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APD阵列及其成像激光雷达系统的研究进展 被引量:2
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作者 李兵 杨赟秀 +5 位作者 李潇 呙长冬 寇先果 孔繁林 袁鎏 郑博仁 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期310-316,共7页
激光雷达(LiDAR)广泛应用于航天器导航、安防监控、3-D测绘、自动驾驶汽车、军事装备及机器人等领域,具有重要的军事和民用价值。雪崩光电二极管(APD)阵列探测技术在LiDAR的发展过程中发挥着至关重要的作用。介绍了LiDAR和APD阵列的应... 激光雷达(LiDAR)广泛应用于航天器导航、安防监控、3-D测绘、自动驾驶汽车、军事装备及机器人等领域,具有重要的军事和民用价值。雪崩光电二极管(APD)阵列探测技术在LiDAR的发展过程中发挥着至关重要的作用。介绍了LiDAR和APD阵列的应用背景,综述了APD阵列和LiDAR系统的发展历程和最新进展,最后总结了APD阵列探测技术的发展前景和研究趋势。 展开更多
关键词 激光技术 激光雷达 探测器 雪崩光电二极管阵列 自动驾驶汽车
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考虑APD的部分相干光OFDM-UWOC系统性能
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作者 宋亚童 李爽 +3 位作者 李刚刚 顾士忠 王平 郭立新 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第1期58-65,共8页
对于实际的水下无线光通信系统,系统误码性能主要受到海洋湍流和接收机噪声的制约。考虑散粒噪声和热噪声的影响,对弱海洋湍流环境下基于雪崩光电二极管的部分相干光辅助OFDM-UWOC系统的误码性能进行了分析。研究中利用波束扩展函数建... 对于实际的水下无线光通信系统,系统误码性能主要受到海洋湍流和接收机噪声的制约。考虑散粒噪声和热噪声的影响,对弱海洋湍流环境下基于雪崩光电二极管的部分相干光辅助OFDM-UWOC系统的误码性能进行了分析。研究中利用波束扩展函数建立了吸收、散射、未对准和海洋湍流共同影响下的聚合信道衰落模型,进而分别导出不同噪声限制下的系统平均误码率理论表达式。受散粒噪声限制时,研究了接收机噪声温度、平均接收光强及雪崩光电二极管雪崩增益值的大小对系统可靠性的影响;受热噪声限制时,给出了部分相干光特征参数和海洋湍流特性参数对该系统可靠性的影响。结果表明,对于雪崩光电二极管而言,接收机温度和平均接收光强大小都会在一定程度上影响系统误码性能。因此,通过选择合适的雪崩光电二极管雪崩增益值,能够在一定程度上提升该OFDM-UWOC系统的误码性能。此外,部分相干光和海洋湍流的变化会对系统的误码性能产生影响。 展开更多
关键词 水下无线光通信 部分相干光 雪崩光电二极管 波束扩展函数
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基于机器学习的复杂环境下APD最优偏置电压补偿方法
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作者 陈梦强 杨家志 +1 位作者 于广旺 沈洁 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2023年第1期147-152,共6页
雪崩光电二极管(APD)在激光雷达探测系统中的信噪比受工作距离和背景辐射的影响较大,传统探测方法通过离线式或事先根据外界环境影响因素进行预补偿,不能在线动态调节,难以适应复杂环境。一种基于机器学习的APD偏置电压最佳补偿方法,可... 雪崩光电二极管(APD)在激光雷达探测系统中的信噪比受工作距离和背景辐射的影响较大,传统探测方法通过离线式或事先根据外界环境影响因素进行预补偿,不能在线动态调节,难以适应复杂环境。一种基于机器学习的APD偏置电压最佳补偿方法,可以准确判断APD当前的工作状态,对偏置电压进行二分补偿,使APD工作在最优状态。通过比较多种机器学习模型,选用准确率维持在98%以上的随机森林算法来判断APD工作状态。在不同距离下测试,该方法可保证偏置电压始终处于最优工作电压下,提高激光雷达探测系统的性能。 展开更多
关键词 雪崩光电二极管 机器学习 偏置电压补偿 二分法补偿
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Analysis of high-temperature performance of 4H-SiC avalanche photodiodes in both linear and Geiger modes
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作者 周幸叶 吕元杰 +5 位作者 郭红雨 顾国栋 王元刚 梁士雄 卜爱民 冯志红 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第3期583-588,共6页
The high-temperature performance of 4H-SiC ultraviolet avalanche photodiodes(APDs)in both linear and Geiger modes is extensively investigated.During the temperature-dependent measurements,a fixed bias voltage is adopt... The high-temperature performance of 4H-SiC ultraviolet avalanche photodiodes(APDs)in both linear and Geiger modes is extensively investigated.During the temperature-dependent measurements,a fixed bias voltage is adopted for the device samples,which is much more practical and important for high-temperature applications.The results show that the fabricated 4H-SiC APDs are very stable and reliable at high temperatures.As the temperature increases from room temperature to 425 K,the dark current at 95%of the breakdown voltage increases slightly and remains lower than40 pA.In Geiger mode,our 4H-SiC APDs can be self-quenched in a passive-quenching circuit,which is expected for highspeed detection systems.Moreover,an interesting phenomenon is observed for the first time:the single-photon detection efficiency shows a non-monotonic variation as a function of temperature.The physical mechanism of the variation in hightemperature performance is further analyzed.The results in this work can provide a fundamental reference for researchers in the field of 4H-SiC APD ultraviolet detectors. 展开更多
关键词 4H-SIC avalanche photodiode ultraviolet detector high temperature
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Planar InAlAs/InGaAs avalanche photodiode with 360 GHz gain×bandwidth product
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作者 王帅 叶焓 +4 位作者 耿立妍 肖帆 褚艺渺 郑煜 韩勤 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第9期103-107,共5页
This paper describes a guardring-free planar InAlAs/InGaAs avalanche photodiode(APD)by computational simulations and experimental results.The APD adopts the structure of separate absorption,charge,and multiplication(S... This paper describes a guardring-free planar InAlAs/InGaAs avalanche photodiode(APD)by computational simulations and experimental results.The APD adopts the structure of separate absorption,charge,and multiplication(SACM)with top-illuminated.Computational simulations demonstrate how edge breakdown effect is suppressed in the guardringfree structure.The fabricated APD experiment results show that it can obtain a very low dark current while achieving a high gain×bandwidth(GB)product.The dark current is 3 nA at 0.9Vb r,and the unit responsivity is 0.4 A/W.The maximum3 dB bandwidth of 24 GHz and a GB product of 360 GHz are achieved for the fabricated APD operating at 1.55μm. 展开更多
关键词 avalanche photodiode PLANAR gain×bandwidth product dark current
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Investigation of Ga_(2)O_(3)/diamond heterostructure solar-blind avalanche photodiode via TCAD simulation
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作者 许敦洲 金鹏 +3 位作者 徐鹏飞 冯梦阳 吴巨 王占国 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第10期716-723,共8页
A Ga_(2)O_(3)/diamond separate absorption and multiplication avalanche photodiode(SAM-APD)with mesa structure has been proposed and simulated.The simulation is based on an optimized Ga_(2)O_(3)/diamond heterostructure... A Ga_(2)O_(3)/diamond separate absorption and multiplication avalanche photodiode(SAM-APD)with mesa structure has been proposed and simulated.The simulation is based on an optimized Ga_(2)O_(3)/diamond heterostructure TCAD physical model,which is revised by repeated comparison with the experimental data from the literature.Since both Ga_(2)O_(3)and diamond are ultra-wide bandgap semiconductor materials,the Ga_(2)O_(3)/diamond SAM-APD shows good solar-blind detection ability,and the corresponding cutoff wavelength is about 263 nm.The doping distribution and the electric field distribution of the SAM-APD are discussed,and the simulation results show that the gain of the designed device can reach 5×10^(4)and the peak responsivity can reach a value as high as 78 A/W. 展开更多
关键词 Ga_(2)O_(3) DIAMOND separate absorption and multiplication avalanche photodiode(SAM-apd) solar-blind detector
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p型接触界面氧影响SiC APD暗电流的机制研究
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作者 杨成东 苏琳琳 《电子元件与材料》 CAS 北大核心 2023年第1期45-49,62,共6页
SiC雪崩光电二极管(APD)作为一种微弱紫外光探测器件,高探测灵敏度对器件暗电流水平提出极高要求。在SiC APD复杂的制备过程中,器件暗电流是极其敏感的,为了探索工艺中暗电流的影响因素并分析其机制,对四种不同工艺条件下制备的SiC APD... SiC雪崩光电二极管(APD)作为一种微弱紫外光探测器件,高探测灵敏度对器件暗电流水平提出极高要求。在SiC APD复杂的制备过程中,器件暗电流是极其敏感的,为了探索工艺中暗电流的影响因素并分析其机制,对四种不同工艺条件下制备的SiC APD进行对照分析,通过电流-电压曲线展现器件的输出特性,并结合扫描电子显微镜(SEM)来研究相关界面的表面特性,从而揭示漏电机制。研究表明,器件制备过程中界面氧的引入在高温退火过程中会诱导金属-半导体界面缺陷的形成,从而导致暗电流的急剧增加,这种缺陷的诱导机制还和p型接触金属密切相关。在器件制备过程中,在氧等离子体去胶等可能引入氧氛围的工艺步骤后,对外延片进行氢氟酸腐蚀以去除氧氛围能够有效降低器件的暗电流。 展开更多
关键词 SIC 雪崩光电二极管 暗电流 界面氧
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基于APD单光子探测器的光子到达时间标记精度研究
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作者 李保权 李帆 +1 位作者 曹阳 桑鹏 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第7期142-149,共8页
为了准确测量X射线脉冲星导航中的光子到达时间,提出了一种X射线探测器光子到达时间精度的测试系统,该系统主要由脉冲X射线发生器、任意波形发生器、雪崩光电二极管探测器和时间标记光子计数器组成。系统测量脉冲X射线发生器的控制脉冲... 为了准确测量X射线脉冲星导航中的光子到达时间,提出了一种X射线探测器光子到达时间精度的测试系统,该系统主要由脉冲X射线发生器、任意波形发生器、雪崩光电二极管探测器和时间标记光子计数器组成。系统测量脉冲X射线发生器的控制脉冲信号与雪崩光电二极管探测器测量的输出信号之间的时间延迟,研究时间延迟的分布情况,该分布的标准差可以反映被测探测器的光子到达时间测量精度。实验结果显示,雪崩光电二极管探测器输出信号相比控制信号的时间延迟约9.03 ns,标准差为2.23 ns,即雪崩光电二极管探测器的光子到达时间精度为2.23 ns,表明其能够实现对X射线单光子的快时间响应与高精度标记。 展开更多
关键词 X射线 X射线调制源 光子到达时间精度 雪崩光电二极管 脉冲星导航
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星载激光测距仪APD最佳雪崩增益控制技术研究 被引量:21
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作者 李旭 彭欢 王春辉 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2016年第5期69-74,共6页
针对激光测距仪星载应用环境的特殊性,研究了星载激光测距仪APD最佳增益控制技术。通过引入星载激光测距仪APD电流信噪比模型,分析了影响星载激光测距仪APD信噪比的关键因素。针对某星载激光测距仪的具体应用,展开了APD最佳增益控制技... 针对激光测距仪星载应用环境的特殊性,研究了星载激光测距仪APD最佳增益控制技术。通过引入星载激光测距仪APD电流信噪比模型,分析了影响星载激光测距仪APD信噪比的关键因素。针对某星载激光测距仪的具体应用,展开了APD最佳增益控制技术研究,设计了温度增益反馈控制电路,并推导建立了温度增益数字反馈控制算法,实验验证了控制电路及算法的正确性和良好的温度适应性。实验结果表明,该控制电路和算法能够使得APD在-25~60℃温度范围下保持恒定增益,适用于星载激光测距仪APD最佳增益控制。 展开更多
关键词 星载激光测距仪 apd 温度补偿 增益控制
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一种高带宽NP型CMOSAPD的研究 被引量:5
10
作者 王巍 王川 +5 位作者 颜琳淑 杜超雨 王婷 王冠宇 王振 冯世娟 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第2期699-704,共6页
提出了一种高带宽的硅基CMOS雪崩光电二极管(APD)器件。该器件在N阱/P衬底基本结构的基础上,增加一个N型深掩埋层,并在该掩埋层单独加上电压,以减小载流子的输运时间。通过理论分析确定了器件的结构参数,通过器件性能的仿真分析对相关... 提出了一种高带宽的硅基CMOS雪崩光电二极管(APD)器件。该器件在N阱/P衬底基本结构的基础上,增加一个N型深掩埋层,并在该掩埋层单独加上电压,以减小载流子的输运时间。通过理论分析确定了器件的结构参数,通过器件性能的仿真分析对相关参数进行了优化设计。仿真结果表明:采用标准0.18μm CMOS工艺,所设计的APD器件的窗口尺寸大小为20μm×20μm,在反向偏压为16.3 V时,器件的雪崩增益为20,响应度为0.47 A/W,3 d B带宽为8.6 GHz。 展开更多
关键词 雪崩光电二极管 CMOS apd 带宽
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室内可见光通信APD探测电路的设计与实现 被引量:18
11
作者 郭倩 蓝天 +1 位作者 朱祺 倪国强 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第2期731-735,共5页
室内可见光无线通信技术是随着白光LED照明技术的发展而兴起的无线光通信技术。在分析目前的可见光通信技术基础上,针对室内可见光通信系统的应用需求,设计了雪崩光电二极管(APD)探测电路组件。首先阐述了APD探测电路的工作原理,其次详... 室内可见光无线通信技术是随着白光LED照明技术的发展而兴起的无线光通信技术。在分析目前的可见光通信技术基础上,针对室内可见光通信系统的应用需求,设计了雪崩光电二极管(APD)探测电路组件。首先阐述了APD探测电路的工作原理,其次详细设计并分析了系统各组成部分的电路结构及其功能,最后对所设计的用于室内可见光通信接收子系统的探测组件进行了相关实验测试。实验结果表明:设计有效可行,APD探测电路具有增益高、带宽宽、温控可靠、稳定性好等优点,对室内可见光通信系统有很好的应用价值,为室内可见光通信系统进一步研究提供依据。 展开更多
关键词 可见光通信 雪崩光电二极管 温度控制
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采集强干扰下微弱信号的APD电路系统研究 被引量:5
12
作者 王启明 姜燕冰 +1 位作者 张秀达 严惠民 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1753-1755,共3页
基于雪崩光电二极管反向偏压及其电容特性,利用时间同步原理,构建了一个用于回避强烈反射光信号,探测微弱回波信号的雪崩光电二极管探测系统.对雪崩光电二极管电容效应作出了分析,得出交流高压供电会使雪崩光电二极管产生干扰尖峰脉冲... 基于雪崩光电二极管反向偏压及其电容特性,利用时间同步原理,构建了一个用于回避强烈反射光信号,探测微弱回波信号的雪崩光电二极管探测系统.对雪崩光电二极管电容效应作出了分析,得出交流高压供电会使雪崩光电二极管产生干扰尖峰脉冲的结论.为了消除这个电容效应产生的尖峰干扰,提出了施加直流反向低压的方案,以达到减少雪崩光电二极管电容变化量的目的.通过实验数据验证了方法可行性. 展开更多
关键词 雪崩光电二极管 门电路 雪崩光电二极管电容效应 探测微弱信号
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基于APD-PIN结电容平衡电路的门控单光子探测器 被引量:9
13
作者 刘俊良 李永富 +2 位作者 张春芳 王祖强 方家熊 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第11期3181-3185,共5页
以APD-PIN结电容平衡门控猝灭电路(GPQC)和InGaAs/InP雪崩光电二极管(APD)为核心研制了可工作在宽门控频率范围下的近红外单光子探测器。门控信号为200 MHz以下任意重复频率的尖脉冲,门宽约1 ns,脉冲幅度约10 Vpp。采用与APD结电容特性... 以APD-PIN结电容平衡门控猝灭电路(GPQC)和InGaAs/InP雪崩光电二极管(APD)为核心研制了可工作在宽门控频率范围下的近红外单光子探测器。门控信号为200 MHz以下任意重复频率的尖脉冲,门宽约1 ns,脉冲幅度约10 Vpp。采用与APD结电容特性相近的PIN高频二极管研发了APD-PIN结电容平衡门控猝灭电路,可有效地抑制门控微分噪声中的低频分量,抑制比大于40 d B。采用一组简单的9阶贝塞尔型电感-电容(LC)低通滤波电路滤除残余的高频噪声分量,并使用通用的宽带射频放大器对雪崩信号进行放大。在-52℃,0.1~200 MHz门控频率条件下,10%探测效率时暗计数率、后脉冲概率分别小于6×10^(-6)/gate、1.9%,最高探测效率可达26.4%。 展开更多
关键词 单光子探测 低通滤波器 雪崩光电二极管
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基于InGaAs盖革模式APD探测器的主动淬灭电路设计 被引量:3
14
作者 杨赟秀 袁菲 +5 位作者 路小龙 景立 邓世杰 呙长冬 宋海智 张伟 《半导体技术》 CAS 北大核心 2019年第5期329-334,共6页
盖革模式(GM)雪崩光电二极管(APD)探测器具有单光子级探测灵敏度,可广泛用于三维成像和测量测绘等领域。针对InGaAs基GM-APD,提出一种用于自由模式探测的主动淬灭电路。该电路采用电容积分方式将雪崩电流转换为电压信号,利用反相器对其... 盖革模式(GM)雪崩光电二极管(APD)探测器具有单光子级探测灵敏度,可广泛用于三维成像和测量测绘等领域。针对InGaAs基GM-APD,提出一种用于自由模式探测的主动淬灭电路。该电路采用电容积分方式将雪崩电流转换为电压信号,利用反相器对其进行检测与提取,同时经淬灭支路将雪崩快速淬灭,一定延时后恢复支路使APD重新进入盖革状态;采用施密特触发器以增强淬灭支路的抗干扰能力,防止盖革恢复过程中导致淬灭控制信号的振荡;利用RC延迟电路实现探测器死时间可调。基于SMIC 0.18μm标准CMOS工艺对设计的主动淬灭电路进行了流片,电路芯片与GM-APD互连测试结果表明,该电路可实现对GM-APD的快速淬灭与恢复,淬灭时间约为887 ps,恢复时间约为325 ps,最小死时间约为29.8 ns,满足多回波探测应用要求。 展开更多
关键词 INGAAS 盖革模式(GM) 雪崩光电二极管(apd) 光探测器 主动淬灭 单光子
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用于APD激光探测的电荷灵敏前置放大器设计 被引量:16
15
作者 徐伟 陈钱 +1 位作者 顾国华 何伟基 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2011年第1期27-30,共4页
雪崩光电二极管(APD)作为探测元件实现光电转换广泛应用于激光脉冲探测技术中。前置放大器是影响APD激光脉冲探测系统好坏的关键因素,前置放大器的信噪比决定了整个探测系统的信噪比优劣。提出了电荷灵敏前置放大器应用于APD激光脉冲探... 雪崩光电二极管(APD)作为探测元件实现光电转换广泛应用于激光脉冲探测技术中。前置放大器是影响APD激光脉冲探测系统好坏的关键因素,前置放大器的信噪比决定了整个探测系统的信噪比优劣。提出了电荷灵敏前置放大器应用于APD激光脉冲探测系统以提高探测距离和探测精度的方法。讨论了激光脉冲探测技术和APD特性,在此基础上设计了以结型场效应管和集成运放为主要器件的低噪声电荷灵敏前置放大器电路并对设计电路进行了实验分析。实验结果表明:将电荷灵敏前置放大器应用于APD激光脉冲探测系统可以有效提高系统的信噪比,改善激光探测性能。 展开更多
关键词 激光脉冲探测 电荷灵敏 前置放大器 雪崩光电二极管 信噪比
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硅基APD器件的工艺及性能仿真分析 被引量:8
16
作者 王巍 冯其 +3 位作者 武逶 谢玉亭 王振 冯世娟 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第1期140-144,共5页
硅基APD的性能取决于其器件结构与工艺过程。文中对n+-p-π-p+外延结构的APD器件的工艺和器件性能进行了仿真分析,为硅基APD器件的设计提供了理论指导。利用Silvaco软件对APD器件的关键工艺离子注入和扩散工艺进行了仿真,确定工艺参数... 硅基APD的性能取决于其器件结构与工艺过程。文中对n+-p-π-p+外延结构的APD器件的工艺和器件性能进行了仿真分析,为硅基APD器件的设计提供了理论指导。利用Silvaco软件对APD器件的关键工艺离子注入和扩散工艺进行了仿真,确定工艺参数对杂质的掺杂深度和掺杂分布的影响。并且,对于APD器件的性能进行了分析,对电场分布、增益、量子效率、响应度等参数进行了仿真分析。仿真结果表明:在给定的器件参数条件下,所设计的APD器件的增益为100时,响应度峰值为55A/W左右,在600~900 nm范围内具有较高响应度,峰值波长在810 nm。 展开更多
关键词 硅基雪崩二极管(Si-apd) 二维工艺仿真 器件仿真
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基于背向喇曼散射的分布式光纤温度传感器APD最佳雪崩增益的分析 被引量:5
17
作者 赵洪志 李乃吉 赵达尊 《光子学报》 EI CAS CSCD 1996年第11期1028-1031,共4页
本文分析了基于背向喇曼散射的分布式光纤温度传感器中光电接收用雪崩光电二极管雪崩增益对接收电路信噪比的影响,给出了使传感系统接收电路输出信号信噪比最大这一最佳意义下APD雪崩增益的表达式并进行了分析,实验结果和理论分析... 本文分析了基于背向喇曼散射的分布式光纤温度传感器中光电接收用雪崩光电二极管雪崩增益对接收电路信噪比的影响,给出了使传感系统接收电路输出信号信噪比最大这一最佳意义下APD雪崩增益的表达式并进行了分析,实验结果和理论分析基本一致。 展开更多
关键词 雪崩光电二极管 光纤传感器 信噪比 温度传感
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基于盖革模式APD阵列的单脉冲3D激光雷达原理和技术 被引量:10
18
作者 李琦 迟欣 王骐 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2006年第12期1116-1119,共4页
利用激光单脉冲构成一幅完整三维图像的小型化激光雷达,是激光成像雷达的一个重要研究方向,它可以实现像人眼一样实时成三维立体像。美国麻省理工学院林肯实验室持续研究此类可见光波段激光雷达,随后Raytheon研发了近红外波段的激光雷... 利用激光单脉冲构成一幅完整三维图像的小型化激光雷达,是激光成像雷达的一个重要研究方向,它可以实现像人眼一样实时成三维立体像。美国麻省理工学院林肯实验室持续研究此类可见光波段激光雷达,随后Raytheon研发了近红外波段的激光雷达。文章在介绍此类雷达基本原理的基础上,重点介绍了林肯实验室研制的第三代激光雷达,最后分析了此类激光雷达关键技术的发展情况。 展开更多
关键词 激光雷达 单脉冲三维图像 雪崩光电二极管阵列 微片激光器
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InGaAs-APD门模单光子探测及其应用 被引量:3
19
作者 周金运 彭孝东 +3 位作者 林清华 胡义华 廖常俊 刘颂豪 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第4期401-405,共5页
对单光子探测使用InGaAs-APD并采用门模控制的核心问题进行了阐述,总结了探测器件的特性和门模控制系统的特点,并归纳了在这种探测方式中实际存在的问题和可能解决的方法,最后着重介绍它在量子保密通信中的应用。
关键词 光电子学 InGaAs—apd 单光子 门模 雪崩抑制 量子保密通信
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InGaAs/InPAPD探测器光电特性检测 被引量:4
20
作者 肖雪芳 杨国华 +4 位作者 归强 王国宏 马晓宇 陈朝 陈良惠 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期460-463,共4页
建立了雪崩二极管的静态光电特性的自动测试系统。利用该系统对光敏面的直径为500μm的台面型InGaAs/InP雪崩光电二极管(APDs)进行测试。测试结果表明,该APD器件在90%击穿电压下的暗电流为151nA,在直径500μm的光敏面上其光响应均匀性... 建立了雪崩二极管的静态光电特性的自动测试系统。利用该系统对光敏面的直径为500μm的台面型InGaAs/InP雪崩光电二极管(APDs)进行测试。测试结果表明,该APD器件在90%击穿电压下的暗电流为151nA,在直径500μm的光敏面上其光响应均匀性良好。提出一种测量雪崩二极管倍增因子的方法,只需利用普通的测量电流-电压的测试仪器,就可以获得开始倍增时的光电流,从而得到APD的倍增因子。通过该方法得到的InGaAs/InPAPD器件最大倍增因子的典型值在10~100量级。 展开更多
关键词 静态光电特性的自动测试系统 雪崩光电二极管 大面积apd 倍增因子
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