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新型超硬C-N薄膜材料
被引量:
2
1
作者
张贵锋
杨振江
耿东生
《兵器材料科学与工程》
CAS
CSCD
北大核心
1998年第4期48-53,共6页
C-N薄膜是目前国际上刚刚兴起的一种新型超硬材料。理论上,它的体模量和硬度比金刚石还要高。在半导体和抗磨涂层等领域有着广阔的应用前景。文中介绍了新型C-N薄膜材料的发展概况、几种典型的制备方法、结构及性能特点,分析了...
C-N薄膜是目前国际上刚刚兴起的一种新型超硬材料。理论上,它的体模量和硬度比金刚石还要高。在半导体和抗磨涂层等领域有着广阔的应用前景。文中介绍了新型C-N薄膜材料的发展概况、几种典型的制备方法、结构及性能特点,分析了C-N膜的发展方向及其应用前景。
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关键词
碳氮
簿
膜
超硬材料
c-n簿膜
合成工艺
应用
下载PDF
职称材料
题名
新型超硬C-N薄膜材料
被引量:
2
1
作者
张贵锋
杨振江
耿东生
机构
西北工业大学
出处
《兵器材料科学与工程》
CAS
CSCD
北大核心
1998年第4期48-53,共6页
基金
航空科学基金
文摘
C-N薄膜是目前国际上刚刚兴起的一种新型超硬材料。理论上,它的体模量和硬度比金刚石还要高。在半导体和抗磨涂层等领域有着广阔的应用前景。文中介绍了新型C-N薄膜材料的发展概况、几种典型的制备方法、结构及性能特点,分析了C-N膜的发展方向及其应用前景。
关键词
碳氮
簿
膜
超硬材料
c-n簿膜
合成工艺
应用
Keywords
carbon nitride films, superhardness
分类号
TQ163 [化学工程—高温制品工业]
TQ164 [化学工程—高温制品工业]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
新型超硬C-N薄膜材料
张贵锋
杨振江
耿东生
《兵器材料科学与工程》
CAS
CSCD
北大核心
1998
2
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职称材料
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