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有序排布砂轮磨削加工BK7玻璃试验研究
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作者 卜颖滨 万珍平 成雨 《湖南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期54-63,共10页
考虑磨削过程中任意相邻磨粒之间的相互作用,针对单颗磨粒进行有序排布研究,提出一种能够控制任意两颗磨粒间距的有序排布策略.经过排布后的每颗磨粒作为单独切削刃,在工件表面先后切除材料后形成沟痕.根据排布策略设计3种排布方式,任... 考虑磨削过程中任意相邻磨粒之间的相互作用,针对单颗磨粒进行有序排布研究,提出一种能够控制任意两颗磨粒间距的有序排布策略.经过排布后的每颗磨粒作为单独切削刃,在工件表面先后切除材料后形成沟痕.根据排布策略设计3种排布方式,任意相邻磨粒间距分别为-50µm、0µm、50µm,利用电化学阳极溶解在砂轮基体表面制备排布模板,上砂电镀加厚制备相应的有序排布砂轮.采用磨削运动学方法,分析磨削中的磨削力和磨削温度变化情况,通过磨削试验测量实际磨削中磨削力和磨削温度并进行分析.结果表明,磨削力与进给速度呈正相关,磨削温度与进给速度呈负相关.磨削深度和磨粒排布间距综合影响温度和磨削力的变化,当磨粒间距较小时,随磨削深度的增加,磨削温度和磨削力稳步升高;当磨粒间距较大时,随磨削深度增加,两者先稳步升高,后缓慢升高. 展开更多
关键词 磨削加工 砂轮 磨粒有序排布 磨削性能 bk7玻璃
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超声振动辅助抛光BK7过程中聚氨酯抛光垫磨损行为 被引量:1
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作者 梁赢东 牛俊开 +1 位作者 张超 于天彪 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第1期82-88,共7页
抛光光学玻璃等硬脆材料时常选用聚氨酯抛光垫,其微观形貌和磨损直接影响抛光精度和效率.本文对不同抛光时长下聚氨酯抛光垫微观形貌和磨损行为及其对材料去除率和表面粗糙度的影响进行了实验研究.结果表明:当主轴转速为8000 r/min,进... 抛光光学玻璃等硬脆材料时常选用聚氨酯抛光垫,其微观形貌和磨损直接影响抛光精度和效率.本文对不同抛光时长下聚氨酯抛光垫微观形貌和磨损行为及其对材料去除率和表面粗糙度的影响进行了实验研究.结果表明:当主轴转速为8000 r/min,进给速度为0.0150 mm/s,轴向超声振幅为5μm时,材料去除率和表面粗糙度分别为0.977μm/min和153.67 nm.聚氨酯抛光垫在30 min内磨损量较小,随着抛光时长的增加,抛光垫表面孔隙逐渐被磨粒和玻璃碎屑填充,破坏抛光垫表面的疏松多孔结构,导致抛光垫表面硬化,失去弹性.同时,侵入抛光垫表面的磨粒会阻止抛光接触区域内的磨粒更新,导致抛光质量降低. 展开更多
关键词 超声振动辅助抛光 微观形貌:抛光垫磨损 光学玻璃(bk7) 聚氨酯抛光垫
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蓝宝石晶体与N-BK7玻璃的高温界面黏着
3
作者 朱友成 杨高 龚峰 《精密成形工程》 北大核心 2023年第3期206-215,共10页
目的评估蓝宝石晶体作为玻璃热压模具的可行性。方法通过系统地开展玻璃热压试验,获知蓝宝石晶体与N-BK7玻璃在不同热压温度、载荷、保温时间条件下的界面黏着状况,并初步探究蓝宝石晶体晶向的影响。使用CCD相机、金相显微镜和场发射扫... 目的评估蓝宝石晶体作为玻璃热压模具的可行性。方法通过系统地开展玻璃热压试验,获知蓝宝石晶体与N-BK7玻璃在不同热压温度、载荷、保温时间条件下的界面黏着状况,并初步探究蓝宝石晶体晶向的影响。使用CCD相机、金相显微镜和场发射扫描电子显微镜(SEM)对热压试验后的蓝宝石晶体模具表面形貌进行表征,运用能量色散X射线光谱(EDS)对模具表面黏着物质的成分进行分析。结果热压温度是蓝宝石晶体与N-BK7玻璃界面黏着最主要的影响因素;在热压温度600~700℃、保温时间3~25 min、载荷0~1000 g的条件范围内存在不发生黏着的区域边界;在不同的条件下,蓝宝石晶体表面的黏着残留物分布也有所不同。通过选取合适的工艺参数,蓝宝石晶体在600℃以上时与N-BK7玻璃表现出较好的抗黏着性,体现了其在玻璃微纳热压印模具领域的潜在应用。结论详细揭示了蓝宝石晶体与N-BK7玻璃在不同热压温度、保温时间、载荷下的界面黏着状况,并且成功地将蓝宝石晶体模具表面的微结构复制到了N-BK7玻璃上,为蓝宝石晶体用于玻璃微纳热压印模具提供了试验依据。 展开更多
关键词 蓝宝石晶体 N‒bk7玻璃 热压 界面黏着 正交试验
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Simulation and Experiment of Double Grits Interacting Scratch for Optical Glass BK7
4
作者 张飞虎 李琛 +2 位作者 ZHAO Hang LENG Bing REN Lele 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2018年第1期15-22,共8页
The elastic-plastic transition regime and brittle-ductile transition regime in scratch process for optical glass BK7 were analyzed based on the Hertzian equation and the stress ratio theory which was proposed by Wei. ... The elastic-plastic transition regime and brittle-ductile transition regime in scratch process for optical glass BK7 were analyzed based on the Hertzian equation and the stress ratio theory which was proposed by Wei. The interacting scratch process for optical glass BK7 with the grit interval distance as the variable was simulated by the ABAQUS software of finite element simulation based on the energy fracture theory. Double grits interacting scratch test for optical glass BK7 was carried out on the DMG ULTRASONIC 70-5 linear, by which the reliability of finite element simulation was verified. The surface morphology of the workpiece was analyzed by scanning electron microscopy(SEM), which showed that the width of groove increased obviously with the increase of scratch depth and the grit interval distance. Results of the width of groove were consistent with the simulation results. The subsurface damage layer was analyzed by the method of HF acid etching, which showed that there was an area of cracks intersecting. The scratching force was measured by the threedimensional dynamometer of KISTLER, which showed that the second scratching force increased with the increase of scratching depth and the grit interval distance. The force in the second scratch was smaller than that in the first time, which was consistent with the Griffith fracture theory. 展开更多
关键词 double grits interacting scratch optical glass bk7 groove width second scratching force
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基于神经网络和遗传算法的BK7玻璃精密模压成形多目标优化
5
作者 罗和喜 李康森 周志文 《机电工程技术》 2023年第1期119-125,共7页
残余应力和形貌偏差是玻璃模压成形影响整体质量的重要指标,而影响这些指标的成型条件是一个多因素问题。为了得到玻璃精密模压成形过程中成形透镜的残余应力和形貌偏差的极小值,以模压成形工艺参数为决策对象,以玻璃透镜产品质量为优... 残余应力和形貌偏差是玻璃模压成形影响整体质量的重要指标,而影响这些指标的成型条件是一个多因素问题。为了得到玻璃精密模压成形过程中成形透镜的残余应力和形貌偏差的极小值,以模压成形工艺参数为决策对象,以玻璃透镜产品质量为优化目标,对成形工艺参数进行多目标优化分析,优选出最终结果。首先基于仿真与实验结合对玻璃成形过程进行分析验证,然后采用正交实验方法选择合理参数,用有限元技术得到模压成形透镜实验样本的最大残余应力、成形应力、最大形貌偏差,并使用方差统计分析方法降维筛选出主要成分,建立合理的分析主参数,接着利用人工神经网络映射成形工艺参数与优化目标间的关系,建立工艺优化的数学模型,最后利用遗传算法寻找最优解。结果表明提出的基于人工神经网络和遗传算法的BK7玻璃精密模压成形工艺优化方法是有效可靠的。 展开更多
关键词 bk7玻璃 模压成形 人工神经网络 遗传算法 有限元技术
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光学玻璃磨削亚表面损伤预测模型及DOE实验设计
6
作者 杨晓辉 周凌宇 +1 位作者 刘宁 孟宪宇 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2024年第3期520-525,共6页
为了掌握光学玻璃材料杯型砂轮研磨与表面粗糙度(SR)和亚表面损伤(SSD)机理,本文建立BK7光学玻璃杯型砂轮研磨表面粗糙度的预测模型,通过改变磨削参数来研究对表面粗糙度的影响。设计DOE试验,研究影响SR与SSD的显著性特征因子,并分析了... 为了掌握光学玻璃材料杯型砂轮研磨与表面粗糙度(SR)和亚表面损伤(SSD)机理,本文建立BK7光学玻璃杯型砂轮研磨表面粗糙度的预测模型,通过改变磨削参数来研究对表面粗糙度的影响。设计DOE试验,研究影响SR与SSD的显著性特征因子,并分析了各因子的交互作用。实验结果表明预测模型的可靠性,得到表面粗糙度的预测模型数据与实验数据的平均误差为5.47%。采用角抛光法,通过电子显微镜观测表面裂纹,并测量裂纹的深度。最后,基于Li的模型,建立基于磨削工艺参数的亚表面损伤的新预测模型。实验结果表明:实验和预测模型结果具有很好的一致性,模型数据与实验数据的平均误差为6.19%,并且新预测模型结果要优于Li的模型。 展开更多
关键词 表面粗糙度 亚表面损伤 bk7光学玻璃 预测模型 杯形砂轮磨削 DOE实验设计
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BK7光学玻璃金刚石划刻声发射信号的特征提取 被引量:7
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作者 毕果 许涛林 +1 位作者 彭云峰 郭昕乾 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第4期934-942,共9页
以金刚石压头划刻BK7光学玻璃为研究对象,分析了脆性材料脆性去除过程中的声发射机制,研究了声发射信号的特征提取技术。多种切深实验显示:BK7光学玻璃发生脆性去除的特征主要集中在[100,200]kHz、[300,400]kHz两个频段,对应不同的声发... 以金刚石压头划刻BK7光学玻璃为研究对象,分析了脆性材料脆性去除过程中的声发射机制,研究了声发射信号的特征提取技术。多种切深实验显示:BK7光学玻璃发生脆性去除的特征主要集中在[100,200]kHz、[300,400]kHz两个频段,对应不同的声发射机制,其中[100,200]kHz频带的滤波信号呈现明显的、时间间歇的突发式声发射现象,与脆性材料裂纹的生成与扩展密切相关。基于上述实验结果,提出了以突发式声发射事件为单位的特征监测方法。针对该带通滤波信号的均方根值(RMS),研究了基于凸优化理论的声发射事件识别算法,得到了脆性材料裂纹扩展的时刻及能量信息。得到的结果表明:以声发射事件为单位的特征监测具有明确的物理意义,能够更加客观地表征脆性材料的去除过程。 展开更多
关键词 bk7光学玻璃 金刚石刻划 声发射信号 特征提取 状态监测
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磁性复合流体分散性及其对BK7光学玻璃抛光性能的影响 被引量:6
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作者 姜晨 时培兵 +1 位作者 李佳音 张勇斌 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第5期24-33,共10页
针对BK7光学玻璃材料去除率和抛光质量不断提高的需求,提出通过减少磁性复合流体(MCF)抛光液颗粒的团聚、提高MCF分散性,配制性能优良的抛光液,提高BK7光学玻璃的MCF抛光性能.MCF中添加不同质量分数的高分子类分散剂聚乙烯醇(PVA),采用... 针对BK7光学玻璃材料去除率和抛光质量不断提高的需求,提出通过减少磁性复合流体(MCF)抛光液颗粒的团聚、提高MCF分散性,配制性能优良的抛光液,提高BK7光学玻璃的MCF抛光性能.MCF中添加不同质量分数的高分子类分散剂聚乙烯醇(PVA),采用激光粒度分布仪测试MCF抛光液中颗粒的粒径分布和中位粒径,探究不同PVA浓度的抛光液对BK7光学玻璃抛光性能的影响.试验结果表明:当PVA质量分数为3%时,中位粒径达到最小值5.854μm,MCF的分散性最好,对光学玻璃的抛光性能大幅提高,当PVA质量分数为5%时,经MCF抛光10min后材料去除率达到最大值26.4×10^-4g/min,表面粗糙度达到最小值8.23nm.MCF中添加适量PVA能够减少抛光液颗粒的团聚,提高MCF的分散性,提升BK7光学玻璃的磁性复合流体抛光性能. 展开更多
关键词 bk7光学玻璃 MCF抛光液 分散性 中位粒径 材料去除率 表面粗糙度
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金刚石磨粒超声振动刻划BK7玻璃的亚表面损伤研究 被引量:1
9
作者 王洋 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2020年第1期29-33,共5页
针对光学玻璃磨削加工中出现的加工困难、工件表面质量较差以及工件内部损伤严重等问题,提出超声振动辅助加工方法对BK7玻璃进行刻划,研究超声振动功率、刻划速度和刻划深度对亚表面裂纹的影响规律。研究结果表明:超声刻划相比于普通刻... 针对光学玻璃磨削加工中出现的加工困难、工件表面质量较差以及工件内部损伤严重等问题,提出超声振动辅助加工方法对BK7玻璃进行刻划,研究超声振动功率、刻划速度和刻划深度对亚表面裂纹的影响规律。研究结果表明:超声刻划相比于普通刻划,亚表面裂纹深度最大下降了19.7%;随着刻划速度的增大,刻划后沟槽底部的亚表面裂纹最大深度逐渐增大;随着沟槽截取深度的增加,亚表面裂纹最大深度整体上呈逐渐上升的趋势并出现明显的分级情况。 展开更多
关键词 超声振动加工 bk7玻璃 有限元仿真 亚表面裂纹
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石英和BK7玻璃的离子束刻蚀特性研究 被引量:6
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作者 王旭迪 刘颖 +2 位作者 徐向东 洪义麟 付绍军 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期397-400,共4页
石英和BK7玻璃是常用的光学材料和微系统材料。用Ar作为工作气体对石英和BK7玻璃及其掩模材料AZ135 0的离子束刻蚀特性进行了研究 ,分析了离子能量、离子束流密度和离子束入射角等几种因素对刻蚀速率和选择比的影响 ,结合相关理论得到... 石英和BK7玻璃是常用的光学材料和微系统材料。用Ar作为工作气体对石英和BK7玻璃及其掩模材料AZ135 0的离子束刻蚀特性进行了研究 ,分析了离子能量、离子束流密度和离子束入射角等几种因素对刻蚀速率和选择比的影响 ,结合相关理论得到了相应的刻蚀速率拟合方程。AFM测量结果表明刻蚀工艺对材料的低损伤。由于与光刻胶的刻蚀选择比较低 ,随着石英和BK7玻璃刻蚀深度的增加 ,图形转移精度下降。因此提高刻蚀选择比是获得高分辨率图形的前提。 展开更多
关键词 BK 刻蚀速率 离子束刻蚀 刻蚀工艺 掩模 图形转移 刻蚀深度 入射角 束流 光学材料
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飞秒激光照射银离子掺杂的BK7光学玻璃的显微结构变化
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作者 丁婷 鲍家兴 +2 位作者 王丽 周时凤 邱建荣 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期807-810,共4页
使用聚焦的800nm,120fs,1kHz的超短脉冲激光在掺Ag^+的BK7玻璃内部空间选择性地写入了光栅结构,然后将样品在不同温度下进行热处理.吸收光谱表明,BK7玻璃在飞秒激光照射后产生了氧空位色心,在575℃热处理后析出了银纳米颗粒.光栅的衍射... 使用聚焦的800nm,120fs,1kHz的超短脉冲激光在掺Ag^+的BK7玻璃内部空间选择性地写入了光栅结构,然后将样品在不同温度下进行热处理.吸收光谱表明,BK7玻璃在飞秒激光照射后产生了氧空位色心,在575℃热处理后析出了银纳米颗粒.光栅的衍射效率随热处理温度的升高而减小,在575℃后又开始升高.用光学显微镜观察了光栅的结构变化并对现象产生的机制进行了分析. 展开更多
关键词 bk7玻璃 飞秒激光 照射 衍射效率
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CF_4/CHF_3反应刻蚀石英和BK7玻璃
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作者 黄长杰 王旭迪 +1 位作者 汪力 胡焕林 《真空》 CAS 北大核心 2005年第4期49-51,共3页
用CF4/CHF3作为工作气体对石英和BK 7玻璃进行了研究,分析了气体组分、气体流量和射频偏压等几种因素对刻蚀速率的影响,结果表明刻蚀速率与射频偏压的均方根成正比。在1 CF4∶1CHF3的等离子体中由于与光刻胶良好的刻蚀选择比,在石英基... 用CF4/CHF3作为工作气体对石英和BK 7玻璃进行了研究,分析了气体组分、气体流量和射频偏压等几种因素对刻蚀速率的影响,结果表明刻蚀速率与射频偏压的均方根成正比。在1 CF4∶1CHF3的等离子体中由于与光刻胶良好的刻蚀选择比,在石英基片上获得了侧壁陡直的槽形。用光学表面轮廓仪观测的结果表明偏压的增加和过高的气体流量易使基片表面质量下降。 展开更多
关键词 石英 bk7玻璃 反应刻蚀 刻蚀速率 图形转移 表面质量
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基于概率统计的BK7玻璃磨削亚表层损伤深度在线预测技术 被引量:4
13
作者 吕东喜 陈明达 +2 位作者 姚友强 赵岳 祝颖丹 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第1期102-109,共8页
为了在线预测硬脆材料磨削加工引起的亚表面损伤深度,本文利用概率统计法对磨粒高度进行分析,建立了刀具切削力与亚表层裂纹扩展深度之间的理论关系模型。首先,基于硬脆材料的压痕断裂力学理论,分析了中位裂纹扩展长度与磨粒压痕深度之... 为了在线预测硬脆材料磨削加工引起的亚表面损伤深度,本文利用概率统计法对磨粒高度进行分析,建立了刀具切削力与亚表层裂纹扩展深度之间的理论关系模型。首先,基于硬脆材料的压痕断裂力学理论,分析了中位裂纹扩展长度与磨粒压痕深度之间的内在关联。随后,对刀具端面边缘的磨粒数目进行了数理统计,建立了刀具切削力与单个磨粒切削深度之间的理论关系。在此基础上,提出了工件亚表层损伤深度的在线预测模型SSDmax=1.284×SSDmax theo-36.23,并结合BK7玻璃的实际磨削实验验证了其正确性。通过对比实验结果与理论模型的预测结果发现,该方法可以在线、准确地预测磨削加工引起的工件亚表层损伤深度。 展开更多
关键词 亚表层损伤深度 中位裂纹 在线预测 概率统计 bk7玻璃
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基于SPH方法的单颗粒磨削BK7光学玻璃仿真分析
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作者 刘瑞虎 郭鹏举 +1 位作者 张辉 刘永胜 《南方农机》 2022年第7期131-132,147,共3页
为了研究不同磨削参数下单颗粒磨削对BK7光学玻璃材料去除机理的影响规律,采用SPH(光滑粒子流体动力学)方法,将金刚石磨粒理想化为圆锥形,通过改变不同磨削参数对材料去除过程和磨削力进行了分析。结果表明:1)磨削过程中BK7光学玻璃主... 为了研究不同磨削参数下单颗粒磨削对BK7光学玻璃材料去除机理的影响规律,采用SPH(光滑粒子流体动力学)方法,将金刚石磨粒理想化为圆锥形,通过改变不同磨削参数对材料去除过程和磨削力进行了分析。结果表明:1)磨削过程中BK7光学玻璃主要是通过脆性方式去除的;2)随着磨削深度的增大,磨削力不断增大;3)随着磨削速度的增大,磨削力先增大后减小,当磨削速度达到超高速时,磨削速度的变化对磨削力影响甚微。 展开更多
关键词 SPH方法 单颗粒磨粒 bk7光学玻璃 磨削力
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光学玻璃超声振动磨削亚表面损伤的试验研究 被引量:10
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作者 周明 黄铖 +1 位作者 赵培轶 黄劭楠 《工具技术》 北大核心 2017年第7期15-19,共5页
进行光学玻璃BK7超声振动辅助磨削试验,采用截面抛光法配合HF酸腐蚀法并通过扫描电子显微镜观测获得亚表面裂纹的最大深度,研究了主轴转速、磨削深度、进给速度和超声振动振幅对亚表面损伤裂纹最大深度的影响规律,分析了亚表面裂纹的几... 进行光学玻璃BK7超声振动辅助磨削试验,采用截面抛光法配合HF酸腐蚀法并通过扫描电子显微镜观测获得亚表面裂纹的最大深度,研究了主轴转速、磨削深度、进给速度和超声振动振幅对亚表面损伤裂纹最大深度的影响规律,分析了亚表面裂纹的几种形态及其成因。结果表明,随着主轴转速和超声振动振幅增大,磨削深度及进给速度减小,亚表面最大裂纹深度明显减小。超声振动的引入改善了磨削时的加工条件,对提高加工表面及亚表面的质量有一定帮助。 展开更多
关键词 光学玻璃bk7 超声振动磨削 亚表面损伤
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硬脆材料孔加工出口破损形成机理
16
作者 吕东喜 陈刚 +4 位作者 赵德刚 高聪 徐海兵 郭启涛 祝颖丹 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第1期110-116,共7页
为研究BK7玻璃孔加工过程中出口破损的形成机理,本文在对破损形貌进行显微观测的基础上,基于断裂力学理论,分析了工件加工面所受载荷随裂纹扩展过程的演变规律及其对出口破损形成过程的影响;采用光滑质点流体动力学法对出口破损的形成... 为研究BK7玻璃孔加工过程中出口破损的形成机理,本文在对破损形貌进行显微观测的基础上,基于断裂力学理论,分析了工件加工面所受载荷随裂纹扩展过程的演变规律及其对出口破损形成过程的影响;采用光滑质点流体动力学法对出口破损的形成过程进行了数值模拟,研究了出口破损的形成机理。结果表明:出口破损可分为初始裂纹区及扩展裂纹区,挤压载荷和弯矩的耦合作用驱使初始裂纹沿圆周方向扩展,显著增加了裂纹的倾斜角度和破损宽度,导致破损表面产生大量散射状条纹;借助光滑质点流体动力学法实现了对出口破损形成及脱落过程的数值模拟,发现初始裂纹贯穿整个未穿透厚度,刀具的瞬时切削力减小了78%;并且随着裂纹间歇性地沿圆周方向扩展,刀具切削力呈现出剧烈的周期性波动特征。 展开更多
关键词 超精密加工 bk7玻璃 孔钻削 出口破损 光滑质点流体动力学法
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玻璃孔加工入口破损形成机理
17
作者 吕东喜 张远明 沈圣成 《华南理工大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第7期79-84,共6页
为研究BK7玻璃孔加工过程中入口破损的形成机理,在对破损形貌进行显微观测的基础上,分析了单个磨粒的动力学特性及刀具端面上磨粒的分布特征,对单个破损的深度和宽度进行了测量与分析,并借助于压痕断裂力学理论研究了边缘破损及破损表... 为研究BK7玻璃孔加工过程中入口破损的形成机理,在对破损形貌进行显微观测的基础上,分析了单个磨粒的动力学特性及刀具端面上磨粒的分布特征,对单个破损的深度和宽度进行了测量与分析,并借助于压痕断裂力学理论研究了边缘破损及破损表面散射状条纹的形成机理.结果表明:刀具端面上不同磨粒距离边沿的距离不同,其联合刻划作用导致侧向裂纹扩展至孔径之外,使得孔入口破损呈现出参差不齐分布特征;在侧向裂纹形成过程中,材料受力状态的改变导致破损表面出现了大量散射状条纹;利用压痕断裂力学理论建立的入口破损深度与宽度之间的理论关系模型的正确性经实验得以验证,破损深度随其宽度呈非线性单调递增. 展开更多
关键词 bk7玻璃 孔加工 磨粒 入口破损 侧向裂纹 断裂力学理论
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铜离子交换单步掩埋BK7玻璃波导的制备与表征 被引量:1
18
作者 王鹏飞 郑杰 +1 位作者 鄂书林 G.C.Righini 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第10期1252-1256,共5页
利用Cu离子交换技术制备了BK7玻璃平面光波导,在6328nm波长下,用棱镜耦合技术测量出所制备波导的有效折射率,利用反WKB方法计算并确定了平面光波导的折射率分布,通过对折射率分布进行函数拟合,发现离子交换后的样品折射率分布近似符合... 利用Cu离子交换技术制备了BK7玻璃平面光波导,在6328nm波长下,用棱镜耦合技术测量出所制备波导的有效折射率,利用反WKB方法计算并确定了平面光波导的折射率分布,通过对折射率分布进行函数拟合,发现离子交换后的样品折射率分布近似符合改进后的高斯分布,样品的折射率分布似乎是一个掩埋波导的折射率分布,求出所制备玻璃平面光波导在570℃的扩散系数De≈12133×10-14m2s。同时,对所制备波导进行了电子显微镜(EMS)和次级离子质谱(SIMS)测试,得到了铜离子在玻璃表面的浓度分布,从而证明了实验所得到的BK7玻璃平面光波导是掩埋波导。这种掩埋平面波导是由单步Cu离子交换技术得到的。 展开更多
关键词 集成光学 Cu离子交换 单步掩埋光波导 bk7玻璃
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