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Preparation of Scratch-Resistant Nano-Porous Silica Films Derived by Sol-Gel Process and Their Anti-reflective Properties
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作者 Guangming WU, Jun SHEN, Tianhe YANG, Bin ZHOU and Jue WANGPohl Institute of Solid State Physics, Tongji University, Shanghai 200092, China 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2003年第4期299-302,共4页
Structural strengthening of the nano porous silica films has been reported. The films were prepared with a base/acid two-step catalyzed TEOS-based sol-gel processing and dip-coating, and then baked in the mixed gas of... Structural strengthening of the nano porous silica films has been reported. The films were prepared with a base/acid two-step catalyzed TEOS-based sol-gel processing and dip-coating, and then baked in the mixed gas of ammonia and water vapor. The silica films were characterized with TEM, AFM, FTIR, spectrophotometer, ellipsometer, and abrasion test, respectively. The experimental results have shown that the films have a nanostructure with a low refractive index and can form an excellent scratch-resistant broadband anti-reflectance. The two-step catalysis noticeably strengthens the films, and the mixed gas treatment further improves mechanical strength of the silica network. Finally the strengthening mechanism has been discussed. 展开更多
关键词 Sol-gel process Silica films anti-reflectance Nano porous structure
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Broadband,polarization-insensitive,and wide-angle microwave absorber based on resistive film 被引量:1
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作者 布丹丹 岳春生 +2 位作者 张广求 胡永涛 董胜 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第6期528-532,共5页
A simple design of broadband metamaterial absorber(MA) based on resistive film is numerically presented in this paper.The unit cell of this absorber is composed of crossed rectangular rings-shaped resistive film,die... A simple design of broadband metamaterial absorber(MA) based on resistive film is numerically presented in this paper.The unit cell of this absorber is composed of crossed rectangular rings-shaped resistive film,dielectric substrate,and continuous metal film.The simulated results indicate that the absorber obtains a 12.82-GHz-wide absorption from about 4.75 GHz to 17.57 GHz with absorptivity over 90% at normal incidence.Distribution of surface power loss density is illustrated to understand the intrinsic absorption mechanism of the structure.The proposed structure can work at wide polarization angles and wide angles of incidence for both transverse electric(TE) and transverse magnetic(TM) waves.Finally,the multi-reflection interference theory is involved to analyze and explain the broadband absorption mechanism at both normal and oblique incidence.Moreover,the polarization-insensitive feature is also investigated by using the interference model.It is seen that the simulated and calculated absorption rates agree fairly well with each other for the absorber. 展开更多
关键词 broadband metamaterial absorber resistive film multi-reflection interference theory
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Microstructure Analysis and Properties of Anti-Reflection Thin Films for Spherical Silicon Solar Cells
3
作者 Masato Kanayama Takeo Oku +6 位作者 Tsuyoshi Akiyama Youichi Kanamori Satoshi Seo Jun Takami Yoshimasa Ohnishi Yoshikazu Ohtani Mikio Murozono 《Energy and Power Engineering》 2013年第2期18-22,共5页
Structure and properties of anti-reflection thin films of spherical silicon solar cells were investigated and discussed. Conversion efficiencies of spherical Si solar cells coated with F-doped SnO2 anti-reflection fil... Structure and properties of anti-reflection thin films of spherical silicon solar cells were investigated and discussed. Conversion efficiencies of spherical Si solar cells coated with F-doped SnO2 anti-reflection films were improved by annealing. Optical absorption and fluorescence of the solar cells increased after annealing. Lattice constants of F-doped SnO2 anti-reflection layers, which were investigated by X-ray diffraction, decreased after annealing. A mechanism of atomic diffusion of F in SnO2 was discussed. The present work indicated a guideline for spherical silicon solar cells with higher efficiencies. 展开更多
关键词 SOLAR Cells SPHERICAL Silicon anti-reflectION film FTO SNO2
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GaAs太阳电池中减反射薄膜的梯度折射率调控
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作者 吴昊 涂洁磊 +4 位作者 杨宇羽 谢雨岑 杨艳云 徐章洋 张琪鑫 《云南师范大学学报(自然科学版)》 2024年第2期13-17,共5页
使用溶胶凝胶法制备了TiO_(2)和SiO_(2)两种材料,结合梯度折射率的结构设计将不同比例的TiO_(2)/SiO_(2)沉积在GaAs太阳能电池上实现宽带减反射效果,最终制备的6层减反射薄膜在200~1 800 nm的波长范围内平均反射率为8.7%,同时确定了300... 使用溶胶凝胶法制备了TiO_(2)和SiO_(2)两种材料,结合梯度折射率的结构设计将不同比例的TiO_(2)/SiO_(2)沉积在GaAs太阳能电池上实现宽带减反射效果,最终制备的6层减反射薄膜在200~1 800 nm的波长范围内平均反射率为8.7%,同时确定了300℃的退火温度和1 000μm/s的提拉速度为制备薄膜的最佳工艺条件. 展开更多
关键词 溶胶凝胶 梯度折射率 宽带减反射膜
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穿孔板-膜腔复合型隔声罩隔声特性研究
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作者 叶天贵 胡世尧 +1 位作者 靳国永 闫燕 《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第6期1093-1101,共9页
针对低频隔声问题,本文提出一种穿孔板-膜腔复合型隔声结构。基于有限元法建立了隔声结构单胞模型,开展了单胞模型声学特性分析及构型优化;在此基础上,建立大尺寸穿孔板-膜腔复合型隔声板数值仿真模型,探究其隔声性能及框架对隔声性能... 针对低频隔声问题,本文提出一种穿孔板-膜腔复合型隔声结构。基于有限元法建立了隔声结构单胞模型,开展了单胞模型声学特性分析及构型优化;在此基础上,建立大尺寸穿孔板-膜腔复合型隔声板数值仿真模型,探究其隔声性能及框架对隔声性能的影响规律,结合仿真结果开展多层薄膜型隔声板隔声性能研究;建立穿孔板-膜腔复合型隔声罩仿真分析模型,分析多层薄膜型隔声罩的隔声性能,设计附加吸声材料的多层薄膜型隔声罩;研制隔声罩样件,实验证明该样件具备较好的低频隔声性能。 展开更多
关键词 低频隔声 有限元法 多层薄膜 低频宽带 隔声罩 穿孔板 插入损失 实验验证
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金属化膜电容元件宽频特性研究
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作者 易承乾 李超然 +6 位作者 张波 贾华 盖斌 黄葵 邓光昭 吴云翼 李婉 《电力电容器与无功补偿》 2024年第1期164-168,共5页
金属化膜电容器被广泛使用在换流阀等电工装备中,在电力电子开关快速动作的影响下,电容器将承受高频冲击,因此有必要研究宽频范围内电容器的特性。本文以单个电容元件为研究对象,使用数字电桥对20 Hz~2 MHz范围内电容元件的阻抗特性进... 金属化膜电容器被广泛使用在换流阀等电工装备中,在电力电子开关快速动作的影响下,电容器将承受高频冲击,因此有必要研究宽频范围内电容器的特性。本文以单个电容元件为研究对象,使用数字电桥对20 Hz~2 MHz范围内电容元件的阻抗特性进行了测量,通过数据拟合和实验测量结合的方式建立了等效电路模型,并对不同频率下的阻抗特性和等效电路参数进行了分析。研究结果表明:在低频(<150 kHz)下,参数恒定的等效电路模型可准确地描述电容元件的阻抗特性和内部物理过程;而在高频(>150 kHz)下,电容元件内部不同区域的电流分布将发生变化,导致电容元件的等效电感和等效电阻等参数发生频变,引起阻抗特性发生变化。本文结果可对分析高频冲击下电容器劣化机理提供指导。 展开更多
关键词 金属化膜电容器 宽频特性 等效电路 频变参数
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Absorption enhancement in thin film a-Si solar cells with double-sided SiO_2 particle layers 被引量:1
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作者 陈乐 王庆康 +3 位作者 沈向前 陈文 黄堃 刘代明 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第10期186-190,共5页
Light absorption enhancement is very important for improving the power conversion efficiency of a thin film a-Si solar cell. In this paper, a thin-film a-Si solar cell model with double-sided SiO2 particle layers is d... Light absorption enhancement is very important for improving the power conversion efficiency of a thin film a-Si solar cell. In this paper, a thin-film a-Si solar cell model with double-sided SiO2 particle layers is designed, and then the underlying mechanism of absorption enhancement is investigated by finite difference time domain(FDTD) simulation;finally the feasible experimental scheme for preparing the SiO2 particle layer is discussed. It is found that the top and bottom SiO2 particle layers play an important role in anti-reflection and light trapping, respectively. The light absorption of the cell with double-sided SiO2 layers greatly increases in a wavelength range of 300 nm-800 nm, and the ultimate efficiency increases more than 22% compared with that of the flat device. The cell model with double-sided SiO2 particle layers reported here can be used in varieties of thin film solar cells to further improve their performances. 展开更多
关键词 thin film a-Si solar cells light trapping anti-reflectION Si02 particle
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C波段宽带薄膜体声波滤波器设计及验证
8
作者 蒋世义 蒋平英 +4 位作者 马晋毅 陈彦光 徐阳 刘娅 徐溢 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第4期535-539,共5页
介绍了一种适用于三维堆叠的凸点式晶圆级封装的小型化C波段宽带薄膜体声波滤波器的设计方法,并进行了工艺验证。通过对压电层薄膜进行钪掺杂、材料参数提取、结构模型优化实现了相对带宽大于5%的薄膜体声波滤波器设计。通过表面硅基微... 介绍了一种适用于三维堆叠的凸点式晶圆级封装的小型化C波段宽带薄膜体声波滤波器的设计方法,并进行了工艺验证。通过对压电层薄膜进行钪掺杂、材料参数提取、结构模型优化实现了相对带宽大于5%的薄膜体声波滤波器设计。通过表面硅基微机电系统(MEMS)工艺制备与凸点式晶圆级封装实现滤波器制备。研制出标称频率5800 MHz、插入损耗小于2.8 dB、阻带抑制大于40 dBc、体积仅1.0 mm×1.0 mm×0.35 mm的C波段宽带薄膜体声波滤波器。 展开更多
关键词 薄膜体声波谐振器(FBAR) 宽带 高抑制度
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基于电阻膜与超材料的超薄宽频吸波体设计 被引量:4
9
作者 张泽奎 王东红 +1 位作者 王蓬 李宝毅 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第4期4213-4216,共4页
设计了一种基于多层电阻膜和超材料的超薄宽频吸波体模型。该吸波体由两层含介质基板的电阻膜片和一层一阶Minkowski分形双方环(minkowski fractal double square loop,MFDSL)电谐振器结构组成,各层电阻膜片阻值相同,但外形不同。仿真... 设计了一种基于多层电阻膜和超材料的超薄宽频吸波体模型。该吸波体由两层含介质基板的电阻膜片和一层一阶Minkowski分形双方环(minkowski fractal double square loop,MFDSL)电谐振器结构组成,各层电阻膜片阻值相同,但外形不同。仿真分析结果表明,该吸波体对1.2~20GHz频段内垂直入射的电磁波的吸收率均大于90%;同时对于45°角入射的TE和TM波仍能保持良好的吸收性能,具有宽入射角特性和极化不敏感的特点,且厚度仅有1mm。另外,对不同电阻膜片阻值得分析结果表明,随着电阻膜片阻值的增大,该吸波体的吸波效果更好,吸波性能更加稳定。 展开更多
关键词 电阻膜 超材料 超薄 宽频带 吸波
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高功率激光宽光谱减反膜的溶胶-凝胶旋转法制备工艺 被引量:4
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作者 魏芸 吕海兵 +3 位作者 蒋晓东 唐灿 任寰 李珂 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第7期647-650,共4页
 采用溶胶 凝胶法用旋转镀膜工艺在K9玻璃基片上制备出了SiO2和有机硅单层减反膜以及有机硅 SiO2双层减反膜。考察了旋转速度对SiO2和有机硅单层膜的中心透射波长、膜层折射率等基本光学性质的影响,实验确定了双层膜的涂敷工艺。透射...  采用溶胶 凝胶法用旋转镀膜工艺在K9玻璃基片上制备出了SiO2和有机硅单层减反膜以及有机硅 SiO2双层减反膜。考察了旋转速度对SiO2和有机硅单层膜的中心透射波长、膜层折射率等基本光学性质的影响,实验确定了双层膜的涂敷工艺。透射光谱测量表明,采用本文工艺条件制备的有机硅 SiO2双层膜在430~800nm范围内透射率达99%以上。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 高功率激光 宽光谱减反膜 制备工艺 SIO2 二氧化硅 旋转镀膜工艺 有机硅薄膜
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0.6~1.55μm可见/近红外超宽带增透膜的研制 被引量:18
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作者 杨道奇 付秀华 +2 位作者 耿似玉 杨永亮 潘永刚 《中国光学》 EI CAS 2012年第3期270-276,共7页
针对可见/近红外宽谱段光谱仪探测器窗口的使用要求,选择TiO2、M1和SiO2分别作为高、中、低折射率镀膜材料,通过不同方案对膜系进行了优化设计和比较。采用电子束蒸发兼离子束辅助沉积技术,通过不断调整工艺参数,得到了光学性能优良、... 针对可见/近红外宽谱段光谱仪探测器窗口的使用要求,选择TiO2、M1和SiO2分别作为高、中、低折射率镀膜材料,通过不同方案对膜系进行了优化设计和比较。采用电子束蒸发兼离子束辅助沉积技术,通过不断调整工艺参数,得到了光学性能优良、制备重复性好、牢固度强且致密的可见近红外宽带增透膜。该增透膜在(650±10)nm、900~1 100 nm和(1470±10)nm三波段内平均透过率≥99%,在620~1 550 nm宽波段内整体平均透射率≥97%,满足了光谱仪探测器窗口的实际使用要求。 展开更多
关键词 光学薄膜 宽带增透膜 电子束蒸发 离子束辅助沉积
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用于高功率激光放大器的单层宽谱增透膜 被引量:3
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作者 吕海兵 赵松楠 +2 位作者 严鸿维 王韬 晏良宏 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第1期38-41,共4页
为了获得用于高功率激光放大器的单层宽带增透膜,采用有机聚合物聚乙烯吡咯烷酮掺杂调控二氧化硅胶体生长制备了粒度分布更宽广的稳定胶体体系,通过提拉镀膜工艺,制备了单层增透膜。采用粒度仪和粘度仪监测胶体的性质,用分光光度计测量... 为了获得用于高功率激光放大器的单层宽带增透膜,采用有机聚合物聚乙烯吡咯烷酮掺杂调控二氧化硅胶体生长制备了粒度分布更宽广的稳定胶体体系,通过提拉镀膜工艺,制备了单层增透膜。采用粒度仪和粘度仪监测胶体的性质,用分光光度计测量了膜层透过率,并用X射线能谱分析了膜层结构。结果表明,聚乙烯吡咯烷酮引入胶体中使得胶体粒度分布更宽,所得膜层具有折射率渐变特性,因而膜层具有宽带增透的效果;膜层在550nm^950nm连续波段内透射率不低于99%。单层宽谱增透膜层不需后处理就可投入使用,膜层性能稳定,满足了激光装置片状放大器的运行要求。 展开更多
关键词 薄膜 二氧化硅 宽谱增透膜 放大器 高功率激光器
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超短紫外到近红外宽波段增透膜的研制 被引量:4
13
作者 张静 林兆文 +2 位作者 付秀华 刘冬梅 张功 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第10期117-124,共8页
为提高光谱探测器响应灵敏度,减少宽光谱光束入射时产生的光能损失,研制了超短紫外到近红外宽波段增透膜.依据增透膜设计理论,采用隧道方法与自动优化相结合的膜系设计方法,综合考虑膜厚影响因素,建立了评价函数.通过优化沉积工艺,提高... 为提高光谱探测器响应灵敏度,减少宽光谱光束入射时产生的光能损失,研制了超短紫外到近红外宽波段增透膜.依据增透膜设计理论,采用隧道方法与自动优化相结合的膜系设计方法,综合考虑膜厚影响因素,建立了评价函数.通过优化沉积工艺,提高了增透膜透射率.光谱测试结果表明,200~900nm宽波段范围的增透膜的平均透射率为95.7%,满足光谱探测的要求. 展开更多
关键词 光学薄膜 宽波段 增透膜 隧道方法 评价函数
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可见/红外宽光谱分色片偏振调控的设计 被引量:9
14
作者 李大琪 刘定权 张凤山 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期5-8,共4页
针对光学系统中可见/红外宽光谱分色片的偏振特性,采用诱导透射法设计了满足偏振遥感光学系统能量要求的可见/红外宽光谱分色片,并对其偏振特性进行了分析.通过计算获得了透射带400~900 nm可见/红外宽光谱分色片的偏振情况,采用等效层... 针对光学系统中可见/红外宽光谱分色片的偏振特性,采用诱导透射法设计了满足偏振遥感光学系统能量要求的可见/红外宽光谱分色片,并对其偏振特性进行了分析.通过计算获得了透射带400~900 nm可见/红外宽光谱分色片的偏振情况,采用等效层理论在其基底背面设计了偏振调控膜系,对分色片透射带的偏振度加以调控.使用needle优化算法,设定了不同优化目标,得到了三种不同的设计结果,在可见光波段的偏振度范围分别为0.013~0.0376、0.068~0.108和0.098~0.147.设计结果显示分色片透射带偏振特性在一定程度上可调,调控后可以满足系统对透射光在不同偏振度下的要求. 展开更多
关键词 薄膜 可见/红外宽光谱分色片 对称等效层 偏振调控
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膜厚对导电氧化锌宽带抗反射涂层的太赫兹传输影响 被引量:3
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作者 罗胜耘 沈杰 +1 位作者 马国宏 李栋 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第8期717-721,共5页
利用直流磁控溅射方法,在石英基底上制备了可用于太赫兹电磁波频率范围内的宽带抗反射涂层的掺铝氧化锌导电薄膜。在太赫兹时域光谱频率0.1~1.0THz范围内研究不同厚度的氧化锌薄膜的介电响应,得到了与频率相关的电导率、吸收和薄膜折射... 利用直流磁控溅射方法,在石英基底上制备了可用于太赫兹电磁波频率范围内的宽带抗反射涂层的掺铝氧化锌导电薄膜。在太赫兹时域光谱频率0.1~1.0THz范围内研究不同厚度的氧化锌薄膜的介电响应,得到了与频率相关的电导率、吸收和薄膜折射率,着重研究了膜厚对太赫兹波传输特性的调制作用。实验结果很好地符合了经典的Drude模型,表明可以通过控制氧化锌薄膜的厚度来改变太赫兹波的传输特性,并且导电氧化锌薄膜能够作为太赫兹频段范围的宽带抗反射涂层应用于衬底和光学器件上。 展开更多
关键词 太赫兹时域光谱 导电氧化锌膜 宽带抗反射 薄膜厚度
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薄膜偏振分光镜的研究 被引量:5
16
作者 孔伟金 吴福全 王吉明 《应用光学》 CAS CSCD 2003年第4期17-19,共3页
 概述薄膜偏振分光镜的研究现状及其主要特点,重点分析薄膜偏振分光镜的设计原理,并利用等效折射率的方法计算中心波长的反射率。
关键词 薄膜偏振分光镜 消光比 视场角 带宽
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改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用 被引量:4
17
作者 匡尚奇 张超 +2 位作者 王一名 周祥燕 谢耀 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第8期2046-2056,共11页
为提高基于量子进化算法(QEA)在宽带极紫外(EUV)多层膜设计中的求解效率和精度,本文利用宽带多层膜的光学性能评价函数的梯度信息改进QEA,建立具有明确进化方向的适用于宽带EUV多层膜设计的改进型量子进化算法(IQEA)。对比分析了基于IQE... 为提高基于量子进化算法(QEA)在宽带极紫外(EUV)多层膜设计中的求解效率和精度,本文利用宽带多层膜的光学性能评价函数的梯度信息改进QEA,建立具有明确进化方向的适用于宽带EUV多层膜设计的改进型量子进化算法(IQEA)。对比分析了基于IQEA和QEA的宽带Mo/Si多层膜的膜系设计过程和结果,结果表明,基于IQEA的多层膜膜系设计理论方法具有更优越的求解效率和精度;同时,IQEA同样可以小种群规模进行多参数优化。基于IQEA的宽带Mo/Si多层膜的设计理论实现了包括入射角为0°~18°,反射率达50%的宽角度多层膜,以及反射光谱带宽为13~15nm,反射率达25%的宽光谱多层膜的设计。基于IQEA的宽带高反射率EUV多层膜的理论膜系设计方法为复杂多层膜的理论设计提供了一种可供选择的高效膜系设计方法。 展开更多
关键词 薄膜光学 多层膜设计 改进型量子进化算法 宽带极紫外多层膜
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多功能防油污减反膜的研制 被引量:3
18
作者 付秀华 吴冠岐 +2 位作者 刘冬梅 寇洋 韩放 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第8期198-202,共5页
为了改善光学镜头表面的耐污染性,选取新型抗油污含氟有机材料、氧化铟锡导电薄膜材料、TiAl合金以及SiO2做为中、高、低折射率镀膜材料.借助TFCalc软件进行膜系设计,采用离子源辅助沉积的方法,通过电子柬真空镀膜设备进行制备.对... 为了改善光学镜头表面的耐污染性,选取新型抗油污含氟有机材料、氧化铟锡导电薄膜材料、TiAl合金以及SiO2做为中、高、低折射率镀膜材料.借助TFCalc软件进行膜系设计,采用离子源辅助沉积的方法,通过电子柬真空镀膜设备进行制备.对比实验发现,不同的真空度环境以及不同的膜层厚度,对于薄膜的防油污性能的影响有所差异.通过对防油污性能的测试,不断优化沉积工艺参量,获得了在350~700nm波段平均理论反射率小于1%的宽带减反射膜.该薄膜具有憎水憎油抗污染能力,牢固度好,抗辐射能力强,可应用于军事、医疗、民用等各个领域. 展开更多
关键词 光学薄膜 防油污 宽带减反膜 离子源辅助沉积 抗辐射
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可见与近红外增透膜的设计和制备 被引量:11
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作者 张家斌 付秀华 贺才美 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2009年第5期528-530,共3页
为满足大气辐射系统中光学元件的使用要求,即可见与近红外波段高透过,根据双有效界面法设计原理配合膜系软件设计膜系,采用离子辅助沉积,电子束真空镀膜的方法,通过对工艺参数的调整和监控方法的改进,制备400-1200 nm宽带增透膜。所镀... 为满足大气辐射系统中光学元件的使用要求,即可见与近红外波段高透过,根据双有效界面法设计原理配合膜系软件设计膜系,采用离子辅助沉积,电子束真空镀膜的方法,通过对工艺参数的调整和监控方法的改进,制备400-1200 nm宽带增透膜。所镀膜层在垂直入射时,400-1200 nm波段平均反射率小于1%。同时对膜层牢固性进行了测试,满足大气辐射系统的使用要求。 展开更多
关键词 光学薄膜 大气辐射系统 宽带增透膜 离子辅助
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宽带增透膜工艺的优化与性能分析 被引量:1
20
作者 张蒙蒙 孔伟金 +3 位作者 张敏 王增智 李娜 季淑英 《青岛大学学报(自然科学版)》 CAS 2015年第1期40-44,共5页
为满足望远镜等光学系统中光学元件可见光范围宽光谱增透的要求,根据Tfcale软件优化设计膜系,使用离子辅助沉积,晶振膜厚控制仪,电子束热蒸发镀膜方法,通过对镀膜工艺参数的不断改进和调整,制备了400~700nm的宽带增透膜。结果表明:所... 为满足望远镜等光学系统中光学元件可见光范围宽光谱增透的要求,根据Tfcale软件优化设计膜系,使用离子辅助沉积,晶振膜厚控制仪,电子束热蒸发镀膜方法,通过对镀膜工艺参数的不断改进和调整,制备了400~700nm的宽带增透膜。结果表明:所制作的可见光增透膜平均反射率达到0.36%,优于望远镜等光学系统的增透要求。 展开更多
关键词 光学薄膜 宽带增透膜 离子辅助 真空蒸发镀膜
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