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BF_2^+注入硅栅p沟MOS场效应晶体管辐射感生界面陷阱测量
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作者 张正选 罗晋生 +2 位作者 袁仁峰 张廷庆 姜景和 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第4期350-354,共5页
利用亚阈测量技术对BF+2 注入硅栅PMOSFET辐射感生界面陷阱进行了测量。对BF+2 注入PMOSFET具有抑制辐射感生界面陷阱的机理进行了分析和讨论。
关键词 硅栅PMOSFET 辐射感生界面陷阱 MOS器件
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BF_2^+注入对PMOS晶体管开启电压的影响
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作者 黄维柱 王勇 邱晓海 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 2001年第3期46-49,共4页
文章研究了BF_2~+注入对 PMOS晶体管开启电压的影响。试验发现,在我们的工艺条件下, BF_2~+注入能量是影响 PMOS管开启电压的主要因素,能量高于 67.5Kev的 BF_2~+注入可导致开启电压正漂。而退火对开启电压正漂没有影响, F离子... 文章研究了BF_2~+注入对 PMOS晶体管开启电压的影响。试验发现,在我们的工艺条件下, BF_2~+注入能量是影响 PMOS管开启电压的主要因素,能量高于 67.5Kev的 BF_2~+注入可导致开启电压正漂。而退火对开启电压正漂没有影响, F离子也没有促进B穿透。 展开更多
关键词 ^bf2^+注入 PMOS晶体管 开启电压 CMOS器件
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BF2^+注入硅栅PMOSFETγ辐照效应 被引量:2
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作者 张廷庆 刘家璐 +1 位作者 张正选 赵元富 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第2期88-91,共4页
本文系统地研究了BF2^+注入硅栅PMOSFET阈值电压漂移与γ辐照总剂量之间的关系,深入地探讨了BF2^+注入抗γ辐照加固的机理。结果表明,BF2^+注入是一种抗γ辐照加固的新方法。
关键词 二氟化硼 离子注入 Γ辐照 硅栅PMOSFET
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硅中注入BF^+2辐射损伤的反常行为
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作者 林成鲁 李晓勤 +2 位作者 周祖尧 杨根庆 邹世昌 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 1995年第12期705-710,共6页
借助离子束背散射和沟道技术结合透射电子显微镜分析,研究了在300K和77K下硅中注入BF2+辐射损伤的反常行为.结果发现BF2+注入在硅中产生的损伤层或无定形层情况区别于其它较重离子(质量数≥27Al+)注入.在30... 借助离子束背散射和沟道技术结合透射电子显微镜分析,研究了在300K和77K下硅中注入BF2+辐射损伤的反常行为.结果发现BF2+注入在硅中产生的损伤层或无定形层情况区别于其它较重离子(质量数≥27Al+)注入.在300K下注入时,硅中引入的两个损伤峰,其中一个位于离子入射的平均投影射程附近,另一个则在近表面;在77K下注入时,硅中引入的损伤层或无定形层首先出现在近表面,随注入剂量的增加,无定形层向硅体内延伸。 展开更多
关键词 离子注入 辐射损伤 二氟化硼
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1,3,5,7-四甲基-2,6-二乙基-8-烷基取代吡咯甲川-BF_2配合物的合成及光谱特性
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作者 元以中 肖娟 +1 位作者 杨立楠 姚祖光 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 2001年第2期158-160,共3页
Three novel 8-alkyl pyrromethene-BF2 complexes have been synthesized. Their structures were confirmed by IR, MS, 1H NMR and elemental analysis. Their spectral behavior have been discussed in terms of UV-Vis and fluore... Three novel 8-alkyl pyrromethene-BF2 complexes have been synthesized. Their structures were confirmed by IR, MS, 1H NMR and elemental analysis. Their spectral behavior have been discussed in terms of UV-Vis and fluorescence spectral results, which indicate compound 4bhas a extremely high fluorescence quantum yield. 展开更多
关键词 吡咯甲川-bf2配合物 合成 光谱特性 激光染料
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