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X射线成像光学的新进展:Bragg-Fresnel多层膜元件
被引量:
1
1
作者
乐孜纯
王占山
马月英
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
1996年第2期1-6,共6页
简要叙述了X射线反射式衍射光学元件──Bragg-Fresnel多层膜元件产生和发展的过程。介绍了它的基本原理及它的设计和制作步骤。对其应用前景作了简要分析,并对开展这方面的研究工作提出了一些设想。
关键词
多层膜
刻蚀
X射线
光学元件
衍射
反射
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职称材料
X射线Bragg-Fresnel元件中衍射图形制作技术研究
被引量:
3
2
作者
乐孜纯
梁静秋
+4 位作者
姚劲松
李春
叶露
曹健林
邢红梅
《微细加工技术》
1998年第2期45-50,共6页
本文研究X射线Bragg-Fresnel元件中衍射图形的制作技术。介绍了衍射图形制作技术方案的确定,金属吸收层厚度的计算,制作技术工艺流程及衍射图形测试结果。
关键词
衍射图形
微制造技术
B-F元件
X射线
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职称材料
软X射线Bragg-Fresnel二维聚焦镜的设计理论和方法
3
作者
乐孜纯
曹健林
《光学技术》
EI
CAS
CSCD
1997年第5期8-10,共3页
X射线Bragg-Fresnel元件是近十年发展起来的一种用于X射线波段的新型光学元件。本文介绍一种具有二维聚焦效能的Bragg-Fresnel元件的设计理论和方法。设计中采用衍射理论并用C语言编制计算机程序系统对衍...
X射线Bragg-Fresnel元件是近十年发展起来的一种用于X射线波段的新型光学元件。本文介绍一种具有二维聚焦效能的Bragg-Fresnel元件的设计理论和方法。设计中采用衍射理论并用C语言编制计算机程序系统对衍射图形进行设计。对于使用波长13.8nm,入射角5°,使用焦距200mm的使用条件,设计结果为35Mo/Si双层多层膜,周期厚度7.14nm,理论反射率约为60%;衍射图形共400个环带,最内环半宽度52.5μm,最外环宽度1.3μm。
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关键词
衍射图形
多层模模系
B-F元件
二维聚焦镜
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职称材料
题名
X射线成像光学的新进展:Bragg-Fresnel多层膜元件
被引量:
1
1
作者
乐孜纯
王占山
马月英
机构
中国科学院长春光学精密机械研究所
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
1996年第2期1-6,共6页
基金
国家自然科学基金
文摘
简要叙述了X射线反射式衍射光学元件──Bragg-Fresnel多层膜元件产生和发展的过程。介绍了它的基本原理及它的设计和制作步骤。对其应用前景作了简要分析,并对开展这方面的研究工作提出了一些设想。
关键词
多层膜
刻蚀
X射线
光学元件
衍射
反射
Keywords
multilayer
, Etching,
bragg
reflection on the
multilayer
,
fresnel
diffracting effect
分类号
TH74 [机械工程—光学工程]
O436 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
X射线Bragg-Fresnel元件中衍射图形制作技术研究
被引量:
3
2
作者
乐孜纯
梁静秋
姚劲松
李春
叶露
曹健林
邢红梅
机构
中国科学院长春光学精密机械研究所
长春煤炭科技中心
出处
《微细加工技术》
1998年第2期45-50,共6页
基金
国家自然科学基金
文摘
本文研究X射线Bragg-Fresnel元件中衍射图形的制作技术。介绍了衍射图形制作技术方案的确定,金属吸收层厚度的计算,制作技术工艺流程及衍射图形测试结果。
关键词
衍射图形
微制造技术
B-F元件
X射线
Keywords
bragg
fresnel
optical device
diffraction pattern
microfabrication technology
分类号
O434.1 [机械工程—光学工程]
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
软X射线Bragg-Fresnel二维聚焦镜的设计理论和方法
3
作者
乐孜纯
曹健林
机构
中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室
出处
《光学技术》
EI
CAS
CSCD
1997年第5期8-10,共3页
基金
国家自然科学基金
文摘
X射线Bragg-Fresnel元件是近十年发展起来的一种用于X射线波段的新型光学元件。本文介绍一种具有二维聚焦效能的Bragg-Fresnel元件的设计理论和方法。设计中采用衍射理论并用C语言编制计算机程序系统对衍射图形进行设计。对于使用波长13.8nm,入射角5°,使用焦距200mm的使用条件,设计结果为35Mo/Si双层多层膜,周期厚度7.14nm,理论反射率约为60%;衍射图形共400个环带,最内环半宽度52.5μm,最外环宽度1.3μm。
关键词
衍射图形
多层模模系
B-F元件
二维聚焦镜
Keywords
bragg fresnel lens
,
diffraction pattern
,
multilayer.
分类号
TH740.3 [机械工程—光学工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
X射线成像光学的新进展:Bragg-Fresnel多层膜元件
乐孜纯
王占山
马月英
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
1996
1
下载PDF
职称材料
2
X射线Bragg-Fresnel元件中衍射图形制作技术研究
乐孜纯
梁静秋
姚劲松
李春
叶露
曹健林
邢红梅
《微细加工技术》
1998
3
下载PDF
职称材料
3
软X射线Bragg-Fresnel二维聚焦镜的设计理论和方法
乐孜纯
曹健林
《光学技术》
EI
CAS
CSCD
1997
0
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职称材料
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