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X射线成像光学的新进展:Bragg-Fresnel多层膜元件 被引量:1
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作者 乐孜纯 王占山 马月英 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1996年第2期1-6,共6页
简要叙述了X射线反射式衍射光学元件──Bragg-Fresnel多层膜元件产生和发展的过程。介绍了它的基本原理及它的设计和制作步骤。对其应用前景作了简要分析,并对开展这方面的研究工作提出了一些设想。
关键词 多层膜 刻蚀 X射线 光学元件 衍射 反射
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X射线Bragg-Fresnel元件中衍射图形制作技术研究 被引量:3
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作者 乐孜纯 梁静秋 +4 位作者 姚劲松 李春 叶露 曹健林 邢红梅 《微细加工技术》 1998年第2期45-50,共6页
本文研究X射线Bragg-Fresnel元件中衍射图形的制作技术。介绍了衍射图形制作技术方案的确定,金属吸收层厚度的计算,制作技术工艺流程及衍射图形测试结果。
关键词 衍射图形 微制造技术 B-F元件 X射线
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软X射线Bragg-Fresnel二维聚焦镜的设计理论和方法
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作者 乐孜纯 曹健林 《光学技术》 EI CAS CSCD 1997年第5期8-10,共3页
X射线Bragg-Fresnel元件是近十年发展起来的一种用于X射线波段的新型光学元件。本文介绍一种具有二维聚焦效能的Bragg-Fresnel元件的设计理论和方法。设计中采用衍射理论并用C语言编制计算机程序系统对衍... X射线Bragg-Fresnel元件是近十年发展起来的一种用于X射线波段的新型光学元件。本文介绍一种具有二维聚焦效能的Bragg-Fresnel元件的设计理论和方法。设计中采用衍射理论并用C语言编制计算机程序系统对衍射图形进行设计。对于使用波长13.8nm,入射角5°,使用焦距200mm的使用条件,设计结果为35Mo/Si双层多层膜,周期厚度7.14nm,理论反射率约为60%;衍射图形共400个环带,最内环半宽度52.5μm,最外环宽度1.3μm。 展开更多
关键词 衍射图形 多层模模系 B-F元件 二维聚焦镜
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