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BTO NWs/PVDF柔性复合薄膜的制备及其压电性能研究
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作者 郭凡 李银辉 +2 位作者 马俊格 梁建国 李朋伟 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第3期389-396,402,共9页
该文通过两步水热法制备了钛酸钡纳米线(BTO NWs),采用旋涂法与聚偏氟乙烯(PVDF)复合制备BTO NWs/PVDF复合薄膜。系统地研究了水热反应中不同NaOH浓度、不同反应时间及不同BTO NWs掺杂量对BTO NWs/PVDF复合薄膜压电输出性能的影响,并与... 该文通过两步水热法制备了钛酸钡纳米线(BTO NWs),采用旋涂法与聚偏氟乙烯(PVDF)复合制备BTO NWs/PVDF复合薄膜。系统地研究了水热反应中不同NaOH浓度、不同反应时间及不同BTO NWs掺杂量对BTO NWs/PVDF复合薄膜压电输出性能的影响,并与商用钛酸钡纳米球(BTO NPs)制备的BTO NPs/PVDF复合薄膜进行了压电性能对比。结果表明,当NaOH浓度为10 mol/L,反应时间为10 h时,BTO NWs/PVDF复合薄膜开路电压和短路电流分别可达5.42 V和1.81μA。当BTO NWs掺杂量(质量分数)为20%时,复合压电薄膜的开路电压可达9.34 V,短路电流可达2.15μA,分别是BTO NPs/PVDF复合薄膜输出电压和电流的1.92倍和1.49倍。当负载电阻值为5 MΩ时,BTO NWs/PVDF复合薄膜输出功率可达1.44μW。经过4000次循环敲击测试,BTO NWs/PVDF复合薄膜表现出良好的机械稳定性,其有望在自供电器件、柔性可穿戴电子设备等领域得到广泛应用。 展开更多
关键词 钛酸钡纳米线(bto NWs) 聚偏氟乙烯(PVDF) 复合压电薄膜 输出特性
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鱼明胶/BTO柔性复合薄膜的压电纳米发电机
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作者 李勇 李银辉 +2 位作者 梁建国 张锦 李朋伟 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第3期392-398,共7页
基于压电陶瓷和压电聚合物组装的柔性压电纳米发电机(PNG),由于其较差的生物相容性和生物降解性,限制了其在可穿戴设备和植入设备等领域的应用。通过水基分散法制备了鱼明胶/钛酸钡(BTO)柔性复合薄膜PNG,其兼具良好的生物相容性和高压... 基于压电陶瓷和压电聚合物组装的柔性压电纳米发电机(PNG),由于其较差的生物相容性和生物降解性,限制了其在可穿戴设备和植入设备等领域的应用。通过水基分散法制备了鱼明胶/钛酸钡(BTO)柔性复合薄膜PNG,其兼具良好的生物相容性和高压电输出特性。研究结果表明,当BTO掺杂质量分数为50%时,鱼明胶/BTO柔性复合薄膜PNG的输出性能最优,输出开路电压可达约7.2 V,短路电流约为275 nA,比纯鱼明胶柔性薄膜PNG分别约提高了3.8倍和3.4倍,输出功率可达2.2μW,并且鱼明胶/BTO柔性复合薄膜PNG经过2000次循环敲击测试后,输出开路电压没有明显下降,柔性复合薄膜PNG的输出性能稳定。同时,将鱼明胶/BTO柔性复合薄膜PNG贴合到手指关节处,可以对不同手指弯曲进行实时监测,表明该鱼明胶/BTO柔性复合薄膜PNG具有良好的柔性和生物相容性,有望在可植入和可穿戴电子设备中得到广泛应用。 展开更多
关键词 压电纳米发电机(PNG) 鱼明胶 钛酸钡(bto) 柔性 生物相容性 可穿戴电子设备 复合薄膜
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钛酸钡基阻变存储单元的构建及其特性
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作者 郝瑞 刘越 刘贵山 《大连工业大学学报》 CAS 2024年第1期51-55,共5页
采用磁控溅射在低阻态Si(100)衬底上制备均匀的钛酸钡(BTO)薄膜,通过磁控溅射制备Ag电极,构建Si(100)/BTO/Ag阻变存储单元。利用XRD,SEM和AFM对不同退火温度和保温时间下的BTO薄膜结构和形貌进行表征,利用数字源表对Si(100)/BTO/Ag阻变... 采用磁控溅射在低阻态Si(100)衬底上制备均匀的钛酸钡(BTO)薄膜,通过磁控溅射制备Ag电极,构建Si(100)/BTO/Ag阻变存储单元。利用XRD,SEM和AFM对不同退火温度和保温时间下的BTO薄膜结构和形貌进行表征,利用数字源表对Si(100)/BTO/Ag阻变存储单元进行阻变性能测试。结果表明,退火温度750℃、保温0.5 h条件下制备的BTO薄膜结晶度最高,薄膜表面晶体颗粒呈均匀分布,构建的Si(100)/BTO/Ag阻变存储单元阻变性能最佳,呈现典型的双极性开关效应。 展开更多
关键词 磁控溅射 bto薄膜 阻变存储单元 阻变性能
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采用氧化物复合底电极的BTO薄膜结构和性能
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作者 尹章 张鹰 +1 位作者 朱俊 李言荣 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2007年第4期50-52,共3页
用球磨法制备Bi4Ti3O1(2BTO)靶材。用PLD法在Pt/TiO2/SiO2/Si基片上先分别以三种氧化物SrRuO(3SRO)、LaSrCoO3(LSCO)、LaNiO3(LNO)和Pt生成复合底电极,再在其上生长了外延取向的BTO薄膜。分析了薄膜的结构和性能。结果表明,这种BTO薄膜... 用球磨法制备Bi4Ti3O1(2BTO)靶材。用PLD法在Pt/TiO2/SiO2/Si基片上先分别以三种氧化物SrRuO(3SRO)、LaSrCoO3(LSCO)、LaNiO3(LNO)和Pt生成复合底电极,再在其上生长了外延取向的BTO薄膜。分析了薄膜的结构和性能。结果表明,这种BTO薄膜的c轴取向得到抑制,其极化强度从0.45×10–6C/cm2提高到0.9×10–6C/cm2;矫顽场强从90×103V/cm下降到50×103V/cm。 展开更多
关键词 无机非金属材料 铁电材料 bto薄膜 PLD 氧化物复合底电极 电滞回线 疲劳特性
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PLD法制备0-3型xNZF-(1-x)BTO多铁复合薄膜及其极化行为研究(英文) 被引量:1
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作者 张荣芬 郭凯鑫 《贵州大学学报(自然科学版)》 2017年第6期14-20,共7页
在采用传统固相烧结工艺制备0-3型x Ni_(0.7)Zn_(0.3)Fe_2O_4-(1-x)BaTiO_3(x=0.00,0.15,0.30,0.45)多铁复合陶瓷靶材和采用PLD技术探索纯相BaTiO_3薄膜溅射工艺的基础上,本文在不同激光能量条件下分别在Pt(111)/Ti/SiO_2/Si、0.5%铌掺... 在采用传统固相烧结工艺制备0-3型x Ni_(0.7)Zn_(0.3)Fe_2O_4-(1-x)BaTiO_3(x=0.00,0.15,0.30,0.45)多铁复合陶瓷靶材和采用PLD技术探索纯相BaTiO_3薄膜溅射工艺的基础上,本文在不同激光能量条件下分别在Pt(111)/Ti/SiO_2/Si、0.5%铌掺杂的钛酸锶(STO:0.5%Nb)和钌酸锶(SRO)衬底上制备了相应配比的0-3型xNi_(0.7)Zn_(0.3)Fe_2O_4-(1-x)BaTiO_3(x=0.15,0.3,0.45)复合薄膜。然后详细研究了这些复合薄膜的极化行为和影响因素,以期获得更优化的PLD工艺参数。 展开更多
关键词 脉冲激光沉积 镍锌铁氧体-钛酸钡 极化 过程参数
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Strongly enhanced flux pinning in the YBa_2Cu_3O_(7-X) films with the co-doping of Ba TiO_3 nanorod and Y_2O_3 nanoparticles at 65 K 被引量:1
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作者 王洪艳 丁发柱 +1 位作者 古宏伟 张腾 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第9期497-501,共5页
YBa2Cu3O7-x(YBCO) films with co-doping BaTiO3(BTO) and Y2O3 nanostructures were prepared by metal organic deposition using trifluoroacetates(TFA-MOD). The properties of the BTO/Y2O3co-doped YBCO films with diffe... YBa2Cu3O7-x(YBCO) films with co-doping BaTiO3(BTO) and Y2O3 nanostructures were prepared by metal organic deposition using trifluoroacetates(TFA-MOD). The properties of the BTO/Y2O3co-doped YBCO films with different excess yttrium have been systematically studied by x-ray diffraction(XRD), Raman spectra, and scanning electron microscope(SEM). The optimized content of yttrium excess in the BTO/Y2O3co-doped YBCO films is 10 mol.%, and the critical current density is as high as - 17 mA/cm^2(self-field, 65 K) by the magnetic signal. In addition, the Y2Cu2O5 was formed when the content of yttrium excess increases to 24 mol.%, which may result in the deterioration of the superconducting properties and the microstructure. The unique combination of the different types of nanostructures of BTO and Y2O3 in the doped YBCO films, compared with the pure YBCO films and BTO doped YBCO films, enhances the critical current density(JC) not only at the self-magnetic field, but also in the applied magnetic field. 展开更多
关键词 YBa2Cu3O7-x(YBCO) film flux pinning BaTiO3(bto and Y2O3 nanostructures metal organic deposition using trifluoroacetates(TFA-MOD
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金属与金属氧化物复合靶制备Bi_4Ti_3O_(12)薄膜
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作者 周正国 卢志红 章煜 《武汉大学学报(自然科学版)》 CSCD 1995年第3期347-350,共4页
报道了金属与金属氧化物复合靶的射频溅射法,制备Bi4Ti3O(12)(BTO)铁电陶瓷薄膜的方法,研究BTO薄膜的晶体结构,表面形貌以及断面.实验表明采用复合靶能够制备质量好、成分均匀的BTO薄膜,其结晶取向与基片材... 报道了金属与金属氧化物复合靶的射频溅射法,制备Bi4Ti3O(12)(BTO)铁电陶瓷薄膜的方法,研究BTO薄膜的晶体结构,表面形貌以及断面.实验表明采用复合靶能够制备质量好、成分均匀的BTO薄膜,其结晶取向与基片材料有关,且退火工艺对膜的质量有影响. 展开更多
关键词 铁电薄膜 复合靶 bto 薄膜 金属氧化物
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0.5LaFe_(0.5)Co_(0.5)O_3-Bi_4Ti_3O_(12)薄膜的制备及电学性能的研究 被引量:1
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作者 张灿 宿杰 +2 位作者 冯林燕 李进 罗莉 《青岛大学学报(自然科学版)》 CAS 2017年第2期36-38,44,共4页
采用溶胶-凝胶法在(111)Pt/Ti/SiO_2/Si衬底上制备了0.5LaFe_(0.5)Co_(0.5)O_3-Bi_4Ti_3O_(12)(0.5LFCO-BTO)薄膜。X射线衍射分析表明薄膜为纯相层状钙钛矿结构,扫描电子显微镜显示薄膜结晶度良好且无裂缝,粒径为100~400nm。0.5LFCO-BT... 采用溶胶-凝胶法在(111)Pt/Ti/SiO_2/Si衬底上制备了0.5LaFe_(0.5)Co_(0.5)O_3-Bi_4Ti_3O_(12)(0.5LFCO-BTO)薄膜。X射线衍射分析表明薄膜为纯相层状钙钛矿结构,扫描电子显微镜显示薄膜结晶度良好且无裂缝,粒径为100~400nm。0.5LFCO-BTO薄膜在室温条件下呈现出良好的铁电性能,其剩余极化值2Pr和矫顽场2Ec分别为48μC/cm2和290kV/cm。在频率为10kHz下,其相对介电常数εr和介电损耗tanδ分别为218.7和0.015。 展开更多
关键词 0.5LFCO-bto薄膜 溶胶-凝胶法 铁电 介电
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LaFeO3缓冲层对BaTiO3铁电薄膜电学性能的调控
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作者 陈周宇 杨志斌 +3 位作者 刘文燕 杨琼 姜杰 周益春 《湘潭大学学报(自然科学版)》 CAS 2019年第3期39-45,共7页
采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备了BTO、LFO/BTO和LFO/BTO/LFO三种结构的BTO铁电薄膜,旨在通过LFO缓冲层来调控BTO薄膜的电学性能.研究发现:LFO缓冲层的引入减小了BTO铁电薄膜的漏电流,提高了其电滞回线的矩形度,获得了更高的剩余极化、... 采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备了BTO、LFO/BTO和LFO/BTO/LFO三种结构的BTO铁电薄膜,旨在通过LFO缓冲层来调控BTO薄膜的电学性能.研究发现:LFO缓冲层的引入减小了BTO铁电薄膜的漏电流,提高了其电滞回线的矩形度,获得了更高的剩余极化、饱和极化和更低的矫顽电压.这种调控作用在LFO/BTO/LFO薄膜中的效果要比在LFO/BTO中更加明显.结果表明,通过合理地设计LFO缓冲层,可以有效地改善BTO铁电薄膜的宏观电学性能. 展开更多
关键词 bto铁电薄膜 LFO缓冲层 溶胶-凝胶法 电学性能
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不同氧含量三明治结构BaTiO_(3)薄膜的制备及其光电性能研究
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作者 董艺 朱归胜 +3 位作者 徐华蕊 韩茵 方荣宇 赵昀云 《桂林电子科技大学学报》 2022年第4期259-264,共6页
针对不同氧含量薄膜结构对钛酸钡薄膜微观结构与光电性能的影响进行研究,通过射频磁控溅射法制备高质量的钛酸钡薄膜。设置基片加热温度为350℃,工作气压为1.6 Pa,溅射功率为150 W,当总溅射时间为200 min时,在ITO基片上构建具有“贫氧+... 针对不同氧含量薄膜结构对钛酸钡薄膜微观结构与光电性能的影响进行研究,通过射频磁控溅射法制备高质量的钛酸钡薄膜。设置基片加热温度为350℃,工作气压为1.6 Pa,溅射功率为150 W,当总溅射时间为200 min时,在ITO基片上构建具有“贫氧+富氧+贫氧”三明治结构的钛酸钡薄膜。采用XRD、SEM、XPS等对薄膜微观结构、形貌和元素含量进行表征,采用LCR测试并计算得到薄膜的介电常数及介电损耗值。实验结果表明,制备的三明治结构薄膜厚度为810 nm,其平均可见光透光率可达55%,薄膜的介电常数为3.8,介电损耗值小于0.18。采用“贫氧+富氧+贫氧”三明治结构有利于提高钛酸钡薄膜的结晶性,且有利于提高钛酸钡薄膜的晶粒尺寸,提高钛酸钡薄膜的介电常数,降低其介电损耗值。 展开更多
关键词 bto薄膜 射频磁控溅射 氧含量 三明治结构 光电性能
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Oxygen vacancy induced magnetism in BaTiO_(3-δ) and Nb:BaTiO_(3-δ) thin films 被引量:3
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作者 YANG Fang,JIN KuiJuan,LU HuiBin,HE Meng,WANG Cong,WEN Juan & YANG GuoZhen Beijing National Laboratory for Condensed Matter Physics,Institute of Physics,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100190,China 《Science China(Physics,Mechanics & Astronomy)》 SCIE EI CAS 2010年第5期852-855,共4页
The unusual magnetic properties are observed in oxygen deficient BaTiO3-δ(BTO) and Nb:BaTiO3-δ(BNTO) thin films fabricated on SrTiO3 substrates by laser molecular beam epitaxy.The distinct magnetic hysteresis loops ... The unusual magnetic properties are observed in oxygen deficient BaTiO3-δ(BTO) and Nb:BaTiO3-δ(BNTO) thin films fabricated on SrTiO3 substrates by laser molecular beam epitaxy.The distinct magnetic hysteresis loops are observed in the oxygen deficient BTO and BNTO thin films in a temperature range of 5 to 300 K,whereas the diamagnetism is observed in both BTO and BNTO annealed at 1 atm of oxygen.The dopant Nb only enhances the magnetization in BNTO thin films,but has little effect on the coercivity.The magnetism of BTO and BNTO films is proposed to be the oxygen vacancies by origin. 展开更多
关键词 oxygen VACANCY MAGNETISM BaTiO3-δ(bto) Nb:BaTiO3-δ(BNTO) thin films
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溶胶-凝胶法制备掺铁钛酸铋铁电薄膜光学性能的研究 被引量:3
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作者 王耀祖 王家邦 +2 位作者 杨辉 郭兴忠 杨锋 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第4期1277-1281,共5页
通过溶胶-凝胶法制备了不同掺杂浓度的Fe-BTO铁电薄膜以减小其光学带隙,研究不同Fe掺杂浓度对BTO铁电薄膜铁电光伏效应的影响。结果表明,使用溶胶-凝胶法对BTO铁电薄膜掺杂不同浓度的Fe,所制备的薄膜结晶度较好、网状结构明显、空间分... 通过溶胶-凝胶法制备了不同掺杂浓度的Fe-BTO铁电薄膜以减小其光学带隙,研究不同Fe掺杂浓度对BTO铁电薄膜铁电光伏效应的影响。结果表明,使用溶胶-凝胶法对BTO铁电薄膜掺杂不同浓度的Fe,所制备的薄膜结晶度较好、网状结构明显、空间分布均匀,晶粒大小均一;通过溶胶-凝胶法制备Fe-BTO铁电薄膜在Fe掺杂浓度x=0.9附近可以明显减小其禁带宽度。 展开更多
关键词 铁电薄膜 Fe-bto 溶胶-凝胶法
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Bi_4Ti_3O_(12)/BaTiO_3铁电复合薄膜的制备 被引量:3
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作者 张云婕 陈长乐 +1 位作者 郭兵 王晶 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2014年第4期13-16,共4页
利用脉冲激光分子束外延技术(MBE)在LaAlO3(100)基片上依次沉积了La2/3Sr1/3MnO3(LSMO)、BaTiO3(BTO)和Bi4Ti3O12(BIT)薄膜。采用X射线衍射仪(XRD)、压电力显微镜(PFM)和铁电仪研究了复合薄膜的晶体结构、表面形貌、畴结构、单点压电响... 利用脉冲激光分子束外延技术(MBE)在LaAlO3(100)基片上依次沉积了La2/3Sr1/3MnO3(LSMO)、BaTiO3(BTO)和Bi4Ti3O12(BIT)薄膜。采用X射线衍射仪(XRD)、压电力显微镜(PFM)和铁电仪研究了复合薄膜的晶体结构、表面形貌、畴结构、单点压电响应信号以及电滞回线。结果表明所制BIT/BTO铁电复合薄膜沿c轴择优取向生长,其PFM相位曲线的畴翻转特征加之明显的振幅-电压蝴蝶曲线证实了该复合薄膜具有良好的铁电性;在外加8 V电压下BIT/BTO复合薄膜的剩余极化强度(2Pr)为(2.6±0.1)×10–6 C/cm2,而单层BIT和BTO铁电薄膜的2Pr仅为(1.1±0.1)×10–6 C/cm2和(0.3±0.1)×10–6 C/cm2,该现象与复合薄膜的界面效应以及晶体结构畸变有关。 展开更多
关键词 BIT bto铁电复合薄膜 分子束外延 剩余极化强度 矫顽场 振幅 电压蝴蝶曲线 畴翻转特征
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