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C-H-Cl气相体系生长金刚石的相图计算
被引量:
1
1
作者
刘志杰
张卫
+1 位作者
万永中
王季陶
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998年第4期634-636,共3页
用非平衡热力学耦合模型计算得到了C-H-Cl气相体系生长金刚石的相图,并与报道的实验结果符合很好.比起C-H体系生长金刚石的相图,该相图中的金刚石生长区明显移向低温方向,说明加入氯有利于降低金刚石的生长温度.通过化学反应机理...
用非平衡热力学耦合模型计算得到了C-H-Cl气相体系生长金刚石的相图,并与报道的实验结果符合很好.比起C-H体系生长金刚石的相图,该相图中的金刚石生长区明显移向低温方向,说明加入氯有利于降低金刚石的生长温度.通过化学反应机理的分析探讨了加入氯对金刚石生长温度和生长速率的影响.
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关键词
c-h-cl体系
金刚石
相图
气相
体系
下载PDF
职称材料
题名
C-H-Cl气相体系生长金刚石的相图计算
被引量:
1
1
作者
刘志杰
张卫
万永中
王季陶
机构
复旦大学电子工程系CVD研究室
出处
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998年第4期634-636,共3页
基金
国家自然科学基金!59772029
863高科技基金!863-715-010-0050
文摘
用非平衡热力学耦合模型计算得到了C-H-Cl气相体系生长金刚石的相图,并与报道的实验结果符合很好.比起C-H体系生长金刚石的相图,该相图中的金刚石生长区明显移向低温方向,说明加入氯有利于降低金刚石的生长温度.通过化学反应机理的分析探讨了加入氯对金刚石生长温度和生长速率的影响.
关键词
c-h-cl体系
金刚石
相图
气相
体系
Keywords
c-h-cl
system, diamond, phase diagram
分类号
TQ163 [化学工程—高温制品工业]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
C-H-Cl气相体系生长金刚石的相图计算
刘志杰
张卫
万永中
王季陶
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998
1
下载PDF
职称材料
已选择
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