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Y^(3+)掺杂BST/ZrO_2复合薄膜的制备及介电性能研究
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作者 姜楠 刘军 +4 位作者 洪玮 张娟 吴伟骏 林鹏飞 骆英 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第7期1963-1969,共7页
运用溶胶-凝胶法在Si/SiO_2/Ti/Pt基底上制备了掺杂不同量的Y^(3+)的单层Ba_(0.65)Sr_(0.35)TiO_3(BST)薄膜和并联结构的BST/ZrO_2复合薄膜。研究发现:当BST溶胶中掺入了适量的Y^(3+)后,制备的单层BST的表面形貌得到改善,介电性能提高;... 运用溶胶-凝胶法在Si/SiO_2/Ti/Pt基底上制备了掺杂不同量的Y^(3+)的单层Ba_(0.65)Sr_(0.35)TiO_3(BST)薄膜和并联结构的BST/ZrO_2复合薄膜。研究发现:当BST溶胶中掺入了适量的Y^(3+)后,制备的单层BST的表面形貌得到改善,介电性能提高;掺杂的Y^(3+)为1mol%时单层BST薄膜介电性能最佳,介电常数为400.53;介电损耗为0.0125。BST/ZrO_2复合薄膜的电容值相对于单层BST薄膜得到明显提高,当烧结温度为750℃时,BST/ZrO_2复合薄膜综合介电性能最佳,介电常数790.12;介电损耗达到0.051。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 bst薄膜 bst/zro2复合薄膜 介电性能
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ZrO_2/rGO多层复合薄膜的构筑及其摩擦学性能研究 被引量:3
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作者 密永娟 杨志刚 +2 位作者 王赵锋 王金清 杨生荣 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期477-481,共5页
将层层自组装(LBL)技术与原位还原过程相结合在单晶硅片表面成功构筑了与基底结合牢固、性能优异的氧化锆/还原氧化石墨烯(ZrO2/rGO)多层纳米复合薄膜.试验中,引入了具有强附着性和还原性的物质-多巴胺,使得氧化石墨烯(GO)片的表面锚固... 将层层自组装(LBL)技术与原位还原过程相结合在单晶硅片表面成功构筑了与基底结合牢固、性能优异的氧化锆/还原氧化石墨烯(ZrO2/rGO)多层纳米复合薄膜.试验中,引入了具有强附着性和还原性的物质-多巴胺,使得氧化石墨烯(GO)片的表面锚固和原位还原可以一步完成.另外,ZrO2粒子的表面组装通过简单、温和的溶液沉积过程来实现.结果证明:复合薄膜中rGO和ZrO2的引入以及多层结构的构筑赋予复合薄膜许多优异的性能.在不进行热处理的情况下,所构筑的ZrO2/rGO多层薄膜表现出优异的力学性能(硬度:11.54 GPa)和摩擦学性能(摩擦系数:0.12~0.17),可作为减摩抗磨涂层被用于微/纳机电系统(MEMS/NEMS)的表面保护和其他领域. 展开更多
关键词 zro2/rGO多层纳米复合薄膜 聚多巴胺 层层自组装 摩擦学性质
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电子束共蒸发Al_2O_3-La_2O_3和ZrO_2-Ta_2O_5复合薄膜的介电性能研究
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作者 陈涛 林明通 +6 位作者 张羿 刘红君 周团团 楼均辉 陈晨曦 肖田 李荣玉 《现代显示》 2009年第12期22-24,28,共4页
Al2O3、ZrO2、Ta2O5和La2O3薄膜在栅介质、无机EL介质和光学薄膜方面有着重要用途,但对其复合薄膜介电性能方面的研究很少。文章采用电子束共蒸发法制备了厚度分别为414nm和143nm的Al2O3-La2O3(ALO)和ZrO2-Ta2O5(ZTO)复合薄膜,用Sawyer-... Al2O3、ZrO2、Ta2O5和La2O3薄膜在栅介质、无机EL介质和光学薄膜方面有着重要用途,但对其复合薄膜介电性能方面的研究很少。文章采用电子束共蒸发法制备了厚度分别为414nm和143nm的Al2O3-La2O3(ALO)和ZrO2-Ta2O5(ZTO)复合薄膜,用Sawyer-Tower电路测得介电常数分别为17和34,反映介电损耗的参数△Vy分别为0.013V和0.56V,击穿场强分别为128MV/m和175MV/m,在50MV/m场强下,ALO的正、反向漏电流密度分别为3.1×10-5A/cm2和4.1×10-5A/cm2,ZTO的正、反向漏电流密度分别为3.9×10-5A/cm2和3.7×10-5A/cm2。另外,实验还与电子束蒸发和反应溅射制备的Al2O3、ZrO2、Ta2O5的介电性能做了比较,结果表明,上述复合薄膜单独作为无机EL绝缘层是不合适的。 展开更多
关键词 电子束共蒸发 Al2O3-La2O3复合薄膜 zro2-Ta2O5 复合薄膜 介电性能
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ZrO_2功能性混合溶胶薄膜的抗红外隔热性能的研究
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作者 朱超 郑儒海 《国外建材科技》 2006年第3期19-21,共3页
以表面具有螯合官能团的高分子材料-Poly(BA-co-GMA-IDA)为高分子液体模板制备了ZrO2功能性溶胶复合薄膜。含ZrO2功能性混合溶胶薄膜在全棉类面料上表现出明显的隔热效果,对蓝、绿、红、白色布料降温可达2~5 ℃,对黑色布料的降温效... 以表面具有螯合官能团的高分子材料-Poly(BA-co-GMA-IDA)为高分子液体模板制备了ZrO2功能性溶胶复合薄膜。含ZrO2功能性混合溶胶薄膜在全棉类面料上表现出明显的隔热效果,对蓝、绿、红、白色布料降温可达2~5 ℃,对黑色布料的降温效果更高达8 ℃左右.在制备具有抗紫外、近红外功能的凉爽型纤维及织物方面具有良好的市场前景。 展开更多
关键词 zro2功能性混合溶胶 复合薄膜 隔热性能
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溶胶—凝胶法制备Al2O3-ZrO2-SiO2复合薄膜
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作者 王黔平 田秀淑 康艳 《水处理信息报导》 2004年第6期60-60,共1页
本文采用溶胶—凝胶法以异丙醇铝、正硅酸乙酯和氧氯化锆为原料,HNO3为催化剂,PVA为成膜助剂,在多孔陶瓷管上制得了Al2O3-ZrO2-SiO2复合薄膜。研究了组分配比对溶胶性质的影响,结果表明Al2O3-ZrO2-SiO2在8:1:2~12:1:2之间时可... 本文采用溶胶—凝胶法以异丙醇铝、正硅酸乙酯和氧氯化锆为原料,HNO3为催化剂,PVA为成膜助剂,在多孔陶瓷管上制得了Al2O3-ZrO2-SiO2复合薄膜。研究了组分配比对溶胶性质的影响,结果表明Al2O3-ZrO2-SiO2在8:1:2~12:1:2之间时可得到性能符合要求的溶胶, 展开更多
关键词 zro2 Al2O3 SiO2 异丙醇铝 溶胶—凝胶法 成膜助剂 复合薄膜 HNO3 性质 正硅酸乙酯
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