新型场效应管型湿度传感器阵列的研制

以BaytronP为敏感材料,利用自组装技术在具有4个单元的无金属栅场效应管阵列上制备了BaytronP/PDDA多层自组装超薄膜,形成了一种以自组装膜取代MOSFET栅金属的化学场效应管型湿度传感器阵列,并对该阵列的湿敏特性进行了测试研究,同时设计了广义回归神经网络以进行湿度的预测分析。结果表明,采用1V漏电压下的漏电流值作为网络的输入,并取扩展常数为0.14时,网络的预测结果最好(最小相对误差为1.77%)。