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高重复频率ArF准分子激光器能量控制算法研究
被引量:
7
1
作者
王效顺
梁勖
+2 位作者
游利兵
赵家敏
方晓东
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第6期763-766,共4页
为了实现工业用高重复频率ArF准分子激光器脉冲能量稳定,从电源控制的角度进行了脉冲能量控制技术的基础研究。介绍了高重复频率ArF准分子激光器能量稳定闭环控制原理,使用近似方法建立了准分子激光器脉冲能量和放电电压的函数模型,提...
为了实现工业用高重复频率ArF准分子激光器脉冲能量稳定,从电源控制的角度进行了脉冲能量控制技术的基础研究。介绍了高重复频率ArF准分子激光器能量稳定闭环控制原理,使用近似方法建立了准分子激光器脉冲能量和放电电压的函数模型,提出一种基于实时检测脉冲能量的电压调节比例积分算法,并结合函数模型和控制算法进行了MATLAB仿真。结果表明,建立的脉冲能量模型是合理的,且提出的比例积分算法在提高激光器脉冲输出能量稳定性方面是有效的。
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关键词
激光器
能量稳定
比例积分算法
高重复频率
arf准分子激光器
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职称材料
ArF准分子激光器废气分析及处理技术
2
作者
梁晓琳
包本刚
戴清利
《环境科学与技术》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第8期220-222,250,共4页
随着稀有气体卤化物准分子激光器的推广应用,直接排入大气中的废气给人体和环境带来了严重危害。为了降低其危害程度,分析了Ar F准分子激光器工作气体反应动力学和废气成分,得知其危害主要来源于废气中的含卤气体。卤化物准分子激光器...
随着稀有气体卤化物准分子激光器的推广应用,直接排入大气中的废气给人体和环境带来了严重危害。为了降低其危害程度,分析了Ar F准分子激光器工作气体反应动力学和废气成分,得知其危害主要来源于废气中的含卤气体。卤化物准分子激光器废气处理装置具有两级吸收净化含卤气体的功能,采用总体积约50 L的Na OH(1.0 mol/L)和Ca(OH)2(0.02 mol/L)碱液对废气中含卤成分进行第一次吸收,采用总质量约1.0 kg的Ca(OH)2和Ca O固态碱性粉末(质量比为74∶112)固态碱性混合物对废气进行进一步净化。使用该装置对医用型Ar F准分子激光器的废气进行净化处理实验研究,实验结果表明,该废气处理装置可以吸附废气中95.6%的氟气,而且当碱液吸附效果不明显时,只需增加质量约74 g的Ca(OH)2可恢复其活性。
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关键词
arf准分子激光器
工作气体反应动力学
卤素气体
废气处理
废气检测
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职称材料
用于ArF准分子激光器的CaF_2衬底性能的实验表征
被引量:
1
3
作者
邓文渊
金春水
靳京城
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第10期16-21,共6页
对用于ArF准分子激光器的CaF2衬底进行了表征实验研究。采用分光光度计测量了CaF2衬底的透射光谱和反射光谱,利用激光量热法测量了CaF2衬底吸收,分别利用原子力显微镜(AFM)和白光干涉仪(WLI)测量了CaF2衬底的表面粗糙度,并计算了功率谱...
对用于ArF准分子激光器的CaF2衬底进行了表征实验研究。采用分光光度计测量了CaF2衬底的透射光谱和反射光谱,利用激光量热法测量了CaF2衬底吸收,分别利用原子力显微镜(AFM)和白光干涉仪(WLI)测量了CaF2衬底的表面粗糙度,并计算了功率谱密度(PSD)和表面散射,最后分别测量了CaF2衬底的荧光光谱、红外光谱和拉曼光谱。激光量热法测量5 mm厚准分子级CaF2衬底的吸收结果为922×10-6。AFM和WLI测得的CaF2衬底表面粗糙度均方根值分别为0.22和1.24 nm,计算表面散射损耗分别为0.005%和0.25%。荧光光谱在紫外(UV)级CaF2衬底中检测到Ce3+等杂质离子。红外光谱和拉曼光谱在CaF2衬底表面没有检测到水气和有机污染物。实验结果表明,激光量热法可以精确地测量和评价准分子级CaF2衬底的吸收,表面粗糙度的测量结果需要与散射的实测结果综合起来进行评价,荧光和红外等光谱技术是检测CaF2衬底内部痕量杂质及表面污染的有效手段。
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关键词
激光器
arf准分子激光器
CaF2衬底
激光
量热吸收
表面粗糙度
光谱术
原文传递
ArF准分子激光光源电极系统设计及电场仿真研究
被引量:
3
4
作者
陈进新
徐向宇
王宇
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2014年第1期119-123,共5页
电极系统是ArF准分子激光光源的核心部件。首先通过对ArF准分子激光光源电极系统的初步设计,得到合适的放电区尺寸,提供了电极和预电离电极电压的加载方式,从而形成由阴极、阳极、预电离电极、陶瓷件和工作气体五部分组成的电极系统简...
电极系统是ArF准分子激光光源的核心部件。首先通过对ArF准分子激光光源电极系统的初步设计,得到合适的放电区尺寸,提供了电极和预电离电极电压的加载方式,从而形成由阴极、阳极、预电离电极、陶瓷件和工作气体五部分组成的电极系统简化模型。然后基于该电极系统简化模型,在不同电压加载条件下进行了电场仿真。仿真结果表明,放电区域电场分布均匀对称,电极系统设计较为合理。
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关键词
激光器
arf准分子激光器
电极系统
电场仿真
放电区域
加载电压
原文传递
题名
高重复频率ArF准分子激光器能量控制算法研究
被引量:
7
1
作者
王效顺
梁勖
游利兵
赵家敏
方晓东
机构
中国科学院安徽光学精密机械研究所
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第6期763-766,共4页
文摘
为了实现工业用高重复频率ArF准分子激光器脉冲能量稳定,从电源控制的角度进行了脉冲能量控制技术的基础研究。介绍了高重复频率ArF准分子激光器能量稳定闭环控制原理,使用近似方法建立了准分子激光器脉冲能量和放电电压的函数模型,提出一种基于实时检测脉冲能量的电压调节比例积分算法,并结合函数模型和控制算法进行了MATLAB仿真。结果表明,建立的脉冲能量模型是合理的,且提出的比例积分算法在提高激光器脉冲输出能量稳定性方面是有效的。
关键词
激光器
能量稳定
比例积分算法
高重复频率
arf准分子激光器
Keywords
lasers
energy stability
proportion-integration algorithm
high-repetition-rate
arf
excimer laser
分类号
TN248.2 [电子电信—物理电子学]
TP13 [自动化与计算机技术—控制理论与控制工程]
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职称材料
题名
ArF准分子激光器废气分析及处理技术
2
作者
梁晓琳
包本刚
戴清利
机构
湖南科技学院物电系
汉寿人民医院器材科
出处
《环境科学与技术》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第8期220-222,250,共4页
基金
湖南省教育厅资助科研项目(14C0485
12A054)
+2 种基金
永州市2014年度指导性科技项目
湖南省科技计划资助(2012FJ3052)
湖南科技学院重点学科建设项目资助(电路与系统)
文摘
随着稀有气体卤化物准分子激光器的推广应用,直接排入大气中的废气给人体和环境带来了严重危害。为了降低其危害程度,分析了Ar F准分子激光器工作气体反应动力学和废气成分,得知其危害主要来源于废气中的含卤气体。卤化物准分子激光器废气处理装置具有两级吸收净化含卤气体的功能,采用总体积约50 L的Na OH(1.0 mol/L)和Ca(OH)2(0.02 mol/L)碱液对废气中含卤成分进行第一次吸收,采用总质量约1.0 kg的Ca(OH)2和Ca O固态碱性粉末(质量比为74∶112)固态碱性混合物对废气进行进一步净化。使用该装置对医用型Ar F准分子激光器的废气进行净化处理实验研究,实验结果表明,该废气处理装置可以吸附废气中95.6%的氟气,而且当碱液吸附效果不明显时,只需增加质量约74 g的Ca(OH)2可恢复其活性。
关键词
arf准分子激光器
工作气体反应动力学
卤素气体
废气处理
废气检测
Keywords
arf
excimer lasers
working gas reaction kinetics
halogen gas
exhaust gas treatment
exhaust gas detecting
分类号
X701.7 [环境科学与工程—环境工程]
下载PDF
职称材料
题名
用于ArF准分子激光器的CaF_2衬底性能的实验表征
被引量:
1
3
作者
邓文渊
金春水
靳京城
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第10期16-21,共6页
基金
国家重大科技专项(2009ZX02206-005)资助课题
文摘
对用于ArF准分子激光器的CaF2衬底进行了表征实验研究。采用分光光度计测量了CaF2衬底的透射光谱和反射光谱,利用激光量热法测量了CaF2衬底吸收,分别利用原子力显微镜(AFM)和白光干涉仪(WLI)测量了CaF2衬底的表面粗糙度,并计算了功率谱密度(PSD)和表面散射,最后分别测量了CaF2衬底的荧光光谱、红外光谱和拉曼光谱。激光量热法测量5 mm厚准分子级CaF2衬底的吸收结果为922×10-6。AFM和WLI测得的CaF2衬底表面粗糙度均方根值分别为0.22和1.24 nm,计算表面散射损耗分别为0.005%和0.25%。荧光光谱在紫外(UV)级CaF2衬底中检测到Ce3+等杂质离子。红外光谱和拉曼光谱在CaF2衬底表面没有检测到水气和有机污染物。实验结果表明,激光量热法可以精确地测量和评价准分子级CaF2衬底的吸收,表面粗糙度的测量结果需要与散射的实测结果综合起来进行评价,荧光和红外等光谱技术是检测CaF2衬底内部痕量杂质及表面污染的有效手段。
关键词
激光器
arf准分子激光器
CaF2衬底
激光
量热吸收
表面粗糙度
光谱术
Keywords
lasers
arf
excimer laser
CaF2 substrate
laser calorimeter
surface roughness
spectroscopy
分类号
O734 [理学—晶体学]
原文传递
题名
ArF准分子激光光源电极系统设计及电场仿真研究
被引量:
3
4
作者
陈进新
徐向宇
王宇
机构
中国科学院光电研究院
中国科学院大学
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2014年第1期119-123,共5页
基金
国家重大科技专项
文摘
电极系统是ArF准分子激光光源的核心部件。首先通过对ArF准分子激光光源电极系统的初步设计,得到合适的放电区尺寸,提供了电极和预电离电极电压的加载方式,从而形成由阴极、阳极、预电离电极、陶瓷件和工作气体五部分组成的电极系统简化模型。然后基于该电极系统简化模型,在不同电压加载条件下进行了电场仿真。仿真结果表明,放电区域电场分布均匀对称,电极系统设计较为合理。
关键词
激光器
arf准分子激光器
电极系统
电场仿真
放电区域
加载电压
Keywords
lasers
arf
excimer laser
electrodes system
electric field simulation
discharge region
on-load voltage
分类号
TN245 [电子电信—物理电子学]
TN248.2 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高重复频率ArF准分子激光器能量控制算法研究
王效顺
梁勖
游利兵
赵家敏
方晓东
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012
7
下载PDF
职称材料
2
ArF准分子激光器废气分析及处理技术
梁晓琳
包本刚
戴清利
《环境科学与技术》
CAS
CSCD
北大核心
2015
0
下载PDF
职称材料
3
用于ArF准分子激光器的CaF_2衬底性能的实验表征
邓文渊
金春水
靳京城
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
1
原文传递
4
ArF准分子激光光源电极系统设计及电场仿真研究
陈进新
徐向宇
王宇
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2014
3
原文传递
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