期刊文献+
共找到9篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
1.0 MeV电子辐照致VO_2(B)薄膜结构与光谱改变研究
1
作者 王玲珑 孟庆凯 +3 位作者 何捷 郭英杰 苏瑞 陈家胜 《光散射学报》 北大核心 2010年第2期151-156,共6页
本文以能量为1.0MeV的电子束辐照VO2(B)薄膜,对电子辐照在薄膜中产生的缺陷进行了理论计算,同时使用X射线衍射仪、原子力显微镜、分光光度计对薄膜进行测试,分析了电子辐照对薄膜结构、形貌与紫外-可见光谱(280-880nm)的影响。... 本文以能量为1.0MeV的电子束辐照VO2(B)薄膜,对电子辐照在薄膜中产生的缺陷进行了理论计算,同时使用X射线衍射仪、原子力显微镜、分光光度计对薄膜进行测试,分析了电子辐照对薄膜结构、形貌与紫外-可见光谱(280-880nm)的影响。结果显示:电子辐照可以在薄膜中引入点缺陷并产生退火效应,电子辐照使薄膜的表面晶粒细化,辐照后薄膜光谱的吸收峰位发生移动,其移动的最大位移达到21nm,辐照后薄膜的光学禁带宽度也有所增加。 展开更多
关键词 VO2(b)薄膜 注量 结构 光谱 光学禁带宽度
下载PDF
特型二氧化钒薄膜的制备及电阻温度系数的研究 被引量:25
2
作者 尚东 林理彬 +2 位作者 何捷 王静 卢勇 《四川大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期523-527,共5页
采用真空蒸发真空退火的制备工艺,制备出了特定的VO2(B)型薄膜并给出了最佳制备条件,经X射线衍射(XRD)分析及电学参数测试,其电阻温度系数(TCR)值达到-3.4×10-2K-1,无相变和热滞现象.作者还讨论了薄膜电阻温度关系,及其电阻温度系... 采用真空蒸发真空退火的制备工艺,制备出了特定的VO2(B)型薄膜并给出了最佳制备条件,经X射线衍射(XRD)分析及电学参数测试,其电阻温度系数(TCR)值达到-3.4×10-2K-1,无相变和热滞现象.作者还讨论了薄膜电阻温度关系,及其电阻温度系数与晶粒大小、激活能等的关系. 展开更多
关键词 VO2(b)薄膜 真空蒸发 真空退火
下载PDF
掺硼纳米晶粒多晶Si薄膜的结构特征与电学特性 被引量:2
3
作者 彭英才 康建波 +3 位作者 马蕾 张雷 王侠 范志东 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期471-474,465,共5页
采用低压化学气相沉积(LPCVD)工艺,以SiH4作为反应气体源和B2H6作为硼(B)掺杂剂,在单晶Si或石英表面上,通过原位掺杂制备了掺B的纳米晶粒多晶Si(nc-poly-Si(B))薄膜。利用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和拉曼光谱等手段,检测... 采用低压化学气相沉积(LPCVD)工艺,以SiH4作为反应气体源和B2H6作为硼(B)掺杂剂,在单晶Si或石英表面上,通过原位掺杂制备了掺B的纳米晶粒多晶Si(nc-poly-Si(B))薄膜。利用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和拉曼光谱等手段,检测和分析了沉积膜层的表面形貌、晶粒尺寸和密度分布等结构特征。结果表明,在典型工艺条件下,获得了晶粒尺寸为大约15 nm和密度分布为大约9×1010cm-2的nc-poly-Si(B)薄膜。样品经退火处理后,Si晶粒尺寸变大,排列更加有序,而且电导特性明显改善。利用常规四探针法测量了样品的薄层电阻,并讨论了B掺杂浓度和退火温度对薄膜电学性质的影响。 展开更多
关键词 LPCVD nc-poly-Si(b)薄膜 结构特征 热退火 电学性质
下载PDF
Crystallization Behavior and Properties of B-Doped ZnO Thin Films Prepared by Sol-Gel Method with Different Pyrolysis Temperatures
4
作者 文斌 刘超前 +6 位作者 王楠 王华林 刘世民 姜薇薇 丁万昱 费维栋 柴卫平 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 2016年第2期229-233,I0002,共6页
Boron-doped zinc oxide transparent (BZO) films were prepared by sol-gel method. The effect of pyrolysis temperature on the crystallization behavior and properties was systematically investigated. XRD patterns reveal... Boron-doped zinc oxide transparent (BZO) films were prepared by sol-gel method. The effect of pyrolysis temperature on the crystallization behavior and properties was systematically investigated. XRD patterns revealed that the BZO films had wurtzite structure with a preferential growth orientation along the c-axis. With the increase of pyrolysis temperature, the particle size and surface roughness of the BZO films increased, suggesting that pyrolysis temperature is the critical factor for determining the crystallization behavior of the BZO films. Moreover, the carrier concentration and the carrier mobility increased with increasing the pyrolysis temperature, and the mean transmittance for every film is over 90% in the visible range. 展开更多
关键词 Transparent conduction oxide Thin film boron-doped ZnO Pyrolysis tem-perature SOLGEL
下载PDF
B掺杂ZnO纳米薄膜的结构和光学特性研究 被引量:5
5
作者 化麒麟 杨雯 +2 位作者 杨培志 付蕊 邓双 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期1116-1119,共4页
采用脉冲磁控溅射法制备了B掺杂ZnO(ZnO:B)纳米薄膜,并用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和紫外-可见-近红外分光光度计分别研究了薄膜的结构和光学特性。结果表明:ZnO:B为多晶纳米薄膜,具有六方钎锌矿结构,且薄膜沿着c轴取向择优... 采用脉冲磁控溅射法制备了B掺杂ZnO(ZnO:B)纳米薄膜,并用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和紫外-可见-近红外分光光度计分别研究了薄膜的结构和光学特性。结果表明:ZnO:B为多晶纳米薄膜,具有六方钎锌矿结构,且薄膜沿着c轴取向择优生长;在可见光和近红外光谱区的透光性能良好,其中在可见光区的平均透光率大于84%,而在近红外区的透光率随着波长增加而逐渐降低至45%。运用逐点无约束最优化法分析计算了薄膜的光学常数,在可见光区,ZnO:B纳米薄膜的光学常数随波长的变化很小且数值基本恒定,折射率约为2.0,而在紫外区,光学常数随波长的变化显著。 展开更多
关键词 b掺ZnO(ZnO b)薄膜 光学常数 磁控溅射 逐点无约束最优化法 透射光谱
原文传递
VO2(B)薄膜的制备及特性优化研究 被引量:5
6
作者 魏雄邦 吴志明 +2 位作者 王涛 许向东 蒋亚东 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期1361-1365,共5页
采用直流磁控溅射法,在纯氩气氛中溅射V2O5靶材,在覆盖有氮化硅薄膜的P(100)硅基片表面沉积氧化钒薄膜。对沉积的薄膜进行了后续高真空高温退火处理。利用XRD对薄膜的晶相进行了分析,结果表明退火处理前和退火处理后的薄膜都具有VO2各... 采用直流磁控溅射法,在纯氩气氛中溅射V2O5靶材,在覆盖有氮化硅薄膜的P(100)硅基片表面沉积氧化钒薄膜。对沉积的薄膜进行了后续高真空高温退火处理。利用XRD对薄膜的晶相进行了分析,结果表明退火处理前和退火处理后的薄膜都具有VO2各晶面的取向,XPS分析证明了XRD的物相分析结果。对薄膜的方阻特性的测试表明生成的薄膜是典型的VO2(B)薄膜,退火后的薄膜方阻减小,方阻温度系数也降低。在此基础上,利用薄膜晶界散射理论,通过改变薄膜沉积时间和沉积温度使薄膜的方阻和方阻温度系数随薄膜厚度和晶粒大小而变化,从而使薄膜的电性能达到优化。 展开更多
关键词 VO2(b)薄膜 直流磁控溅射 方阻 方阻温度系数
原文传递
Influence of oxygen treatment and temperature on electrical properties of the epitaxial Nb-doped SrTiO_3 films on silicon 被引量:1
7
作者 XIANG WenFeng WANG ShaoMin ZHAO Kun 《Science China(Physics,Mechanics & Astronomy)》 SCIE EI CAS 2013年第10期2009-2011,共3页
We have fabricated the epitaxial Nb-doped SrTiO3(NbSTO) thin films on Si substrates using a TiN film as the buffer layer.The oxygen-treatment and temperature dependence of electrical properties has been investigated.O... We have fabricated the epitaxial Nb-doped SrTiO3(NbSTO) thin films on Si substrates using a TiN film as the buffer layer.The oxygen-treatment and temperature dependence of electrical properties has been investigated.Oxygen treatment showed the surface change of NbSTO films has immense influence on the resistance switching.The resistance ratio of two resistance states decreased after oxygen treatment.With tested-temperature rising,the resistance and resistance ratio of two resistance states increased.The resistance switching of Pt/NbSTO junction as a function of oxygen-treatment and temperature can be explained by the charge trapping and detrapping process in the Pt/NbSTO interface,which will help understand the resistance switching mechanism of oxides. 展开更多
关键词 epitaxial Nb-doped SrTiO3 films resistance switching temperature dependence oxygen treatment
原文传递
Onset of the Meissner effect at 65 K in Fe Se thin film grown on Nb-doped Sr TiO_3 substrate 被引量:11
8
作者 Zuocheng Zhang Yi-Hua Wang +5 位作者 Qi Song Chang Liu Rui Peng K.A.Moler Donglai Feng Yayu Wang 《Science Bulletin》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第14期1301-1304,共4页
We report the Meissner effect studies on an Fe Se thin film grown on Nb-doped Sr Ti O3 substrate by molecular beam epitaxy. Two-coil mutual inductance measurement clearly demonstrates the onset of diamagnetic screenin... We report the Meissner effect studies on an Fe Se thin film grown on Nb-doped Sr Ti O3 substrate by molecular beam epitaxy. Two-coil mutual inductance measurement clearly demonstrates the onset of diamagnetic screening at 65 K, which is consistent with the gap opening temperature determined by previous angle-resolved photoemission spectroscopy results. The applied magnetic field causes a broadening of the superconducting transition near the onset temperature, which is the typical behavior for quasi-two-dimensional superconductors. Our results provide direct evidence that Fe Se thin film grown on Nb-doped Sr Ti O3 substrate has an onset TC* 65 K,which is the highest among all iron-based superconductors discovered so far. 展开更多
关键词 Meissner effect. FeSe thin film SrTiO3substrate Quasi-two-dimensional superconductors .Iron-based superconductors
原文传递
Deposition of p-Type Microcrystalline Silicon Film and Its Application in Microcrystalline Silicon Solar Cells 被引量:1
9
作者 陈永生 杨仕娥 +5 位作者 汪建华 卢景霄 郜小勇 谷锦华 郑文 赵尚丽 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第11期2130-2135,共6页
Highly conductive boron-doped hydrogenated microcrystalline silicon (μc-Si: H) films and solar cells are pre- pared by plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD). The effects of diborane concentration, t... Highly conductive boron-doped hydrogenated microcrystalline silicon (μc-Si: H) films and solar cells are pre- pared by plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD). The effects of diborane concentration, thickness and substrate temperature on the growth and properties of B-doped layers and the performance of solar cells with high deposited rate i-layers are investigated. With the optimum p-layer deposition parameters, a higher efficiency of 5.5% is obtained with 0.78nm/s deposited i-layers. In addition, the carriers transport mechanism of p-type μc-Si: H films is discussed. 展开更多
关键词 boron-doped μc-Si..H films Raman crystallinity dark conductivity solar cells
原文传递
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部