掺钠钛酸铋薄膜的制备及主要性能的研究

采用金属有机溶液分解法(MOSD)在SiO2/p-Si(111)衬底上制备了Bi3.25Na2.25Ti3O12(BNaT)薄膜。利用X-射线衍射技术研究了薄膜的结构和结晶性,同时还研究了不同退火温度对漏电流、积累态电容、损耗因子的影响及薄膜的I-V、C-V和-εf性能。