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电场对Au-Ag薄膜结构影响的AFM和VAXPS研究
被引量:
2
1
作者
时方晓
叶小燕
+2 位作者
姚文清
曹立礼
董宇辉
《Chinese Journal of Chemical Physics》
SCIE
CAS
CSCD
1998年第3期261-266,共6页
利用原子力显微镜(AFM)和变角X射线光电子谱(VAXPS)技术研究了Au-Ag/SiO2体系在直流电场作用下,Au、Ag电迁移的特点及所引起的薄膜结构的变化。观察到较低温度下Au、Ag聚集状态的显著变化。发现电迁移...
利用原子力显微镜(AFM)和变角X射线光电子谱(VAXPS)技术研究了Au-Ag/SiO2体系在直流电场作用下,Au、Ag电迁移的特点及所引起的薄膜结构的变化。观察到较低温度下Au、Ag聚集状态的显著变化。发现电迁移过程中Au-Ag薄膜与SiO2基底之间存在界面化学反应,膜层中Au、Ag、Si等元素的化学状态发生了相应的变化。这些结果表明SiO2表面上Au-Ag复合薄膜电迁移不只是一个水平方向的扩散,而是一个复杂的物理化学过程。在此基础上提出了电场作用下Au-Ag薄膜迁移扩散反应机制。
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关键词
电迁移
AFM
VAXPS
au-ag薄膜
复合
薄膜
金
银
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职称材料
题名
电场对Au-Ag薄膜结构影响的AFM和VAXPS研究
被引量:
2
1
作者
时方晓
叶小燕
姚文清
曹立礼
董宇辉
机构
清华大学化学系
中国科学院物理研究所
出处
《Chinese Journal of Chemical Physics》
SCIE
CAS
CSCD
1998年第3期261-266,共6页
基金
国家自然科学基金
文摘
利用原子力显微镜(AFM)和变角X射线光电子谱(VAXPS)技术研究了Au-Ag/SiO2体系在直流电场作用下,Au、Ag电迁移的特点及所引起的薄膜结构的变化。观察到较低温度下Au、Ag聚集状态的显著变化。发现电迁移过程中Au-Ag薄膜与SiO2基底之间存在界面化学反应,膜层中Au、Ag、Si等元素的化学状态发生了相应的变化。这些结果表明SiO2表面上Au-Ag复合薄膜电迁移不只是一个水平方向的扩散,而是一个复杂的物理化学过程。在此基础上提出了电场作用下Au-Ag薄膜迁移扩散反应机制。
关键词
电迁移
AFM
VAXPS
au-ag薄膜
复合
薄膜
金
银
Keywords
AFM\ XPS\ Surface analysis \ Electromigration
分类号
TN4 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
电场对Au-Ag薄膜结构影响的AFM和VAXPS研究
时方晓
叶小燕
姚文清
曹立礼
董宇辉
《Chinese Journal of Chemical Physics》
SCIE
CAS
CSCD
1998
2
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