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Nb/Al-AlO_x/Nb隧道结制备中压控电压源阳极氧化工艺研究 被引量：2
1
作者 查士同 曹春海 +5 位作者 许钦印 李梦月 康琳 许伟伟 陈健 吴培亨 《低温与超导》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期31-33,共3页
采用计算机程控的压控电压源阳极氧化模式研究制备出自对准Nb/Al-AlOx/Nb隧道结的绝缘层Nb2O5/Al2O3/Nb2O5。研究了氧化电压、氧化层的厚度和氧化时间的关系。当阳极氧化电压变化率低于8V/min时,阳极氧化层的厚度基本取决于氧化电压的大... 采用计算机程控的压控电压源阳极氧化模式研究制备出自对准Nb/Al-AlOx/Nb隧道结的绝缘层Nb2O5/Al2O3/Nb2O5。研究了氧化电压、氧化层的厚度和氧化时间的关系。当阳极氧化电压变化率低于8V/min时,阳极氧化层的厚度基本取决于氧化电压的大小,而与氧化电压变化率无关。我们已采用电压源阳极氧化技术成功制备出超导Nb/Al-AlOx/Nb隧道结。 展开更多
关键词 阳极氧化 隧道结 nb/al-alox/nb
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超导太赫兹直接检测器的制备技术研究
2
作者 王海萍 曹春海 +5 位作者 刘奥谱 徐祖雨 孙国柱 陈健 许伟伟 吴培亨 《低温与超导》 CAS 北大核心 2018年第10期40-44,共5页
本文研究了超导太赫兹直接检测器的制备流程和关键工艺技术,采用步进投影式光刻技术,来满足检测器对小面积超导隧道结和高频宽带匹配电路的高精度尺寸要求。实验获得了Nb膜反应离子刻蚀形成约42°斜坡角度的刻蚀气体CF4/O2比,解决... 本文研究了超导太赫兹直接检测器的制备流程和关键工艺技术,采用步进投影式光刻技术,来满足检测器对小面积超导隧道结和高频宽带匹配电路的高精度尺寸要求。实验获得了Nb膜反应离子刻蚀形成约42°斜坡角度的刻蚀气体CF4/O2比,解决了超导微带线在天线边缘处容易断线问题,成功制备出超导太赫兹直接检测器样品。 展开更多
关键词 nb/al-alox/nb 隧道结 太赫兹检测器 斜坡刻蚀 制备工艺
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