1.3 GHz单cell超导射频腔等离子体清洗放电研究（英文）

场致发射限制超导射频腔加速梯度增长。为了减少超导射频腔场致发射,在室温条件下,设计搭建了1.3GHz单cell超导射频腔等离子体清洗实验装置,开展等离子体清洗放电研究。使用CST软件模拟腔中的电磁场分布并且优化外部品质因数得到合适的放电条件。随着压强、前向功率和含氧量的变化,实验探讨了Ar/Ar-O_2放电的物理特征和电子激发温度的变化趋势。残余气体分析结果表明,Ar/O_2等离子体清洗能够消除腔体内表面的碳化物。