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MEMS薄膜平均应力梯度在线测量方法
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作者 陈涵 戎华 王鸣 《西安文理学院学报（自然科学版）》 2008年第3期52-55,共4页
结构层淀积是MEMS加工过程中的重要工艺步骤,淀积薄膜的应力梯度是影响MEMS器件性能的一个重要的力学参数.文中介绍了几种常见的平均应力梯度在线测量方法,阐明了其测试结构及测量原理,并对这些测量方法进行了比较.
关键词 平均应力梯度 在线测量 测试结构
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