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高压微波氢等离子体Balmer线系的实验
被引量:
3
1
作者
翁国峰
湛玉龙
+2 位作者
陶利平
付秋明
马志斌
《武汉工程大学学报》
CAS
2011年第7期73-76,共4页
采用压缩波导反应腔结构和热辅助激发的方式产生了可稳定运行于近一个大气压条件下的微波辉光氢等离子体,通过发射光谱诊断技术测量了连续放电过程中氢Balmer线系的Hα、Hβ、Hγ和Hδ谱线,并分析了谱线强度随气压的变化趋势及其机理....
采用压缩波导反应腔结构和热辅助激发的方式产生了可稳定运行于近一个大气压条件下的微波辉光氢等离子体,通过发射光谱诊断技术测量了连续放电过程中氢Balmer线系的Hα、Hβ、Hγ和Hδ谱线,并分析了谱线强度随气压的变化趋势及其机理.实验结果表明,氢Balmer线系的Hα、Hβ、Hγ和Hδ谱线的强度都有随着气压上升先升高后下降的趋势,等离子体的电子激发温度则是随着气压的升高先降低后趋向于稳定.
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关键词
微波氢等离子体
发射光谱
balmer
线
系
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职称材料
螺旋波激发氢等离子体光谱诊断
被引量:
9
2
作者
王加扣
吴卫东
+3 位作者
孙卫国
邓红艳
程新路
唐永建
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第10期1513-1517,共5页
利用螺旋波等离子体化学气相沉积(HWP-CVD)技术,以氢气为反应气体产生等离子体。通过采集氢的可见到紫外发射光谱,对等离子体进行了原位诊断,由氢Balm er系分析得到了不同实验参数对激发态氢原子相对密度的影响,通过对Fu lcher带的分析...
利用螺旋波等离子体化学气相沉积(HWP-CVD)技术,以氢气为反应气体产生等离子体。通过采集氢的可见到紫外发射光谱,对等离子体进行了原位诊断,由氢Balm er系分析得到了不同实验参数对激发态氢原子相对密度的影响,通过对Fu lcher带的分析,得到实验参数对氢振动温度的影响。结果表明:低压氢等离子体状态可借用日冕模型来诊断;激发态氢原子密度随入射功率增加而增加,随压强增加而减少,氢分子振动温度随压强增加先增大后减小;电子温度和电子密度是低压氢等离子体状态变化的关键因素。
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关键词
等离子体诊断
螺旋波等离子体化学气相沉积
balmer系
Fulcher带
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职称材料
低温低压氢等离子体的光谱分析
被引量:
7
3
作者
邓红艳
王加扣
+2 位作者
吴卫东
程新路
杨向东
《原子与分子物理学报》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第2期256-259,共4页
采用螺旋波激发氢等离子体,测得氢的Balmer线系前三条谱线的强度。利用二谱线法求电子温度Te,并由Hβ的Stark展宽得到电子密度Ne,简要分析了Te、Ne以及强度与各种参数之间的关系。
关键词
电子温度
电子密度
balmer
线
系
螺旋波等离子体
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职称材料
题名
高压微波氢等离子体Balmer线系的实验
被引量:
3
1
作者
翁国峰
湛玉龙
陶利平
付秋明
马志斌
机构
武汉工程大学材料科学与工程学院
武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室
出处
《武汉工程大学学报》
CAS
2011年第7期73-76,共4页
基金
国家自然科学基金(10875093)
文摘
采用压缩波导反应腔结构和热辅助激发的方式产生了可稳定运行于近一个大气压条件下的微波辉光氢等离子体,通过发射光谱诊断技术测量了连续放电过程中氢Balmer线系的Hα、Hβ、Hγ和Hδ谱线,并分析了谱线强度随气压的变化趋势及其机理.实验结果表明,氢Balmer线系的Hα、Hβ、Hγ和Hδ谱线的强度都有随着气压上升先升高后下降的趋势,等离子体的电子激发温度则是随着气压的升高先降低后趋向于稳定.
关键词
微波氢等离子体
发射光谱
balmer
线
系
Keywords
microwave hydrogen plasma
emission spectroscopy
balmer
series
分类号
TL65 [核科学技术—核技术及应用]
下载PDF
职称材料
题名
螺旋波激发氢等离子体光谱诊断
被引量:
9
2
作者
王加扣
吴卫东
孙卫国
邓红艳
程新路
唐永建
机构
四川大学原子与分子物理研究所
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第10期1513-1517,共5页
基金
国家863计划项目资助课题
中国工程物理研究院基金资助课题(20040867)
文摘
利用螺旋波等离子体化学气相沉积(HWP-CVD)技术,以氢气为反应气体产生等离子体。通过采集氢的可见到紫外发射光谱,对等离子体进行了原位诊断,由氢Balm er系分析得到了不同实验参数对激发态氢原子相对密度的影响,通过对Fu lcher带的分析,得到实验参数对氢振动温度的影响。结果表明:低压氢等离子体状态可借用日冕模型来诊断;激发态氢原子密度随入射功率增加而增加,随压强增加而减少,氢分子振动温度随压强增加先增大后减小;电子温度和电子密度是低压氢等离子体状态变化的关键因素。
关键词
等离子体诊断
螺旋波等离子体化学气相沉积
balmer系
Fulcher带
Keywords
Plasma
HWP-CVD
balmer
lines
Fulcher band
分类号
TL65 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
低温低压氢等离子体的光谱分析
被引量:
7
3
作者
邓红艳
王加扣
吴卫东
程新路
杨向东
机构
四川大学原子分子物理所
出处
《原子与分子物理学报》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第2期256-259,共4页
基金
国家863计划项目资助课题
中国工程物理研究院院基金资助课题(批准号:20040867)
文摘
采用螺旋波激发氢等离子体,测得氢的Balmer线系前三条谱线的强度。利用二谱线法求电子温度Te,并由Hβ的Stark展宽得到电子密度Ne,简要分析了Te、Ne以及强度与各种参数之间的关系。
关键词
电子温度
电子密度
balmer
线
系
螺旋波等离子体
Keywords
Electron temperature
Electron density
balmer
Series
Helicon wave plasma
分类号
O562 [理学—原子与分子物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高压微波氢等离子体Balmer线系的实验
翁国峰
湛玉龙
陶利平
付秋明
马志斌
《武汉工程大学学报》
CAS
2011
3
下载PDF
职称材料
2
螺旋波激发氢等离子体光谱诊断
王加扣
吴卫东
孙卫国
邓红艳
程新路
唐永建
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
9
下载PDF
职称材料
3
低温低压氢等离子体的光谱分析
邓红艳
王加扣
吴卫东
程新路
杨向东
《原子与分子物理学报》
CAS
CSCD
北大核心
2005
7
下载PDF
职称材料
已选择
0
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