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C波段横向激励薄膜体声波谐振器设计与制备
1
作者
吴高米
马晋毅
+5 位作者
李尚志
司美菊
唐小龙
蒋世义
江洪敏
张祖伟
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024年第3期285-289,共5页
针对未来移动通信对射频前端器件提出的多频率、高集成新要求,开展了兼具声表面波(SAW)谐振器和薄膜体声波谐振器(FBAR)技术特点的新型横向激励兰姆波谐振器研究。该文介绍了基于c轴择优取向氮化铝(AlN)压电薄膜的C波段横向激励薄膜体...
针对未来移动通信对射频前端器件提出的多频率、高集成新要求,开展了兼具声表面波(SAW)谐振器和薄膜体声波谐振器(FBAR)技术特点的新型横向激励兰姆波谐振器研究。该文介绍了基于c轴择优取向氮化铝(AlN)压电薄膜的C波段横向激励薄膜体声波谐振器(XBAR)的结构设计、参数优化和制备方法,并进行了工艺验证。通过剥离和刻蚀等步骤制备了谐振频率4.464 GHz、品质因数3039、品质因数与频率之积(f×Q)达到1.56×10^(13)GHz、面积小于0.12 mm^(2)的低杂波XBAR谐振器,并仿真分析了其用于射频滤波器的可行性。该研究为进一步研制多频率、高集成的小型化XBAR滤波器组件提供了有效的设计技术和工艺技术支撑。
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关键词
压电微机电系统(MEMS)器件
c
波段
射频
滤波器
横向激励薄膜体声波谐振器(XBAR)
多频率
高集成
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职称材料
一种耦合线加载的双通带滤波器
被引量:
3
2
作者
李陆坪
陈鹏
羊恺
《微波学报》
CSCD
北大核心
2019年第3期72-76,80,共6页
提出一种基于耦合线加载的双通带滤波器,该滤波器在开口矩形环内部加载两根相互耦合的微带,从而产生两个通带。与加载单枝节的双通带滤波器相比,该滤波器在设计时有更多可变参数和更小的调节步进。比如当耦合线宽度不等步进变化时通带...
提出一种基于耦合线加载的双通带滤波器,该滤波器在开口矩形环内部加载两根相互耦合的微带,从而产生两个通带。与加载单枝节的双通带滤波器相比,该滤波器在设计时有更多可变参数和更小的调节步进。比如当耦合线宽度不等步进变化时通带中心频率会向相反方向变化,这一性质可以用作对两通带之间的频率间隔进行微调。测试结果表明,该滤波器有两个通带,其中心频率分别为3.78 GHz和6.55 GHz,相对带宽分别为4.6%和4.8%。除此之外,还研究了调整加载耦合线的长度和宽度对滤波器频率特性的影响。仿真和实测结果之间良好的吻合证实了设计方法的有效性。
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关键词
双通带
滤波器
开口矩形环
耦合线加载
S
波段
滤波器
c波段滤波器
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职称材料
5G网络对通信卫星C波段信号的影响
被引量:
1
3
作者
李军善
《西部广播电视》
2020年第15期252-253,共2页
本文主要分析5G对网络通信卫星C波段信号接收时出现的干扰及其形成原因,并加装C波段滤波器及其附属设备等措施来排除5G信号的干扰问题,为确保在现有5G环境下安全播出提出一点建议。
关键词
5G
c波段滤波器
卫星接收系统
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职称材料
题名
C波段横向激励薄膜体声波谐振器设计与制备
1
作者
吴高米
马晋毅
李尚志
司美菊
唐小龙
蒋世义
江洪敏
张祖伟
机构
中国电子科技集团公司第二十四研究所
中电科芯片技术(集团)有限公司
国知创芯(重庆)科技有限公司
出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024年第3期285-289,共5页
基金
重庆市博士后科学基金资助项目(CSTB2023NSCQ-BHX0030)。
文摘
针对未来移动通信对射频前端器件提出的多频率、高集成新要求,开展了兼具声表面波(SAW)谐振器和薄膜体声波谐振器(FBAR)技术特点的新型横向激励兰姆波谐振器研究。该文介绍了基于c轴择优取向氮化铝(AlN)压电薄膜的C波段横向激励薄膜体声波谐振器(XBAR)的结构设计、参数优化和制备方法,并进行了工艺验证。通过剥离和刻蚀等步骤制备了谐振频率4.464 GHz、品质因数3039、品质因数与频率之积(f×Q)达到1.56×10^(13)GHz、面积小于0.12 mm^(2)的低杂波XBAR谐振器,并仿真分析了其用于射频滤波器的可行性。该研究为进一步研制多频率、高集成的小型化XBAR滤波器组件提供了有效的设计技术和工艺技术支撑。
关键词
压电微机电系统(MEMS)器件
c
波段
射频
滤波器
横向激励薄膜体声波谐振器(XBAR)
多频率
高集成
Keywords
piezoele
c
tri
c
mi
c
ro-ele
c
tro-me
c
hani
c
al systems devi
c
e
c
-band radio-frequen
c
y filter
laterally ex
c
ited bulk a
c
ousti
c
resonator
multi-frequen
c
y
high-integration
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
TN65 [电子电信—电路与系统]
TN713 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
一种耦合线加载的双通带滤波器
被引量:
3
2
作者
李陆坪
陈鹏
羊恺
机构
电子科技大学航空航天学院
飞行器集群智能感知与协同控制四川省重点实验室
出处
《微波学报》
CSCD
北大核心
2019年第3期72-76,80,共6页
基金
国家自然科学基金(61601088)
文摘
提出一种基于耦合线加载的双通带滤波器,该滤波器在开口矩形环内部加载两根相互耦合的微带,从而产生两个通带。与加载单枝节的双通带滤波器相比,该滤波器在设计时有更多可变参数和更小的调节步进。比如当耦合线宽度不等步进变化时通带中心频率会向相反方向变化,这一性质可以用作对两通带之间的频率间隔进行微调。测试结果表明,该滤波器有两个通带,其中心频率分别为3.78 GHz和6.55 GHz,相对带宽分别为4.6%和4.8%。除此之外,还研究了调整加载耦合线的长度和宽度对滤波器频率特性的影响。仿真和实测结果之间良好的吻合证实了设计方法的有效性。
关键词
双通带
滤波器
开口矩形环
耦合线加载
S
波段
滤波器
c波段滤波器
Keywords
dual-band passband filter
split ring
loaded
c
oupling lines
S band filter
c
band filter
分类号
TN713 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
5G网络对通信卫星C波段信号的影响
被引量:
1
3
作者
李军善
机构
新疆广播电视局
出处
《西部广播电视》
2020年第15期252-253,共2页
文摘
本文主要分析5G对网络通信卫星C波段信号接收时出现的干扰及其形成原因,并加装C波段滤波器及其附属设备等措施来排除5G信号的干扰问题,为确保在现有5G环境下安全播出提出一点建议。
关键词
5G
c波段滤波器
卫星接收系统
分类号
TN927.2 [电子电信—通信与信息系统]
TN929.5 [电子电信—通信与信息系统]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
C波段横向激励薄膜体声波谐振器设计与制备
吴高米
马晋毅
李尚志
司美菊
唐小龙
蒋世义
江洪敏
张祖伟
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024
0
下载PDF
职称材料
2
一种耦合线加载的双通带滤波器
李陆坪
陈鹏
羊恺
《微波学报》
CSCD
北大核心
2019
3
下载PDF
职称材料
3
5G网络对通信卫星C波段信号的影响
李军善
《西部广播电视》
2020
1
下载PDF
职称材料
已选择
0
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