厚度对溶胶-凝胶法制备BaTi_(0.99)Fe_(0.01)O_(3)薄膜的结构及电性能研究

采用溶胶-凝胶法制备在Pt/Ti/SiO_(2)/(100)Si基片上不同厚度的BaTi_(0.99)Fe_(0.01)O_(3)(BFTO)薄膜,研究了不同薄膜厚度对BFTO薄膜的晶体结构、介电和铁电性能的影响。在薄膜厚度低于370 nm时,BFTO薄膜呈现四方相结构,而随着厚度进一步增加,薄膜的四方性降低。随着厚度的增加,有利于提高薄膜的介电常数,而铁电性能逐渐降低。在厚度为370 nm时,薄膜具有良好的铁电性能和较低的漏电流,剩余极化Pr为12μC/cm^(2),漏电流密度为2.4×10^(-6)A/cm^(2)。