利用高分辨X射线衍射技术计算铝镓氮外延膜的晶格参数

利用高分辨X射线衍射(HRXRD)技术对在蓝宝石衬底上用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法生长的Al组分含量为0.63的AlGaN外延膜进行晶格参数的精确计算.通过对Al0.63Ga0.37N的对称晶面和非对称晶面进行ω/2θ扫描,以及对零点误差和晶面间距的修正,能够计算得到六方晶系Al0.63Ga0.37N外延膜的水平晶格常数a和垂直晶格常数c分别为0.31301 nm和0.50596 nm.通过对各种影响因素的分析和校正,可以得出二者的测量偏差分别为0.00001 nm和0.00002 nm.

多晶体X射线分析实验中的误差分析与外推法

分析多晶体的X射线分析实验中的主要误差来源与消除误差的办法。

用德拜法精确测定晶体点阵常数的一种新方法

本文综述了德拜法系统误差的消除方法,其中主要是讨论了轴偏心误差。用改进后的新方法大大提高了测量精度。以铝为例,铝的点阵常数标准值为0.404910nm,采取一般方法测得0.405021nm,而用新方法则测得0.404919nm。

硅点阵常数精确测定及系统误差处理

精确测定点阵常数是研究结晶材料的重要方法之一，对于研究相变过程、晶体的缺陷和应力状态等均有重要意义。本实验除对晶体硅的点阵常数进行了精确测定外，仪器的系统误差对测定精度的影响也进行了测量、分析，并对测量结果给予了修正。