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氩气浓度对氮掺杂金刚石膜的影响 被引量:5
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作者 吴春雷 郑友进 +3 位作者 朱瑞华 王丹 付斯年 黄海亮 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期1624-1628,共5页
采用直流热阴极等离子体化学气相沉积(DC-PCVD)方法,以三聚氰胺(C3H6N6)的甲醇(CH3OH)饱和溶液为掺杂源,通过改变反应气氛中的Ar浓度,在P型Si(111)基片上沉积了氮掺杂纳米金刚石膜。采用扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、X射线衍射仪、霍尔... 采用直流热阴极等离子体化学气相沉积(DC-PCVD)方法,以三聚氰胺(C3H6N6)的甲醇(CH3OH)饱和溶液为掺杂源,通过改变反应气氛中的Ar浓度,在P型Si(111)基片上沉积了氮掺杂纳米金刚石膜。采用扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、X射线衍射仪、霍尔测试系统等分析了不同Ar浓度对氮掺杂金刚石膜生长特性的影响。结果表明:随着Ar浓度的增加,膜的晶粒尺寸逐渐减小,表面变得光滑平整;由拉曼G峰漂移引起的压应力先减小后增大;膜的导电性能变好。且由于C3H6N6的引入,使得在较低的Ar浓度下(H2/Ar流量比为100/100时),即可制得晶粒尺寸在30~50 nm的高质量的金刚石膜样品,远低于H2/Ar体系的Ar浓度为90%的阈值。 展开更多
关键词 直流热阴极PCVD 氮掺杂 ar浓度 纳米金刚石膜 电阻率
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压力对热丝化学气相沉积的CH_4/H_2/Ar气氛中的纳米金刚石薄膜生长的影响(英文)
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作者 杨树敏 贺周同 +2 位作者 朱德彰 巩金龙 周兴泰 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期399-403,共5页
在热丝化学气相沉积体系中,系统研究了气压对CH4/H2/Ar气氛中纳米金刚石薄膜生长的影响。研究发现,体系气压对纳米金刚石的生长有很大的影响。在40 torr的气压下,在CH4/H2/Ar气氛中的Ar气含量需高达90%才能保证纳米金刚石薄膜的生长,但... 在热丝化学气相沉积体系中,系统研究了气压对CH4/H2/Ar气氛中纳米金刚石薄膜生长的影响。研究发现,体系气压对纳米金刚石的生长有很大的影响。在40 torr的气压下,在CH4/H2/Ar气氛中的Ar气含量需高达90%才能保证纳米金刚石薄膜的生长,但降低气压至5 torr时,50%的Ar气含量即可保证纳米金刚石薄膜的生长。压力对薄膜生长表面的气体浓度的影响是这个转变的主要原因。在同样的Ar含量下,在5 torr下的C2活性基团的浓度高于40 torr的浓度,因而低的Ar含量会保证纳米金刚石薄膜的生长。 展开更多
关键词 纳米金刚石薄膜 热丝化学气相沉积 压力 ar浓度
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Measurements of the concentration of organic solutions by femtosecond time-resolved ERE-CARS
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作者 HE Ping WANG Ming +5 位作者 WANG HuiLi FAN RongWei CHEN DeYing YU Xin WANG JiaLing JIANG YuGang 《Science China(Physics,Mechanics & Astronomy)》 SCIE EI CAS 2012年第10期1808-1812,共5页
A variant of all-resonant CARS named electronic-resonant enhancement CARS (ERE-CARS) is applied to measure the methanol-water solution concentration at room temperature. The measurements are performed using the ERE-... A variant of all-resonant CARS named electronic-resonant enhancement CARS (ERE-CARS) is applied to measure the methanol-water solution concentration at room temperature. The measurements are performed using the ERE-CARS signal of the Raman vibrations near the C--H stretching modes (at 2835 and 2942 cm^-1) in methanol. By changing the timing (△t〉0) of the laser pulses of this non-degenerate four wave mixing technique, the concentration information based on the vibrational dynamics of the C--H bonds can be successfully detected as the frequency-spread dephasing rate duiing the first few hundred fs in the ERE-CARS signal with high sensitivity and accuracy. Femtosecond time-resolved ERE-CARS technique is applied to the concentration analysis of a mixture of the organic solution. This investigation indicates that femtosecond time-resolved ERE-CARS technique might be a powerful tool for real-time detection for solution concentration of different liquids. 展开更多
关键词 FEMTOSECOND ERE-CarS time-resolved spectroscopy CONCENTRATION
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