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一种新型电容式蓝宝石压力传感器
被引量:
1
1
作者
宋国庆
林金秋
+1 位作者
张莉新
邹向光
《传感器世界》
2011年第3期20-23,共4页
介绍一种高精密、高稳定、线性度佳、结构简单的新型电容式蓝宝石压力传感器。以圆形C面(0001)取向蓝宝石片作为压力传感器的膜片和基片,并且采用两种方案改善普通电容式蓝宝石压力传感器的非线性特性。第一种方法是在一个基片中央区电...
介绍一种高精密、高稳定、线性度佳、结构简单的新型电容式蓝宝石压力传感器。以圆形C面(0001)取向蓝宝石片作为压力传感器的膜片和基片,并且采用两种方案改善普通电容式蓝宝石压力传感器的非线性特性。第一种方法是在一个基片中央区电极内制作一个圆形无金属电极区(圆形无电极区的直径与中央区电极的直径具有特定比率),提高线性度,改善灵敏度的一致性,但是它以降低传感器的灵敏度为代价的;第二种方法是在圆形基片表面中央区加工一个半球形凹槽,并且在该下凹区内不制作金属电极,能够牺牲很小的灵敏度或不降低灵敏度,换取较大的线性度提高和灵敏度一致性的改善。
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关键词
电容式压力传感器
蓝宝石
单晶
c
面
(
0001
)
取向
蓝宝石
R
面
(1
102)
取向
蓝宝石
半球形凹槽
中央电极内的无电极区
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职称材料
题名
一种新型电容式蓝宝石压力传感器
被引量:
1
1
作者
宋国庆
林金秋
张莉新
邹向光
机构
中国电子科技集团公司第
中国人民解放军
出处
《传感器世界》
2011年第3期20-23,共4页
文摘
介绍一种高精密、高稳定、线性度佳、结构简单的新型电容式蓝宝石压力传感器。以圆形C面(0001)取向蓝宝石片作为压力传感器的膜片和基片,并且采用两种方案改善普通电容式蓝宝石压力传感器的非线性特性。第一种方法是在一个基片中央区电极内制作一个圆形无金属电极区(圆形无电极区的直径与中央区电极的直径具有特定比率),提高线性度,改善灵敏度的一致性,但是它以降低传感器的灵敏度为代价的;第二种方法是在圆形基片表面中央区加工一个半球形凹槽,并且在该下凹区内不制作金属电极,能够牺牲很小的灵敏度或不降低灵敏度,换取较大的线性度提高和灵敏度一致性的改善。
关键词
电容式压力传感器
蓝宝石
单晶
c
面
(
0001
)
取向
蓝宝石
R
面
(1
102)
取向
蓝宝石
半球形凹槽
中央电极内的无电极区
Keywords
c
apa
c
itive pressure sensor
single-
c
rystal sapphire
c
-plane (
0001
) single-
c
rystal sapphire
R-plane (11-02)single-
c
rystal sapphire~ semispheri
c
al
c
on
c
ave groove
no-metal-ele
c
trode region
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种新型电容式蓝宝石压力传感器
宋国庆
林金秋
张莉新
邹向光
《传感器世界》
2011
1
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