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Dielectric properties and phase transitions of La_2O_3- and Sb_2O_3-doped barium strontium titanate ceramics 被引量:4
1
作者 张晨 曲远方 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第11期2742-2748,共7页
The dielectric properties and phase transition characteristics of La2O3- and Sb2O3-doped barium strontium titanate ceramics prepared by solid state route were investigated. The microstructure was identified by X-ray d... The dielectric properties and phase transition characteristics of La2O3- and Sb2O3-doped barium strontium titanate ceramics prepared by solid state route were investigated. The microstructure was identified by X-ray diffraction method and scanning electron microscope was also employed to observe the surface morphologies. It is found that (La,Sb)-codoped barium strontium titanate ceramics exhibit typical perovskite structure and the average grain size decreases dramatically with increasing the content of Sb2O3. Both La3+ ions and Sb3+ ions occupy the A-sites in perovskite lattice. The dielectric constant and dielectric loss of barium strontium titanate based ceramics are obviously influenced by La2O3 as well as Sb2O3 addition content. The tetragonal-cubic phase transition of La2O3 modified barium strontium titanate ceramics is of second order and the Curie temperature shifts to lower value with increasing the La2O3 doping content. The phase transition of (La,Sb)-codoped barium strontium titanate ceramics diffuses and the deviation from Curie-Weiss law becomes more obvious with the increase in Sb2O3 concentration. The temperature corresponding to the dielectric constant maximum of (La,Sb)-codoped barium strontium titanate ceramics decreases with increasing the Sb2O3 content, which is attributed to the replacement of host ions by the Sb3+ ions. 展开更多
关键词 barium strontium titanate LA2O3 SB2O3 PEROVSKITE CERAMICS dielectric properties phase transition
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Dielectric properties and point defect behavior of antimony oxide doped Ti deficient barium strontium titanate ceramics 被引量:1
2
作者 Chen ZHANG Zhi-xin LING +1 位作者 Gang JIAN Fang-xu CHEN 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第12期2656-2662,共7页
The microstructures and dielectric properties of Sb2O3-doped Ti deficient barium strontium titanate ceramics prepared by solid state method were investigated with non-stoichiometric level and Sb2O3content by SEM,XRD a... The microstructures and dielectric properties of Sb2O3-doped Ti deficient barium strontium titanate ceramics prepared by solid state method were investigated with non-stoichiometric level and Sb2O3content by SEM,XRD and LCR measure system.It is found that with the increase ofδ,(Ba0.75Sr0.25)Ti1-δO3-2δceramics transform from single phase solid solutions with typical cubic perovskite structure to multiphase compounds while(Ba0.75Sr0.25)Ti0.998O2.996ceramics remain to be single-phase with the increasing Sb2O3content.The distortion of the ABO3perovskite lattice caused by VTi″″and VO..induces the drop of Curie temperature and the rise of relative dielectric constant in(Ba0.75Sr0.25)Ti1-δO3-2δceramics with increasingδvalue.The orientation of VO??elastic dipoles results in the domain-wall pinning and thus the reduction of the dielectric loss.With increasing Sb2O3content,the relative dielectric constant,dielectric constant maximum and Curie temperature of(Ba0.75Sr0.25)Ti0.998O2.996ceramics decrease dramatically while the dielectric loss increases. 展开更多
关键词 barium strontium titanate DEFECTS dielectric properties non-stoichiometric ceramics
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Preparation and characterization of barium strontium titanate/silicon nanoporous pillar array composite thin films by a sol-gel method
3
作者 Shun-hua Xiao Wei-fen Jiang 《International Journal of Minerals,Metallurgy and Materials》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第8期762-767,共6页
Barium strontium titanate (Ba0.5Sr0.5TiO3, BST)/silicon nanoporous pillar array (Si-NPA) thin films were prepared by a spin-coating/annealing technique based on Si-NPA with micro/nano-structure. Both the isomer co... Barium strontium titanate (Ba0.5Sr0.5TiO3, BST)/silicon nanoporous pillar array (Si-NPA) thin films were prepared by a spin-coating/annealing technique based on Si-NPA with micro/nano-structure. Both the isomer conversion of acetylacetone and the network structure combined by enol and Ti-alkoxide facilitate the formation of the BST sol and the subsequent crystallization. Before the perovskite BST begins to form, the intermediate phase (Ba, Sr)Ti2OsCO3 is found. The boundary between BST and Si-NPA is of clarity and little interface diffusion, disclosing that Si-NPA is an ideal template substrate in the preparation of multifunctional composite films. 展开更多
关键词 barium strontium titanate SILICON nanoporous materials composite films sol-gel process
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Synthesis and characterization of highly-ordered barium-strontium titanate nanotube arrays fabricated by sol-gel method
4
作者 陈煜 程伟 +3 位作者 郭峰 李美亚 刘威 赵兴中 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第9期3922-3927,共6页
Highly uniformed barium-strontium titanate nanotube arrays were fabricated using a porous anodic aluminum oxide template from a barium-strontium titanate sol-gel solution. Electron microscope results showed that nanot... Highly uniformed barium-strontium titanate nanotube arrays were fabricated using a porous anodic aluminum oxide template from a barium-strontium titanate sol-gel solution. Electron microscope results showed that nanotubes with uniform length and diameter were obtained. The diameters and lengths of these nanotubes were dependent on the pore diameter and the thickness of the applied anodic aluminum oxide template. High resolution transmission electron microscopy and the selected-area electron diffraction pattern investigations demonstrated the perovskite structure and the polycrystalline of the fabricated barium-strontium titanate nanotubes. The characterization of the electrical and dielectric properties had also been made. Compared to thin film material, the intrinsic leakage current density is almost the same. Besides, at 30 ℃ the dielectric constant and dielectric loss of the fabricated nanotube is 80 and 0.027 at 1 MHz respectively. 展开更多
关键词 NANOTUBES barium-strontium titanate SOL-GEL
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An Investigation of PLD-Deposited Barium Strontium Titanate (Ba<sub>x</sub>Sr<sub>1-x</sub>TiO<sub>3</sub>) Thin Film Optical Properties
5
作者 Martin Kocanda Syed Farhan Mohiudin Ibrahim Abdel-Motaleb 《Crystal Structure Theory and Applications》 2012年第2期17-20,共4页
Reflectance and transmittance parameters of pulsed laser deposited barium strontium titanate (BST) were investigated using spectrophotometric methods. Three stoichiometries consisting of BaxSr1-xTiO3 (x = 0.30, 0.40, ... Reflectance and transmittance parameters of pulsed laser deposited barium strontium titanate (BST) were investigated using spectrophotometric methods. Three stoichiometries consisting of BaxSr1-xTiO3 (x = 0.30, 0.40, 0.50) were deposited on glass substrates using oxygen partial pressures of 1.3 Pa ± 0.13 Pa at 500oC. Subsequently, the measured optical parameters were employed to determine the refractive index (n), extinction coefficient (k), optical conductivity (σ), absorption coefficient (α) and optical bandgap (Eg) using swept spectra in the ultraviolet, visible and near-infrared range (200 nm - 1100 nm) as these have not been reported in the literature. The calculated parameters for Ba0.4Sr0.6TiO3 are reported in this experimental work. Minimal differences in the transmittance have been observed at the visible band edges when comparing each stoichiometry. Sharp cutoffs were observed at the bands edges and strong absorbance in the 200 nm - 300 nm band as attributed to the crystal structure based upon the oxygen partial pressure during the deposition process. 展开更多
关键词 barium strontium titanate OPTICAL Bandgap OPTICAL Conductivity Pulsed Laser Deposition STOICHIOMETRY
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钛酸锶钡(BST)铁电移相器材料的研究现状 被引量:27
6
作者 金宇龙 周洪庆 +3 位作者 吴洪忠 刘敏 蒋微波 黄志文 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期38-40,共3页
钛酸锶钡(BST)材料被普遍认为是最有前途的铁电移相器材料。BST作为铁电移相器材料的研究已有多年,到目前为止取得了不少突破性的进展。综述了国内外研究人员在BST体材、厚膜以及薄膜方面所做的工作及获得的一些成果。
关键词 钛酸锶钡 bst 铁电移相器 相控阵天线
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钛酸锶钡(BST)薄膜的制备与应用研究进展 被引量:15
7
作者 符春林 杨传仁 +2 位作者 陈宏伟 胡文成 李文远 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2003年第5期47-50,共4页
介绍了钛酸锶钡(BST)薄膜的四种制备方法(脉冲激光沉积、磁控溅射、溶胶–凝胶、金属有机化学气相沉积)及BST薄膜在介质移相器、动态随机存储器、热释电红外探测器、H2探测器中的应用等方面的研究进展。提出了需进一步开展的研究课题如... 介绍了钛酸锶钡(BST)薄膜的四种制备方法(脉冲激光沉积、磁控溅射、溶胶–凝胶、金属有机化学气相沉积)及BST薄膜在介质移相器、动态随机存储器、热释电红外探测器、H2探测器中的应用等方面的研究进展。提出了需进一步开展的研究课题如:晶粒晶界控制、界面控制、漏电导机制、疲劳机制、非线性效应及大面积高质量薄膜的制备技术等。 展开更多
关键词 钛酸锶钡 铁电薄膜 制备技术 bst 应用
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铋掺杂对BST/MT复相铁电材料介电性能的影响 被引量:6
8
作者 周洪庆 杨春霞 +2 位作者 金宇龙 吴洪忠 蒋微波 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2005年第6期668-670,687,共4页
研究了Bi2O3掺杂对钛酸锶钡/钛酸镁(BST/MT)复合体系介电常数、介电损耗以及调谐性等介电性能的影响。实验表明,适量的掺杂能有效的改善体系的电性能。控制掺杂质量分数为0.8%,获得陶瓷介质在微波频段(S波段)的相对介电常数在100左右;... 研究了Bi2O3掺杂对钛酸锶钡/钛酸镁(BST/MT)复合体系介电常数、介电损耗以及调谐性等介电性能的影响。实验表明,适量的掺杂能有效的改善体系的电性能。控制掺杂质量分数为0.8%,获得陶瓷介质在微波频段(S波段)的相对介电常数在100左右;介质损耗约为2×10-2;4 000 V/mm的偏压下调谐性可达12%。采用极化理论对掺杂机理作了一定的探讨。 展开更多
关键词 氧化铋 钛酸锶钡/钛酸镁 铁电材料 移相器
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BSTO/MgO铁电移相材料的研究 被引量:9
9
作者 杨春霞 周洪庆 +3 位作者 刘敏 吴红忠 梁斌斌 金宇龙 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期13-15,共3页
采用固相反应法制备了钛酸锶钡/氧化镁(BSTO/MgO)铁电移相材料。研究了材料的相组成、显微结构和介电性能。经测试分析表明:MgO 与 BSTO 复合后,并没有出现二次相,且晶粒形状分布均一,粒度均匀;w(MgO)为 50%时,材料的低频(10 kHz)εr为 ... 采用固相反应法制备了钛酸锶钡/氧化镁(BSTO/MgO)铁电移相材料。研究了材料的相组成、显微结构和介电性能。经测试分析表明:MgO 与 BSTO 复合后,并没有出现二次相,且晶粒形状分布均一,粒度均匀;w(MgO)为 50%时,材料的低频(10 kHz)εr为 157,tgδ 为 0.000 6,高频(约 2.5 GHz)εr为 120,tgδ 为 0.008;4 000 V/mm偏压下的调谐性为 17.5%,基本上达到了相控阵移相器在高频下工作的要求。 展开更多
关键词 无机非金属材料 钛酸锶钡 氧化镁 铁电材料 移相器 介电性能
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Si-B-O系BST玻璃陶瓷制备及介电弥散研究 被引量:18
10
作者 王疆瑛 姚熹 张良莹 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期722-724,共3页
 采用硝酸钡、硝酸锶、钛酸丁酯、正硅酸乙脂和硼酸三正丁脂为原料的溶胶凝胶方法制备了Si B O系BaxSr1-xTiO3玻璃陶瓷。通过差热分析(DTA)、热失重(TG)、X射线衍射(XRD)分析Si B O系BST玻璃陶瓷超细粉体合成过程及其相结构变化。采用...  采用硝酸钡、硝酸锶、钛酸丁酯、正硅酸乙脂和硼酸三正丁脂为原料的溶胶凝胶方法制备了Si B O系BaxSr1-xTiO3玻璃陶瓷。通过差热分析(DTA)、热失重(TG)、X射线衍射(XRD)分析Si B O系BST玻璃陶瓷超细粉体合成过程及其相结构变化。采用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)描述Si B O系BST玻璃陶瓷烧结体的相结构和显微组织结构变化。阻抗分析仪测量Si B O系BST玻璃陶瓷的-50~100℃介电温谱。实验结果表明:Si B O系BST玻璃陶瓷粉体的相结构为立方钙钛矿相结构,其合成温度为700℃,不存在第二相。Si B O系BST玻璃陶瓷的烧结温度低于传统工艺。Si B O系BST玻璃陶瓷的显微结构呈细晶结构。Si B O系BST玻璃陶瓷的介电常数ε随着烧结温度升高而增大,介电损耗tgδ随测试温度的增加而降低。随着晶粒平均尺寸的减小,Si B O系BST玻璃陶瓷样品的介电峰变低,平坦,宽化,存在介电峰弥散化的现象。 展开更多
关键词 钛酸锶钡 Si-B-O 溶胶凝胶 玻璃陶瓷 介电性能
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用正交法优化BST/MTO铁电移相器材料性能 被引量:4
11
作者 金宇龙 周洪庆 +4 位作者 吴洪忠 刘敏 蒋微波 黄志文 杨春霞 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2003年第11期10-12,共3页
利用正交试验方法研究了Bi2O3、MnCO3、SnO2等添加剂对钛酸锶钡/钛酸镁(BST/MTO)复合铁电移相器材料介电常数r、介质损耗tg以及调谐性T等性能的影响,并对影响机理作了初步探讨。实验结果表明选择合适种类与数量的添加剂能有效提高铁电... 利用正交试验方法研究了Bi2O3、MnCO3、SnO2等添加剂对钛酸锶钡/钛酸镁(BST/MTO)复合铁电移相器材料介电常数r、介质损耗tg以及调谐性T等性能的影响,并对影响机理作了初步探讨。实验结果表明选择合适种类与数量的添加剂能有效提高铁电移相器材料的性能。通过正交试验获得综合性能优异的移相器材料性能:r=315,tg=0.002 8,T=14.27%。 展开更多
关键词 正交试验 铁电材料 移相器 钛酸锶钡 钛酸镁
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钛酸锶钡(BST)薄膜的介电性能机理研究进展 被引量:10
12
作者 符春林 杨传仁 +2 位作者 陈宏伟 胡文成 李文远 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2003年第3期187-194,共8页
钛酸锶钡 (BST)薄膜是一种重要的铁电薄膜 ,应用广泛 ,是高新技术研究的前沿和热点之一。简要介绍BST薄膜的制备方法和应用 ,重点讨论BST薄膜的极化、电压非线性、漏电流的机理、表征及影响因素 ,并综述了铁电薄膜的疲劳机制和消除疲劳... 钛酸锶钡 (BST)薄膜是一种重要的铁电薄膜 ,应用广泛 ,是高新技术研究的前沿和热点之一。简要介绍BST薄膜的制备方法和应用 ,重点讨论BST薄膜的极化、电压非线性、漏电流的机理、表征及影响因素 ,并综述了铁电薄膜的疲劳机制和消除疲劳措施等方面的研究进展 。 展开更多
关键词 钛酸锶钡 铁电薄膜 极化 电压非线性 漏电流 疲劳
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基于BST微悬臂梁横向挠曲电系数的测定 被引量:5
13
作者 李康 骆英 +3 位作者 徐晨光 许伯强 王晶晶 桑胜 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2014年第5期798-800,804,共4页
挠曲电材料具有高力电耦合系数、尺度效应及对环境温度无特定要求等特点,有望用于传感器、作动器及结构健康监测等领域。基于钛酸锶钡(BST)微悬臂梁结构,实验分析了横向挠曲电系数对驱动频率的依赖关系,并讨论了尺度效应。利用压电微驱... 挠曲电材料具有高力电耦合系数、尺度效应及对环境温度无特定要求等特点,有望用于传感器、作动器及结构健康监测等领域。基于钛酸锶钡(BST)微悬臂梁结构,实验分析了横向挠曲电系数对驱动频率的依赖关系,并讨论了尺度效应。利用压电微驱动器的低频激振,获得了横向挠曲电系数。结果表明,作为传感器,挠曲电材料在传感方面呈现出明显的尺度效应,当梁的厚度减小到微纳米尺度时,其传感特性将优于压电材料。 展开更多
关键词 钛酸锶钡(bst) 挠曲电效应 应变梯度 电极化 微悬臂梁
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钛酸锶钡(BST)纳米铁电材料的制备与性能 被引量:3
14
作者 欧阳静 刘浩 +3 位作者 何曦 郭耀威 王勤英 杨华明 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第12期26-31,共6页
纳米级的钛酸锶钡(BST)陶瓷材料在电子、微波器件、存储元件等现代科技领域有着重要的应用,是一类成分和性能可调节的新型无机功能材料。在介绍BST的传统制备方法基础上,主要介绍了近几年国外制备BST纳米粉体采用的几种新型高效方法,并... 纳米级的钛酸锶钡(BST)陶瓷材料在电子、微波器件、存储元件等现代科技领域有着重要的应用,是一类成分和性能可调节的新型无机功能材料。在介绍BST的传统制备方法基础上,主要介绍了近几年国外制备BST纳米粉体采用的几种新型高效方法,并简要介绍了国外纳米BST材料的结构、形貌表征、性能检测和应用现状,指出了国内在这一领域研究中的不足之处。 展开更多
关键词 钛酸锶钡 制备技术 表征 应用
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Etching mechanism of barium strontium titanate (BST) thin films in CHF_3/Ar plasma
15
作者 DAI LiPing WANG ShuYa SHU Ping ZHONG ZhiQin WANG Gang ZHANG GuoJun 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 2011年第21期2267-2271,共5页
Reactive ion etching was used to etch barium strontium titanate thin films in a CHF3/Ar plasma.BST surfaces before and after etching were analyzed by X-ray photoelectron spectroscopy to investigate the reaction ion et... Reactive ion etching was used to etch barium strontium titanate thin films in a CHF3/Ar plasma.BST surfaces before and after etching were analyzed by X-ray photoelectron spectroscopy to investigate the reaction ion etching mechanism,and chemical reactions had occurred between the F plasma and the Ba,Sr and Ti metal species.Fluorides of these metals were formed and remained on the surface during the etching process.Ti was almost completely removed because the TiF4 by-product is volatile.Minor quantities of Ti?F could still be detected by narrow scan X-ray photoelectron spectra,and Ti?F was thought to be present in the form of a metal-oxy-fluoride.These species were investigated from O1s spectra,and a fluoride-rich surface was formed during etching.BaF2 and SrF2 residues were difficult to remove because of their high boiling point.The etching rate was limited to 12.86 nm/min.C?F polymers were not found on the surface,indicating that the removal of BaF2 and SrF2 was important for further etching.A 1-min Ar/15 plasma physical sputtering was carried out for every 4 min of surface etching,which effectively removed remaining surface residue.Sequential chemical reaction and sputtered etching is an effective etching method for barium strontium titanate films. 展开更多
关键词 钛酸锶钡薄膜 等离子蚀刻 bst 机制 X射线光电子能谱 反应离子刻蚀 BAF2晶体 金属氟化物
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交替中间热处理BST薄膜介电性能研究 被引量:4
16
作者 廖家轩 魏雄邦 +3 位作者 潘笑风 张佳 傅向军 王洪全 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期962-966,共5页
用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备了三种钛酸锶钡(Ba0.6Sr0.4TiO3,BST)薄膜:常规的四层薄膜,在逐层制备过程中,对首层薄膜进行中间热处理(Preheat-treatment,PT)的四层薄膜及间隔或交替地对奇数层薄膜进行中间热处理(称为交替中间热处理(Alte... 用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备了三种钛酸锶钡(Ba0.6Sr0.4TiO3,BST)薄膜:常规的四层薄膜,在逐层制备过程中,对首层薄膜进行中间热处理(Preheat-treatment,PT)的四层薄膜及间隔或交替地对奇数层薄膜进行中间热处理(称为交替中间热处理(Alternate-preheat-treatment,APT))的八层薄膜.用XPS研究薄膜表面成分化学态,用SEM和AFM观察表面形貌及晶化,并进行了介电性能测试.结果表明,常规薄膜介电性能差;经PT,薄膜裂纹和缩孔显著减少,形貌明显改善,表面非钙钛矿结构显著减少,介电性能明显提高;经APT,薄膜形貌进一步改善,平均晶粒大小约30nm,非钙钛矿结构进一步减少,介电损耗明显降低,介电稳定性和介电强度大幅度提高.APT为制备退火温度低及结构均匀致密的纳米晶BST薄膜提供了新方法,可满足低频实用要求.退火温度对薄膜厚度的影响也进行了讨论. 展开更多
关键词 中间热处理 交替中间热处理 钛酸锶钡薄膜 介电性能
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钛酸锶钡(BST)薄膜的介电性能研究 被引量:5
17
作者 陈宏伟 杨传仁 +2 位作者 符春林 赵莉 高志强 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期615-617,共3页
 采用射频磁控溅射法制备了BaxSr1-xTiO3(简称BST)薄膜材料,研究了不同膜厚、晶粒尺寸的BST薄膜的介电系数温度特性(εr T)、频率特性(εr f)、电压特性(εr U)及损耗的温度特性(tgδ T)、频率特性(tgδ f),找出了BST薄膜的非线性、损...  采用射频磁控溅射法制备了BaxSr1-xTiO3(简称BST)薄膜材料,研究了不同膜厚、晶粒尺寸的BST薄膜的介电系数温度特性(εr T)、频率特性(εr f)、电压特性(εr U)及损耗的温度特性(tgδ T)、频率特性(tgδ f),找出了BST薄膜的非线性、损耗随尺度变化的规律。 展开更多
关键词 钛酸锶钡 薄膜 膜厚 晶粒尺寸 介电性能
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稀土掺杂的BSTO/MgO铁电移相材料 被引量:5
18
作者 杨春霞 周洪庆 +3 位作者 刘敏 吴红忠 朱海奎 蒋微波 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2004年第9期6-8,共3页
为了提高移相器性能,通过掺杂的方法研究了La2O3、Sm2O3、Dy2O3、CeO2等稀土氧化物对BSTO/MgO铁电移相材料低频(10kHz)与高频(2.5GHz左右)相对介电常数εr、介质损耗tgδ和调谐性T等的影响,并对影响机理作了初步探讨。结果表明,掺杂摩... 为了提高移相器性能,通过掺杂的方法研究了La2O3、Sm2O3、Dy2O3、CeO2等稀土氧化物对BSTO/MgO铁电移相材料低频(10kHz)与高频(2.5GHz左右)相对介电常数εr、介质损耗tgδ和调谐性T等的影响,并对影响机理作了初步探讨。结果表明,掺杂摩尔分数为0.5%La2O3的BSTO/MgO系统基本上达到了相控阵移相器在高频下工作的要求10kHz下,tgδ=4×10–4,T=14.6%;2.41GHz下,tgδ=6.7×10–3。 展开更多
关键词 无机陶瓷材料 钛酸锶钡/氧化镁 稀土氧化物掺杂 移相器 介电性能
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BST材料在DRAM电容中的应用研究 被引量:6
19
作者 肖斌 汪家友 +1 位作者 苏祥林 杨银堂 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2005年第3期287-290,共4页
钛酸锶钡(BST)高介电常数材料被普遍认为是最有前途的DRAM电容介质材料。BST作为DRAM电容介质材料的研究已有多年,到目前为止取得了不少突破性的进展。介绍了BST的材料特性和堆积型电容结构电极、埋层材料的设计考虑,探讨了BST膜的制备... 钛酸锶钡(BST)高介电常数材料被普遍认为是最有前途的DRAM电容介质材料。BST作为DRAM电容介质材料的研究已有多年,到目前为止取得了不少突破性的进展。介绍了BST的材料特性和堆积型电容结构电极、埋层材料的设计考虑,探讨了BST膜的制备、掺杂及刻蚀工艺技术。 展开更多
关键词 钛酸锶钡 动态随机存储器 介质材料 堆积型电容
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钛酸锶钡(BST)薄膜的组成、结构与性能研究进展 被引量:12
20
作者 符春林 杨传仁 陈宏伟 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2003年第4期255-263,共9页
钛酸锶钡 (BST)薄膜是一种重要的铁电薄膜 ,应用广泛 ,是高新技术研究的前沿和热点之一。简要介绍了BST薄膜的制备方法和应用 ,对此薄膜的基片、电极、晶界、界面、热处理、膜厚及组成、结构、性能等方面作了重点讨论 。
关键词 钛酸锶钡 铁电薄膜 基片 电极 晶界 界面 介电性能
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