N GaN异质结上肖特基接触的C V特性进行了数值模拟 ,分析了改变样品参数对C V特性的影响 .利用改变极化电荷、n AlGaN层掺杂浓度和肖特基势垒高度对C V曲线不同部分位置和形状影响不同 ,可以精确地求取极化电荷面密度 .通过模拟 ,得到Al0 2 2 Ga0 78N厚度为 45nm的调制掺杂Al0 2 2 Ga0 78N GaN异质结界面附近极化电荷面密度为 6 78× 10 1 2 cm- 2 . 展开更多
关键词 AlxGa1-xn/gan异质结 极化电荷 肖特基电容-电压特性 数值模拟 三维费米模型 场效应晶体管 调制掺杂
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AlxGa1-x N/GaN双量子阱的结构和掺杂浓度对子带间跃迁波长和吸收系数的影响 被引量:5
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作者 雷双瑛 沈波 张国义 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期2386-2391,共6页
用薛定谔方程和泊松方程自洽计算的方法研究了Al0.75Ga0.25N/GaN对称双量子阱(DQWs)中子带间跃迁(ISBT)的波长和吸收系数对中间耦合势垒高度、中间耦合势垒宽度、势阱宽度和势垒掺杂浓度的依赖关系.研究发现,第一奇序子带S1ood与第二偶... 用薛定谔方程和泊松方程自洽计算的方法研究了Al0.75Ga0.25N/GaN对称双量子阱(DQWs)中子带间跃迁(ISBT)的波长和吸收系数对中间耦合势垒高度、中间耦合势垒宽度、势阱宽度和势垒掺杂浓度的依赖关系.研究发现,第一奇序子带S1ood与第二偶序子带S2even ISBT波长随着中间耦合势垒高度的降低而变短.当中间耦合势垒高度高于0.62eV时,S1odd-S2even ISBT吸收系数随着中间耦合势垒的降低而增加.当减小AlxGa1-xN/GaN的DQWs中间耦合势垒宽度时,S1odd-S2even ISBT波长将变短,其吸收系数变大.另一方面,当对称DQWs的势阱宽度大于1.9nm时,S1odd-S2even ISBT波长随着势阱的变窄而减小,S1odd-S2even ISBT吸收系数随着势阱的变窄而增加.当势垒中的掺杂浓度小于1018/cm3时,S1odd-S2even ISBT波长基本不随掺杂浓度变化,而吸收系数随掺杂浓度的增加而增加.这些结果对于利用DQWs实现工作于光纤通信波段超快的、基于三能级或四能级系统的双色光电子器件的应用具有指导意义. 展开更多
关键词 自洽 Alx Ga1-x n/gan双量子阱 子带间跃迁
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