阴极弧离子源磁过滤器的磁场设计与数值模拟

对于阴极弧离子源,磁过滤器的磁场设计是提高其性能的关键技术之一。针对现有磁过滤器对大颗粒过滤不足之处,本文利用永磁体优化磁过滤器的磁场位形,并且增大磁过滤器出口面积等方法,对弯管磁过滤器进行结构和磁场优化设计。由模拟结果可知:此过滤器具有弯管过滤、Bilek偏压、较大的出口面积、出口平面磁场强度大小均匀分布等优点。

磁过滤弯管中的电子运动模式

研究了在磁场和电场综合模式下磁过滤弯管中电子的运动方式及其对离子运动方式的影响 .在Bilek偏压模式下 ,更多的电子参与震荡运动 ,电子与粒子碰撞机会增大 ,导致电子向Bilek板扩散增强 ,这样会导致离子跟随电子也偏向下方 。