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BC_2N薄膜的柱状生长及生长机理
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作者 马锡英 贺德衍 陈光华 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第10期2023-2027,共5页
应用热丝辅助等离子体化学气相沉积法 (CVD)合成了表面呈柱状的BC2 N薄膜 ,X射线、红外及X射线电子能谱分析表明 ,薄膜的化学组分主要为BC2 N ,B ,C和N原子间互相结合成键 .扫描电镜观察到 ,薄膜表面形貌呈排列整齐、取向一致的柱体 ,... 应用热丝辅助等离子体化学气相沉积法 (CVD)合成了表面呈柱状的BC2 N薄膜 ,X射线、红外及X射线电子能谱分析表明 ,薄膜的化学组分主要为BC2 N ,B ,C和N原子间互相结合成键 .扫描电镜观察到 ,薄膜表面形貌呈排列整齐、取向一致的柱体 ,并且发现这种生长方式与沉积参数密切相关 .最后从结合能方面讨论了柱状BC2 N的生长机理 . 展开更多
关键词 生长机理 bc2n薄膜 柱状生长 CVD法 热丝辅助等离子体化学气相沉积法 硼碳氮化合物
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