Bimorph结构微热执行器的节点分析方法

MEMS系统设计的节点分析法已成功应用于机电耦合器件的仿真,且已表明是一种简单实用的方法。本文在已有静态模型的基础上,通过对传热行为的分解以及引入等效质量,建立了Bimorph结构热执行器的动态节点模型。同时选取在电子行业得到普遍应用的电路仿真软件SPICE作为模型仿真平台,并将建立的节点分析模型应用于电路仿真平台。此模型数值实验证明,此方法和有限元分析软件ANSYS的仿真结果吻合较好,而且计算效率高,可在实际器件设计中作为参考。

电热驱动Bimorph微执行器对流系数估算方法研究

随着电热驱动MEMS器件尺寸进一步缩小,传统热对流系数的取值已无法满足微系统分析建模需求。针对电热型Bimorph结构的MEMS微镜驱动器,通过分析其温度分布,并以其平均温度为参考指标建立简单热阻和对流热阻分段模型,推算出微尺度下精确的对流系数,提高了微执行器设计模型的驱动性能。经理论计算和实验测试验证,对流系数值的误差在8.1%以内,满足实际设计需求,验证了该方法的合理性和可行性。

基于MEMS技术的太赫兹可调波导带阻滤波器

本文提出了一种基于双层弯曲热微执行器的新颖的调谐方式,太赫兹带阻滤波器采用波导加载金属块的形式。双层弯曲热微执行器驱动金属膜片移动,利用可动金属膜片改变波导中加载金属块周围的电磁场分布达到调谐的目的。设计了一款中心频率为275.1 GHz的可调带阻滤波器,仿真结果显示,双层弯曲热微执行器产生180μm位移时,滤波器实现了中心频率23.2 GHz的调谐范围,反射衰减由24.7 d B变化到15.9 d B。