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退火工艺对射频磁控溅射Bi:YIG薄膜磁性能的影响
被引量:
6
1
作者
杨青慧
张怀武
+1 位作者
刘颖力
文岐业
《材料研究学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期187-190,共4页
对于用射频磁控溅射技术在Si基片上制备的Bi:YIG系薄膜,用快速循环退火方法对其进行晶化处理,研究了退火温度对Bi:YIG薄膜结晶状态和形貌的影响,以及退火气氛和循环周期对薄膜性能的影响.结果表明,用快速循环退火可以在Si单晶基片上得...
对于用射频磁控溅射技术在Si基片上制备的Bi:YIG系薄膜,用快速循环退火方法对其进行晶化处理,研究了退火温度对Bi:YIG薄膜结晶状态和形貌的影响,以及退火气氛和循环周期对薄膜性能的影响.结果表明,用快速循环退火可以在Si单晶基片上得到磁性能优良的薄膜(饱和磁化强度139 kA/m,矫顽力6.37 kA/m)并使薄膜形貌有较大改善,在石英基片上制备的薄膜法拉第角比常规退火的薄膜增大了约一倍.
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关键词
无机非金属材料
快速循环退火
bi
:
yig
薄膜
饱和磁化强度
矫顽力
下载PDF
职称材料
Bi:YIG纳米薄膜的磁光特性(英文)
被引量:
2
2
作者
杨青慧
张怀武
+1 位作者
刘颖力
文岐业
《硅酸盐学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第9期1190-1193,共4页
用射频磁控溅射和快速退火方法制备了纳米量级的Bi:YIG薄膜,研究了薄膜的磁光特性。当晶粒尺寸从150nm 降到80nm时,透射率和Faraday角的值分别从75%和3.6°变成了80%和4.0°。结果表明:高的透射率和大Faraday角可以在晶粒尺寸...
用射频磁控溅射和快速退火方法制备了纳米量级的Bi:YIG薄膜,研究了薄膜的磁光特性。当晶粒尺寸从150nm 降到80nm时,透射率和Faraday角的值分别从75%和3.6°变成了80%和4.0°。结果表明:高的透射率和大Faraday角可以在晶粒尺寸为纳米量级的薄膜中共存。
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关键词
bi
:
yig
薄膜
磁光效应
Faraday角
纳米晶粒
下载PDF
职称材料
掺Bi钇铁石榴石薄膜光波导的线性双折射及消除方法
3
作者
张颖
欧阳嘉
何华辉
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995年第2期225-229,共5页
分析了光的线性双折射对磁光波导TE-TM模式转换、法拉第旋转、波导光隔离器隔离比及插入损耗的影响。研究了掺Bi钇铁石榴石薄膜光波导中的形状线性双折射、应力感生线性双折射及生长感生线性双折射的来源、特性和消除方法。
关键词
bi
:
yig
薄膜
光波导
线性双折射
消除方法
原文传递
题名
退火工艺对射频磁控溅射Bi:YIG薄膜磁性能的影响
被引量:
6
1
作者
杨青慧
张怀武
刘颖力
文岐业
机构
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
出处
《材料研究学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期187-190,共4页
基金
国家自然科学基础杰出青年基金6042510~~
文摘
对于用射频磁控溅射技术在Si基片上制备的Bi:YIG系薄膜,用快速循环退火方法对其进行晶化处理,研究了退火温度对Bi:YIG薄膜结晶状态和形貌的影响,以及退火气氛和循环周期对薄膜性能的影响.结果表明,用快速循环退火可以在Si单晶基片上得到磁性能优良的薄膜(饱和磁化强度139 kA/m,矫顽力6.37 kA/m)并使薄膜形貌有较大改善,在石英基片上制备的薄膜法拉第角比常规退火的薄膜增大了约一倍.
关键词
无机非金属材料
快速循环退火
bi
:
yig
薄膜
饱和磁化强度
矫顽力
Keywords
inorganic non-metallic materials, recurrent rapid thermal annealing,
bi
:
yig
film, saturation magnetization, coercive force
分类号
TB321 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
Bi:YIG纳米薄膜的磁光特性(英文)
被引量:
2
2
作者
杨青慧
张怀武
刘颖力
文岐业
机构
电子科技大学电子薄膜与集成器件重点实验室
出处
《硅酸盐学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第9期1190-1193,共4页
基金
杰出青年基金(新磁电材料及组件的 LTCC 混合集成应用基础研究,60425102)资助项目。
文摘
用射频磁控溅射和快速退火方法制备了纳米量级的Bi:YIG薄膜,研究了薄膜的磁光特性。当晶粒尺寸从150nm 降到80nm时,透射率和Faraday角的值分别从75%和3.6°变成了80%和4.0°。结果表明:高的透射率和大Faraday角可以在晶粒尺寸为纳米量级的薄膜中共存。
关键词
bi
:
yig
薄膜
磁光效应
Faraday角
纳米晶粒
Keywords
bi
:
yig
film
magneto-optical effect
Faraday angle
namometer crystal grain
分类号
TM277.3 [一般工业技术—材料科学与工程]
下载PDF
职称材料
题名
掺Bi钇铁石榴石薄膜光波导的线性双折射及消除方法
3
作者
张颖
欧阳嘉
何华辉
机构
华中理工大学固体电子学系
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995年第2期225-229,共5页
文摘
分析了光的线性双折射对磁光波导TE-TM模式转换、法拉第旋转、波导光隔离器隔离比及插入损耗的影响。研究了掺Bi钇铁石榴石薄膜光波导中的形状线性双折射、应力感生线性双折射及生长感生线性双折射的来源、特性和消除方法。
关键词
bi
:
yig
薄膜
光波导
线性双折射
消除方法
Keywords
bi
:
yig
thin film, magneto-optic waveguide, optical isolator, linear
bi
refringence
分类号
TN252 [电子电信—物理电子学]
O484.4 [理学—固体物理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
退火工艺对射频磁控溅射Bi:YIG薄膜磁性能的影响
杨青慧
张怀武
刘颖力
文岐业
《材料研究学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
6
下载PDF
职称材料
2
Bi:YIG纳米薄膜的磁光特性(英文)
杨青慧
张怀武
刘颖力
文岐业
《硅酸盐学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
2
下载PDF
职称材料
3
掺Bi钇铁石榴石薄膜光波导的线性双折射及消除方法
张颖
欧阳嘉
何华辉
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995
0
原文传递
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
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