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磁过滤真空弧源沉积技术制备C/C多层类金刚石膜及其摩擦磨损性能研究
被引量:
19
1
作者
沟引宁
孙鸿
+2 位作者
黄楠
张文英
冷永祥
《摩擦学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第2期121-124,共4页
采用磁过滤直流阴极真空弧源沉积技术在S i基体和GCr15基体表面制备了C/C多层DLC膜,通过X射线光电子能谱仪分析薄膜结构特征;用原子力显微镜观察C/C多层DLC膜的表面形貌;采用台阶仪测试薄膜厚度;利用纳米硬度仪测试薄膜纳米硬度;在销盘...
采用磁过滤直流阴极真空弧源沉积技术在S i基体和GCr15基体表面制备了C/C多层DLC膜,通过X射线光电子能谱仪分析薄膜结构特征;用原子力显微镜观察C/C多层DLC膜的表面形貌;采用台阶仪测试薄膜厚度;利用纳米硬度仪测试薄膜纳米硬度;在销盘式摩擦磨损试验机上进行C/C多层DLC膜在大气下的摩擦性能评价,同时比较了单层DLC膜、TiN膜和C/C多层DLC膜的耐磨性能.结果表明:C/C多层DLC膜表面光滑、致密,厚度达0.7μm,硬度高达68 GPa,与S iC球对摩时的摩擦系数为0.10左右,耐磨性明显优于单层DLC膜和TiN膜.
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关键词
磁过滤阴极真空弧源
c/c多层dlc膜
摩擦磨损性能
下载PDF
职称材料
磁过滤多弧离子镀C/C多层膜在模拟体液中的微磨粒磨损行为
被引量:
5
2
作者
黄伟九
李兆峰
沟引宁
《摩擦学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第5期426-431,共6页
采用磁过滤直流阴极真空弧源沉积技术在Ti6Al4V表面制备C/C多层DLC膜,利用纳米压痕划痕仪测试薄膜的纳米硬度和膜-基结合强度,采用微磨粒磨损试验机对C/C多层DLC膜在模拟体液环境中的磨损性能进行评价,并与Ti6Al4V的耐磨性能进行对比....
采用磁过滤直流阴极真空弧源沉积技术在Ti6Al4V表面制备C/C多层DLC膜,利用纳米压痕划痕仪测试薄膜的纳米硬度和膜-基结合强度,采用微磨粒磨损试验机对C/C多层DLC膜在模拟体液环境中的磨损性能进行评价,并与Ti6Al4V的耐磨性能进行对比.结果表明:C/C多层DLC膜硬度达54.82 GPa,弹性模量和划痕临界载荷分别为342.27 GPa和0.52 N;在模拟体液环境中DLC膜的耐磨性能显著优于Ti6Al4V合金,DLC膜的磨损机制主要包括二体磨损及混合磨损;随着料浆浓度的增加,DLC膜的磨损机制从二体磨损向混合磨损过渡.
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关键词
c/c多层dlc膜
微磨粒磨损
模拟体液
磨损机制
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职称材料
题名
磁过滤真空弧源沉积技术制备C/C多层类金刚石膜及其摩擦磨损性能研究
被引量:
19
1
作者
沟引宁
孙鸿
黄楠
张文英
冷永祥
机构
西南交通大学材料先进技术教育部重点实验室
出处
《摩擦学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第2期121-124,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(30270392)
四川省科技攻关项目资助(05GG1084)
文摘
采用磁过滤直流阴极真空弧源沉积技术在S i基体和GCr15基体表面制备了C/C多层DLC膜,通过X射线光电子能谱仪分析薄膜结构特征;用原子力显微镜观察C/C多层DLC膜的表面形貌;采用台阶仪测试薄膜厚度;利用纳米硬度仪测试薄膜纳米硬度;在销盘式摩擦磨损试验机上进行C/C多层DLC膜在大气下的摩擦性能评价,同时比较了单层DLC膜、TiN膜和C/C多层DLC膜的耐磨性能.结果表明:C/C多层DLC膜表面光滑、致密,厚度达0.7μm,硬度高达68 GPa,与S iC球对摩时的摩擦系数为0.10左右,耐磨性明显优于单层DLC膜和TiN膜.
关键词
磁过滤阴极真空弧源
c/c多层dlc膜
摩擦磨损性能
Keywords
filtered
c
athodi
c
va
c
uum ar
c
(F
c
VA),
c/
c
multilayer films, fri
c
tion and wear behavior
分类号
O484 [理学—固体物理]
TH117.3 [机械工程—机械设计及理论]
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职称材料
题名
磁过滤多弧离子镀C/C多层膜在模拟体液中的微磨粒磨损行为
被引量:
5
2
作者
黄伟九
李兆峰
沟引宁
机构
重庆工学院材料科学与工程学院
出处
《摩擦学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第5期426-431,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(50405005)
教育部新世纪优秀人才资助计划项目(NCET-05-0777)
文摘
采用磁过滤直流阴极真空弧源沉积技术在Ti6Al4V表面制备C/C多层DLC膜,利用纳米压痕划痕仪测试薄膜的纳米硬度和膜-基结合强度,采用微磨粒磨损试验机对C/C多层DLC膜在模拟体液环境中的磨损性能进行评价,并与Ti6Al4V的耐磨性能进行对比.结果表明:C/C多层DLC膜硬度达54.82 GPa,弹性模量和划痕临界载荷分别为342.27 GPa和0.52 N;在模拟体液环境中DLC膜的耐磨性能显著优于Ti6Al4V合金,DLC膜的磨损机制主要包括二体磨损及混合磨损;随着料浆浓度的增加,DLC膜的磨损机制从二体磨损向混合磨损过渡.
关键词
c/c多层dlc膜
微磨粒磨损
模拟体液
磨损机制
Keywords
c/
c
muhilayer films, mi
c
ro-abrasion, simulated body fluid, wear me
c
hanism
分类号
TH117.3 [机械工程—机械设计及理论]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
磁过滤真空弧源沉积技术制备C/C多层类金刚石膜及其摩擦磨损性能研究
沟引宁
孙鸿
黄楠
张文英
冷永祥
《摩擦学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
19
下载PDF
职称材料
2
磁过滤多弧离子镀C/C多层膜在模拟体液中的微磨粒磨损行为
黄伟九
李兆峰
沟引宁
《摩擦学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
5
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职称材料
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