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国外双极超高频技术的进展
被引量:
2
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作者
武俊齐
《微电子学》
CAS
CSCD
1993年第3期9-16,共8页
本文综述了八十年代末、九十年代初国外先进双极技术的发展动态。对外延基区双极技术,硼硅玻璃自对准双极技术等进行了详细的分析和叙述。
关键词
外延基区
自对准技术
双极集成电路
下载PDF
职称材料
题名
国外双极超高频技术的进展
被引量:
2
1
作者
武俊齐
机构
电子工业部第
出处
《微电子学》
CAS
CSCD
1993年第3期9-16,共8页
文摘
本文综述了八十年代末、九十年代初国外先进双极技术的发展动态。对外延基区双极技术,硼硅玻璃自对准双极技术等进行了详细的分析和叙述。
关键词
外延基区
自对准技术
双极集成电路
Keywords
bipolar technology
,
epitaxial base technique. bsa technique
分类号
TN431 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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作者
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国外双极超高频技术的进展
武俊齐
《微电子学》
CAS
CSCD
1993
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