溶胶-凝胶法制备(Ba,Sr,Ca)TiO_3薄膜及其介电调谐性能分析

本文采用溶胶-凝胶法在Pt(111)/TiO2/SiO2/Si衬底上制备了(Ba0.6Sr0.4)1-xCaxTiO3(BSCT)(x=0,0.1,0.2,0.3,0.4)薄膜。XRD及SEM结果表明表明,薄膜结晶良好,形成单一的钙钛矿结构,没有明显的裂缝。薄膜厚度大约为500nm。从介电常数和直流偏压电场的关系曲线上并没有滞后现象,这说明BSCT薄膜处于顺电相。随着x的增加,薄膜的介电常数、介电损耗和调谐率都有所下降,而优值有所提高。J-V特性表明Ca的加入显著降低了薄膜的漏电流。