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双面抛光晶圆干涉测量法及误差分析 被引量:1
1
作者 边小月 韩森 吴泉英 《中国光学(中英文)》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第4期916-932,共17页
为了实现双面抛光晶圆总厚度变化(TTV)和变形程度中弯曲度(Bow)和翘曲度(Warp)的测量,提出了一种干涉测量方法。采用两个带有标准镜的菲索式相移干涉仪对晶圆正反面同时进行测量,将测量所得晶圆正反面形貌与未放置晶圆时两个干涉仪的空... 为了实现双面抛光晶圆总厚度变化(TTV)和变形程度中弯曲度(Bow)和翘曲度(Warp)的测量,提出了一种干涉测量方法。采用两个带有标准镜的菲索式相移干涉仪对晶圆正反面同时进行测量,将测量所得晶圆正反面形貌与未放置晶圆时两个干涉仪的空腔形貌进行组合运算,可得到不受标准镜误差影响的双面抛光晶圆的表面相关参数。在组合运算中,由于两个标准镜未精确对准会产生映射误差,影响相关参数的测量结果。针对这一问题,在晶圆测量之前,将三点定位装置固定在两个标准镜之间,基于三点定圆定理不断调整两个标准镜的位置,可使映射误差极小,进而减小映射误差对测量结果的影响。实验结果表明,50 mm晶圆横向和纵向的映射误差分别为21.592μm和37.480μm,TTV、弯曲度和翘曲度分别为0.198μm、−0.326μm和1.423μm。为了进一步验证调整方法的有效性,采用单个干涉仪对晶圆进行翻转测量,由测量结果可知晶圆的TTV、弯曲度和翘曲度分别为0.208μm、−0.326μm和1.415μm。所提干涉法在调整好两个标准镜的位置后,可以方便快速的用于大批量大尺寸晶圆的测量,提高了晶圆的检测效率,同时具有较高的测量精度。 展开更多
关键词 干涉测量 双面抛光晶圆 误差分析 总厚度变化 翘曲度 弯曲度
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楔形船艏撞击舷侧外板的结构响应分析 被引量:6
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作者 孙斌 胡志强 王晋 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2016年第23期46-50,79,共6页
楔形船艏是船舶最常见的设计之一,船舶的舷侧结构遭受楔形船艏撞击事故时有发生,因而船侧外板结构的抗撞性能应予以足够重视。以船舶舷侧外板为研究对象,运用塑性力学理论和数值仿真技术,分析了舷侧外板结构在受到楔形船艏的撞击时的变... 楔形船艏是船舶最常见的设计之一,船舶的舷侧结构遭受楔形船艏撞击事故时有发生,因而船侧外板结构的抗撞性能应予以足够重视。以船舶舷侧外板为研究对象,运用塑性力学理论和数值仿真技术,分析了舷侧外板结构在受到楔形船艏的撞击时的变形损伤机理;研究中应用LS_DYNA仿真模拟得到舷侧外板的变形模态和能量耗散情况,在此基础上建立起舷侧外板塑性变形的几何数学模型。运用塑性力学理论得到舷侧外板在变形过程中变形阻力的解析计算公式,经数值仿真验证其准确性;研究成果对船舶舷侧抗撞性结构设计具有指导意义。 展开更多
关键词 船舶碰撞 楔形船艏 舷侧外板 解析计算 数值仿真
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一种基于Minkowski分形边界的小型化宽频蝶形天线 被引量:5
3
作者 刘海文 覃凤 +3 位作者 雷久淮 王言 杨峰 彭苏萍 《江西师范大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2014年第2期124-127,共4页
利用Minkowski分形边界结构,设计了一款面向全球定位系统应用的宽频带蝶形天线.通过对不同迭代次数的分形天线进行仿真对比,选取2次迭代的分形结构设计了工作于GPS波段的蝶形天线,加工制作出该天线并对其进行测试,测试结果和仿真结果吻... 利用Minkowski分形边界结构,设计了一款面向全球定位系统应用的宽频带蝶形天线.通过对不同迭代次数的分形天线进行仿真对比,选取2次迭代的分形结构设计了工作于GPS波段的蝶形天线,加工制作出该天线并对其进行测试,测试结果和仿真结果吻合较好,从而验证了设计方法的正确性.与具有相同谐振频率的方形贴片天线相比,该天线面积缩减了约28.7%,这说明分形结构的空间填充性可以用来增加天线辐射单元的有效电长度,实现天线的小型化设计,而且分形结构的引入对天线的方向图特性没有影响. 展开更多
关键词 碟形天线 Minkowski分形边界 宽频带 小型化
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Analysis of structural behavior during collision event accounting for bow and side structure interaction 被引量:5
4
作者 Aditya Rio Prabowo Dong Myung Bae +3 位作者 Jung Min Sohn Ahmad Fauzan Zakki Bo Cao Qing Wang 《Theoretical & Applied Mechanics Letters》 CAS CSCD 2017年第1期6-12,共7页
The main goal of this study was to investigate the effects of selected ship collision parameter values on the characteristics of the absorbed energy in several ship collision scenarios. Non-linear simulations were per... The main goal of this study was to investigate the effects of selected ship collision parameter values on the characteristics of the absorbed energy in several ship collision scenarios. Non-linear simulations were performed using a finite element method (FEM) to obtain virtual experiment data. In the present research, the size of the side damage from a collision phenomenon were measured and used to verify the numerical configuration together with the calculation results using an empirical equation. Parameters in the external dynamics of a ship collision such as the location of the contact point and velocity of the striking ship were taken into consideration. The internal energy and deformation size on the side structure were discussed further in a comparative study. The effects of the selected parameters on several structural behaviors, namely energy, force, and damage extent were also observed and evaluated in this section. Stiffener on side hull was found to contribute significantly into resistance capability of the target ship against penetration of the striking bow. Remarkable force during penetration was observed to occur when inner shell was crushed as certain velocity was applied in the striking bow. 展开更多
关键词 Collision phenomenon bow-side hull interaction Finite element analysisInternal energy Damage extent
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经寰椎后弓侧块螺钉固定治疗上颈椎损伤 被引量:5
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作者 李松巍 张明 陈斌辉 《骨与关节损伤杂志》 2004年第10期654-656,共3页
目的评估经寰椎后弓侧块螺钉固定应用于上颈椎损伤的价值和作用.方法对13例上颈椎损伤患者进行后路经寰后弓侧块行钉棒系统复位内固定,植骨融合,重建上颈椎的稳定性.结果13例获2~18个月随访,无术中、术后并发症头部前曲、后伸活动好,... 目的评估经寰椎后弓侧块螺钉固定应用于上颈椎损伤的价值和作用.方法对13例上颈椎损伤患者进行后路经寰后弓侧块行钉棒系统复位内固定,植骨融合,重建上颈椎的稳定性.结果13例获2~18个月随访,无术中、术后并发症头部前曲、后伸活动好,左右旋转活动有受限,未见螺钉松动及钉棒断裂现象.结论经寰椎后弓侧块螺钉固定可使固定节获得高度的内在稳定性,同时保留枕颈间的运动功能,并发症少,适用于上颈椎损伤需重建稳定性的治疗. 展开更多
关键词 经寰椎后弓侧块螺钉 固定治疗 上颈椎损伤 手术方法
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船舶首侧推器适用的船速域 被引量:10
6
作者 徐周华 《武汉理工大学学报(交通科学与工程版)》 北大核心 2002年第1期116-119,共4页
从侧推器在实践中的应用入手 ,通过对船舶在各船速域中单独使用首侧推器和单独使用舵设备进行船舶改向操纵时船舶转首角速度的定性分析 ,及从侧推力转船力矩和吸附效应两方面对船舶处于各船速域时首侧推器的使用效果进行分析 ,为深入研... 从侧推器在实践中的应用入手 ,通过对船舶在各船速域中单独使用首侧推器和单独使用舵设备进行船舶改向操纵时船舶转首角速度的定性分析 ,及从侧推力转船力矩和吸附效应两方面对船舶处于各船速域时首侧推器的使用效果进行分析 ,为深入研究首侧推器所适用的速度域问题 ,提供有力的帮助 . 展开更多
关键词 侧推器 首侧推器 船速域 吸附效应 平衡导管
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基于不同形式和刚度撞击船艏的舷侧结构碰撞性能研究 被引量:6
7
作者 张延昌 刘昆 王自力 《江苏科技大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2010年第5期423-427,共5页
为了研究撞击船艏形状及刚度对碰撞历程损伤变形产生的影响,利用数值仿真软件MSC/Dytran,对不同形式及刚度的球艏型船艏撞击下被撞船舷侧结构的碰撞性能进行了定量的分析研究.结果表明:船艏形式及刚度对船舶碰撞安全性会产生影响,撞击... 为了研究撞击船艏形状及刚度对碰撞历程损伤变形产生的影响,利用数值仿真软件MSC/Dytran,对不同形式及刚度的球艏型船艏撞击下被撞船舷侧结构的碰撞性能进行了定量的分析研究.结果表明:船艏形式及刚度对船舶碰撞安全性会产生影响,撞击船艏部与被撞船舷侧的接触面积越大,舷侧结构吸能越多,其碰撞安全性也就越好.考虑实际船艏结构刚度的影响可以提高极限撞深,从而增加舷侧各构件的吸能效果,对舷侧结构的碰撞安全性有利. 展开更多
关键词 船舶碰撞 舷侧结构 船艏形式 船艏刚度 数值仿真 碰撞安全性
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三船并排首尾锚泊时港内允许波高的试验研究 被引量:2
8
作者 孙一艳 于德双 +1 位作者 雷鹏 李金宣 《水运工程》 北大核心 2018年第1期50-56,共7页
目前我国渔港港内锚地允许波高是参照国外规定根据经验确定的,国内缺乏相应研究。以212 k W(275 HP)拖网渔船为代表船型进行三船并排首尾锚泊的物理模型试验,研究不规则波作用下并排渔船的锚泊力及运动量的情况,同时与单船锚泊时的结果... 目前我国渔港港内锚地允许波高是参照国外规定根据经验确定的,国内缺乏相应研究。以212 k W(275 HP)拖网渔船为代表船型进行三船并排首尾锚泊的物理模型试验,研究不规则波作用下并排渔船的锚泊力及运动量的情况,同时与单船锚泊时的结果进行对比。结果表明:三船并排锚泊时内侧非直接受浪作用的渔船,其拉力和横摇角度均大于最外侧直接受浪作用的渔船;当港内波高较大且周期也较大时,三船并排锚泊比单船锚泊安全性更高些;在本次试验范围内,三船并排首尾双锚锚泊时的允许有效波高比单船允许的波高要偏大,建议取为0.9 m。 展开更多
关键词 三船并排首尾锚泊 允许波高 锚泊力 运动量
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提高GCr15洁净度的生产技术实践
9
作者 王进辉 廖友祥 +1 位作者 占向阳 彭家祥 《江西冶金》 2014年第3期23-26,共4页
通过采用电炉底侧吹新工艺,并不断优化初炼炉、LF炉冶炼工艺,降低了初炼炉钢水氧的体积分数,氧的体积分数由5×10-4降低至2×10-4,轴承钢成品中氧的体积分数降至(6~9)×10-6,极大地改善了连铸钢水的可浇性,明显提... 通过采用电炉底侧吹新工艺,并不断优化初炼炉、LF炉冶炼工艺,降低了初炼炉钢水氧的体积分数,氧的体积分数由5×10-4降低至2×10-4,轴承钢成品中氧的体积分数降至(6~9)×10-6,极大地改善了连铸钢水的可浇性,明显提高了钢质洁净度。 展开更多
关键词 轴承钢 底侧吹 工艺优化 洁净钢 氧气
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基于AQWA的渔船排列形式对运动和系泊力响应的影响分析 被引量:4
10
作者 曹力玮 陶爱峰 +2 位作者 张尧 黄婉茹 张旭 《水道港口》 2021年第3期289-296,共8页
渔船作为海洋渔业的重要经济载体,渔船安全一直备受关注,但极端天气下港内锚泊渔船倾覆、断缆的情况时有发生。利用水动力分析软件AQWA,分别建立的单船、双船并排与三船并排首尾锚泊模型,计算不规则波作用下首尾锚泊渔船的时域运动响应... 渔船作为海洋渔业的重要经济载体,渔船安全一直备受关注,但极端天气下港内锚泊渔船倾覆、断缆的情况时有发生。利用水动力分析软件AQWA,分别建立的单船、双船并排与三船并排首尾锚泊模型,计算不规则波作用下首尾锚泊渔船的时域运动响应与系缆力,分析不同波高和周期条件下船舶排列形式对横摇角度和系缆力的影响。计算结果表明,双船或三船并排锚泊能有效抑制横浪作用下船舶的横摇角度;三船并排锚泊时,中间船的横摇角度会大于两侧船只;并排锚泊时,系泊力随波浪周期的增大而增大;出于渔船安全考虑,渔港内波高与波周期均较大的区域,宜采用多船并排锚泊形式。 展开更多
关键词 渔船 AQWA 首尾锚泊 并排多船 运动响应 系泊力
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大倾角煤层沿空留巷弓形柔性掩护支架控制技术 被引量:6
11
作者 沈平 姜永东 +3 位作者 杨启军 邹勇 谢英亮 李广 《煤炭科学技术》 CAS CSCD 北大核心 2021年第3期37-42,共6页
大倾角煤层占我国煤炭总储量的15%~20%,在我国西部,50%以上的煤矿属于大倾角煤层,为了实现大倾角煤层沿空留巷,需研发新型沿空留巷技术。基于大倾角煤层开采岩层移动"厂"型结构模型,发明了弓形柔性掩护支架,并成功应用于石洞... 大倾角煤层占我国煤炭总储量的15%~20%,在我国西部,50%以上的煤矿属于大倾角煤层,为了实现大倾角煤层沿空留巷,需研发新型沿空留巷技术。基于大倾角煤层开采岩层移动"厂"型结构模型,发明了弓形柔性掩护支架,并成功应用于石洞沟煤矿31321大倾角采煤工作面,实现了沿空留巷,减少了煤炭损失,提高了采出率。研究结果表明:研制的弓形柔性掩护支架系统具有刚柔并举的功能,即单根支架刚度大,能承受高压力,在垮落带矸石的推力作用下,支架系统可整体水平移动,具有柔性功能。通过现场试验,发现弓形柔性掩护支架沿空留巷,充分发挥了支架的支撑和掩护作用,支架承受顶板的压力较小,不会发生向下弯曲和断裂,支架与压实的垮落带形成的组合体结构,能有效控制矿山压力,正常时期、来压期间,支架安全系数分别为2.724、1.363,且支架可回收重复利用。研究成果为大倾角煤层无煤柱开采提出了一种新的方法。 展开更多
关键词 大倾角煤层 沿空留巷 弓形柔性掩护支架
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基板拱度类型对IGBT模块应力的影响 被引量:2
12
作者 常桂钦 窦泽春 +2 位作者 彭勇殿 方杰 曾雄 《大功率变流技术》 2017年第1期45-49,共5页
为研究基板拱度类型对IGBT模块应力的影响,建立了双面拱与单面拱基板的IGBT模块三维有限元模型;利用ANSYS LS-DYNA求解器计算得到了装配及工作状态下IGBT模块的热应力与基板拱度变化。仿真结果显示,在散热器上的模块处于装配及工作状态... 为研究基板拱度类型对IGBT模块应力的影响,建立了双面拱与单面拱基板的IGBT模块三维有限元模型;利用ANSYS LS-DYNA求解器计算得到了装配及工作状态下IGBT模块的热应力与基板拱度变化。仿真结果显示,在散热器上的模块处于装配及工作状态下,单面拱基板封装的模块热应力均低于双面拱基板的,而单面拱基板拱度变化与双面拱基板拱度变化相当。 展开更多
关键词 IGBT模块 基板 单面拱 双面拱 热应力 拱度
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PSV艏侧推安装工艺研究与应用 被引量:1
13
作者 陆军 《造船技术》 2016年第4期63-66,74,共5页
以某公司首制4 000DWT平台供应船(Platform Supply Vessel,下文简称PSV)上艏侧推为对象,简要介绍了PSV艏侧推的设计选型,并研究了其安装工艺及应用难点,为日后其他类似的设计和安装提供了借鉴和帮助。
关键词 PSV 艏侧推 驱动方式 对接
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大跨径混凝土双塔双索面部分斜拉桥概念设计 被引量:1
14
作者 何培 孙建渊 《科技通报》 2018年第2期220-226,共7页
大跨径混凝土双塔双索面部分斜拉桥设计的关键是双索面布置的箱型主梁构造及其可靠的传力构造。以部分斜拉桥力学性能分析为依据确定结构总体布置。通过概念设计提出了具有稳定三角边室的主梁截面构造,以适应斜拉索锚固力的局部作用。... 大跨径混凝土双塔双索面部分斜拉桥设计的关键是双索面布置的箱型主梁构造及其可靠的传力构造。以部分斜拉桥力学性能分析为依据确定结构总体布置。通过概念设计提出了具有稳定三角边室的主梁截面构造,以适应斜拉索锚固力的局部作用。主墩区域变高度主梁采用“脊骨”型纵向立面构造,以达到线形的平顺及美观。为满足主梁整体受力及局部传力,提出了多向预应力尤其是“弓形”预应力束的布置方案,并优化分析确定了在有索区主梁三角边室内设置加劲肋以替代整体横隔板的横向传力构造。 展开更多
关键词 三角边室 “脊骨”型主梁 “弓形”预应力 加劲肋
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船首形状对舷侧结构碰撞性能的影响研究 被引量:13
15
作者 刘昆 张延昌 王自力 《船舶工程》 CSCD 北大核心 2010年第2期13-16,31,共5页
船舶碰撞问题一直是船舶力学界研究的热点,但以往的研究并没有深入分析各类船舶的不同艏部形状对碰撞性能所产生的影响.为此利用数值仿真软件MSC/Dytran,对具有不同曲率的球鼻型船首和不同张角的常规船首撞击下舷侧结构的碰撞性能进行... 船舶碰撞问题一直是船舶力学界研究的热点,但以往的研究并没有深入分析各类船舶的不同艏部形状对碰撞性能所产生的影响.为此利用数值仿真软件MSC/Dytran,对具有不同曲率的球鼻型船首和不同张角的常规船首撞击下舷侧结构的碰撞性能进行了定量的比较研究.结果表明,撞击船首部形状对被撞船舷侧结构的碰撞性能产生显著的影响,撞击船球鼻曲率形状参数越小或艏部张角越大,舷侧结构极限撞深提高,碰撞力增大,极限撞深时的吸能增多. 展开更多
关键词 船舶碰撞 碰撞性能 舷侧结构 撞击船首 球鼻曲率 艏部张角
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